腔体工件氦测治具制造技术

本实用新型专利技术属于腔体工件密封性测试领域，涉及一种腔体工件氦测治具，包括若干孔口密封盖和孔口密封圈，侧面腰槽密封圈和侧面腰槽密封板，主通道孔密封圈和主通道孔密封盖、斜面密封圈和斜面密封板，基准面内圈密封圈、基准面外圈密封圈和基准面密封板，正面密封盖板密封圈和正面密封盖板，第一孔口密封法兰，第二孔口密封法兰；本实用新型专利技术采用各密封盖和密封板对腔体工件的孔和槽密封，并结合各种密封圈，通过螺丝紧固，使腔体工件形成密闭工件，并选择两个密封法兰连接腔体工件的两个孔口，以此作为氨测试验的进气口和出气口，形成了密封空间,达到测试的效果。

【技术实现步骤摘要】
腔体工件氦测治具
本技术属于腔体工件密封性测试
，涉及一种腔体工件氦测治具，用于腔体工件氨测过程中密封面密封，特别是用于半导体零件小型腔体工件的密封面密封性测试。
技术介绍
氨测是检测半导体零件小型腔体工件的密封性的工艺，治具设计是测试工艺的重要环节,尤其是密封面测试治具是工艺中的重点，现有腔体工件类密封性检测装置通用性差，成本高。
技术实现思路
本技术为了克服现有腔体工件类似件密封性检测装置通用性差，成本高的不足，提供了一种结构简单，成本低，通用性强的腔体工件氦测治具，用作腔体工件密封性检测的辅助装置。本技术通过下述技术方案来实现。一种腔体工件氦测治具，包括若干孔口密封盖和孔口密封圈，侧面腰槽密封圈和侧面腰槽密封板，主通道孔密封圈和主通道孔密封盖、斜面密封圈和斜面密封板，基准面内圈密封圈、基准面外圈密封圈和基准面密封板，正面密封盖板密封圈和正面密封盖板，第一孔口密封法兰，第二孔口密封法兰；腔体工件设有贯通腔体工件正面和背面的主通道孔，腔体工件设有若干副通道孔，腔体工件的一个侧面作为基准面，与基准面相对的另一个侧面为斜面，基准面和斜面均开有槽孔，另外一个侧面开有腰槽；第一孔口密封法兰连接其中一个副通道孔，第二孔口密封法兰连接其中一个副通道孔，其余副通道孔通过孔口密封盖和孔口密封圈密封；主通道孔密封圈和主通道孔密封盖密封腔体工件背面的主通道孔；正面密封盖板密封圈和正面密封盖板密封腔体工件正面的主通道孔；基准面内圈密封圈、基准面外圈密封圈和基准面密封板密封腔体工件基准面的槽孔；斜面密封圈和斜面密封板密封腔体工件斜面的槽孔；侧面腰槽密封圈和侧面腰槽密封板密封腔体工件侧面的腰槽。作为优选技术方案，副通道孔的数量为四个，所述孔口密封盖包括第一孔口密封盖和第二孔口密封盖，所述孔口密封圈包括第一孔口密封圈和第二孔口密封圈；第一孔口密封盖和第一孔口密封圈密封腔体工件背面的其中一个副通道孔，第二孔口密封圈和第二孔口密封盖也密封腔体工件背面的其中一个副通道孔。第一孔口密封盖通过螺钉与腔体工件固定在一起，并且所述螺钉套设螺丝橡胶垫圈。所述第二孔口密封盖通过螺钉与腔体工件固定在一起，并且所述螺钉套设螺丝橡胶垫圈。作为优选技术方案，主通道孔密封圈和主通道孔密封盖自腔体工件的正面放入腔体工件内，主通道孔密封盖通过螺钉紧固在腔体工件背面，主通道孔密封圈槽设于腔体工件背面的内侧，主通道孔密封圈嵌入主通道孔密封圈槽中，主通道孔密封盖通过螺钉固定有把手。作为优选技术方案，所述基准面密封板开设有基准面内圈密封圈槽和基准面外圈密封圈槽，基准面内圈密封圈嵌入基准面内圈密封圈槽，基准面外圈密封圈嵌入准面外圈密封圈槽，基准面密封板通过螺钉固定在腔体工件的基准面上。作为优选技术方案，所述斜面密封板开有斜面密封圈槽，斜面密封圈嵌入斜面密封圈槽，所述斜面密封板螺钉固定在腔体工件的斜面上。