The present invention provides a method for detecting multi crystal furnace thermocouple chamber leakage, which is characterized in that: the three polycrystalline furnace thermocouple installed in the warehouse, and install vacuum pressure monitoring device, observation of vacuum pressure pressure monitoring device to monitor the value, when the thermocouple protection tube for alumina silo leaks, vacuum gauge pressure there will be significant changes in value, which can clearly determine the thermocouple protection tube leakage.
【技术实现步骤摘要】
一种多晶炉热偶仓泄漏检测方法
本专利技术属于多晶硅制备
，特别涉及一种多晶铸锭炉热电偶仓气压检测方法。
技术介绍
部分厂家生产的多晶铸锭炉的热电偶仓无漏气检漏功能，如TC2保护管损坏发生漏气不能及时发现。而TC2仓漏气容易导致高价值的热电偶损坏，甚至导致硅锭氧化报废。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种多晶炉热偶仓泄漏检测方法，以降低铸锭运营成本，减少备件损坏，提高铸锭成品率。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种多晶炉热偶仓泄漏检测方法，其特征在于：在多晶炉热偶仓安装三通，并安装真空压力监测装置，观察真空压力监测装置监测到的压力值，当热偶仓因氧化铝保护管发生泄漏时，真空计压力值会有明显变化，从而可清楚的判断出热电偶保护管漏气。所述真空压力监测装置为机械式真空压力表，或者带电子数码显示的和电信号输出的真空压力传感器。所述三通为KF16不锈钢三通。有益效果：本专利技术的方法，通过观察真空压力监测装置监测到的压力值，当热偶仓因氧化铝保护管发生泄漏时，真空计压力值会有明显变化，从而可清楚的判断出热电偶保护管漏气。具体实施方式下面结合具体实施方式对本专利技术做更进一步的解释。在多晶炉热偶仓安装不锈钢三通，并安装真空压力监测装置，观察真空压力监测装置监测到的压力值，当热偶仓因氧化铝保护管发生泄漏时，真空计压力值会有明显变化，从而可清楚的判断出热电偶保护管漏气。其中不锈钢三通的材质为KF16。也可采用带电子数码显示的和电信号输出的真空压力传感器来代替机械式真空压力表，但成本更高。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术...
【技术保护点】
一种多晶炉热偶仓泄漏检测方法，其特征在于：在多晶炉热偶仓安装三通，并安装真空压力监测装置，观察真空压力监测装置监测到的压力值，当热偶仓因氧化铝保护管发生泄漏时，真空计压力值会有明显变化，从而可清楚的判断出热电偶保护管漏气。
【技术特征摘要】
1.一种多晶炉热偶仓泄漏检测方法，其特征在于：在多晶炉热偶仓安装三通，并安装真空压力监测装置，观察