作为优选技术方案，所述侧面腰槽密封板开设侧面腰槽密封圈槽，侧面腰槽密封圈嵌入侧面腰槽密封圈槽，所述侧面腰槽密封板通过螺钉固定在开设腰槽的腔体工件侧面上。作为优选技术方案，腔体工件正面的主通道孔口开设正面密封盖板密封圈槽，正面密封盖板密封圈嵌入正面密封盖板密封圈槽内，所述正面密封盖板通过螺钉与腔体工件正面紧固，所述螺钉套装螺丝橡胶垫圈。作为优选技术方案，第一孔口密封法兰的连接面设置密封圈槽并内嵌密封圈，第一孔口密封法兰通过密封卡扣组件连接氦测装置的出气管道，第二孔口密封法兰的连接面设置密封圈槽并内嵌密封圈，第二孔口密封法兰连接氦测装置的进气管道并在连接处设法兰连接垫圈。本技术采用对应各通道孔的密封盖、对应各个面的密封板对腔体工件的孔和槽密封，并结合各种密封圈，通过螺丝紧固，使腔体工件形成密闭工件，并选择两个密封法兰连接腔体工件的两个孔口，以此作为氨测试验的进气口和出气口，测量进气口和出气口的氨气压力即可得到腔体工件的密封性数据,达到测试的效果。附图说明图1为本技术的整体图A；图2为本技术的整体图B；图3为本技术的组装示意图A；图4为本技术的组装示意图B。图中：1.腔体工件、2.第一孔口密封盖、3.第一孔口密封圈、4.第二孔口密封圈、5.第二孔口密封盖、6.侧面腰槽密封圈、7.侧面腰槽密封板、8.主通道孔密封圈、9.主通道孔密封盖、10.螺丝橡胶垫圈、11.密封卡扣组件、12.把手、13.斜面密封圈、14.斜面密封板、15.基准面内圈密封圈、16.基准面外圈密封圈、17.基准面密封板、18.正面密封盖板密封圈、19.正面密封盖板、20.第一孔口密封法兰、21.第二孔口密封法兰、22.法兰连接垫圈、23.基准面外圈密封圈槽。具体实施方式下面结合附图详细说明本技术。一种腔体工件氦测治具，如图1-4所示，包括第一孔口密封盖2和第一孔口密封圈3，第二孔口密封圈4和第二孔口密封盖5，侧面腰槽密封圈6和侧面腰槽密封板7，主通道孔密封圈8和主通道孔密封盖9、斜面密封圈13和斜面密封板14，基准面内圈密封圈15、基准面外圈密封圈16和基准面密封板17，正面密封盖板密封圈18和正面密封盖板19，第一孔口密封法兰20，第二孔口密封法兰21；如图3和图4所示，所示腔体工件1设有贯通腔体工件正面和背面的主通道孔，腔体工件1的背面还设有四个副通道孔，腔体工件1的一个侧面作为基准面，与基准面相对的另一个侧面为斜面，基准面和斜面均开有槽孔，另外一个侧面开有腰槽。第一孔口密封盖2和第一孔口密封圈3密封腔体工件1背面的其中一个副通道孔孔口，第二孔口密封圈4和第二孔口密封盖5也密封腔体工件1背面的其中一个副通道孔孔口，第一孔口密封法兰20连接其中一个副通道孔，第二孔口密封法兰21连接其中一个副通道孔；主通道孔密封圈8和主通道孔密封盖9密封腔体工件背面的主通道孔；正面密封盖板密封圈18和正面密封盖板19密封腔体工件正面的主通道孔；基准面内圈密封圈15、基准面外圈密封圈16和基准面密封板17密封腔体工件基准面的槽孔；斜面密封圈13和斜面密封板14密封腔体工件斜面的槽孔；侧面腰槽密封圈6和侧面腰槽密封板7密封腔体工件侧面的腰槽。为了保证密封效果，第一孔口密封盖2通过螺钉与腔体工件1固定在一起，并且所述螺钉套设螺丝橡胶垫圈10。为了保证密封效果，所述第二孔口密封盖5通过螺钉与腔体工件1固定在一起，并且所述螺钉套设螺丝橡胶垫圈10。为了保证密封效果，主通道孔密封圈8和主通道孔密封盖9自腔体工件1的正面放入腔体工件1内，主通道孔密封盖9通过螺钉紧固在腔体工件背面，主通道孔密封圈槽设于腔体工件背面的内侧，主通道孔密封圈8嵌入主通道孔密封圈槽中。主通道孔密封盖9通过螺钉固定有把手12，方便安装时，取放主通道孔密封盖9。为了保证密封效果，所述基准面密封板17开设有基准面内圈密封圈槽和基准面外圈密封圈槽23，基准面内圈密封圈15嵌入基准面内圈密封圈槽，基准面外圈密封圈16嵌入准面外圈密封圈槽23，基准面密封板17通过螺钉固定在腔体工件1的基准面上。为了保证密封效果，所述斜面密封板14开有斜面密封圈槽，斜面密封圈13嵌入斜面密封圈槽，所述斜面密封板14螺钉固定在腔体工件1的斜面上。为了保证密封效果，所述侧面腰槽密封板7开设侧面腰槽密封圈槽，侧面腰槽密封圈6嵌入侧面腰槽密封圈槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种腔体工件氦测治具，其特征在于：包括若干孔口密封盖和孔口密封圈，侧面腰槽密封圈和侧面腰槽密封板，主通道孔密封圈和主通道孔密封盖、斜面密封圈和斜面密封板，基准面内圈密封圈、基准面外圈密封圈和基准面密封板，正面密封盖板密封圈和正面密封盖板，第一孔口密封法兰，第二孔口密封法兰；腔体工件设有贯通腔体工件正面和背面的主通道孔，腔体工件设有若干副通道孔，腔体工件的一个侧面作为基准面，与基准面相对的另一个侧面为斜面，基准面和斜面均开有槽孔，另外一个侧面开有腰槽；第一孔口密封法兰连接其中一个副通道孔，第二孔口密封法兰连接其中一个副通道孔，其余副通道孔通过孔口密封盖和孔口密封圈密封；主通道孔密封圈和主通道孔密封盖密封腔体工件背面的主通道孔；正面密封盖板密封圈和正面密封盖板密封腔体工件正面的主通道孔；基准面内圈密封圈、基准面外圈密封圈和基准面密封板密封腔体工件基准面的槽孔；斜面密封圈和斜面密封板密封腔体工件斜面的槽孔；侧面腰槽密封圈和侧面腰槽密封板密封腔体工件侧面的腰槽。

【技术特征摘要】
1.一种腔体工件氦测治具，其特征在于：包括若干孔口密封盖和孔口密封圈，侧面腰槽密封圈和侧面腰槽密封板，主通道孔密封圈和主通道孔密封盖、斜面密封圈和斜面密封板，基准面内圈密封圈、基准面外圈密封圈和基准面密封板，正面密封盖板密封圈和正面密封盖板，第一孔口密封法兰，第二孔口密封法兰；腔体工件设有贯通腔体工件正面和背面的主通道孔，腔体工件设有若干副通道孔，腔体工件的一个侧面作为基准面，与基准面相对的另一个侧面为斜面，基准面和斜面均开有槽孔，另外一个侧面开有腰槽；第一孔口密封法兰连接其中一个副通道孔，第二孔口密封法兰连接其中一个副通道孔，其余副通道孔通过孔口密封盖和孔口密封圈密封；主通道孔密封圈和主通道孔密封盖密封腔体工件背面的主通道孔；正面密封盖板密封圈和正面密封盖板密封腔体工件正面的主通道孔；基准面内圈密封圈、基准面外圈密封圈和基准面密封板密封腔体工件基准面的槽孔；斜面密封圈和斜面密封板密封腔体工件斜面的槽孔；侧面腰槽密封圈和侧面腰槽密封板密封腔体工件侧面的腰槽。2.根据权利要求1所述的腔体工件氦测治具，其特征在于：副通道孔的数量为四个，所述孔口密封盖包括第一孔口密封盖和第二孔口密封盖，所述孔口密封圈包括第一孔口密封圈和第二孔口密封圈；第一孔口密封盖和第一孔口密封圈密封腔体工件背面的其中一个副通道孔，第二孔口密封圈和第二孔口密封盖也密封腔体工件背面的其中一个副通道孔。3.根据权利要求2所述的腔体工件氦测治具，其特征在于：第一孔口密封盖通过螺钉与腔体工件固定在一起，并且所述螺钉套设螺丝橡胶垫圈。4.根据权利要求2所述的腔体工件氦测治具，其特征在于：所述第二孔口密封盖通过螺钉与腔体...

【专利技术属性】
技术研发人员：史林，
申请(专利权)人：富曜精密组件昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32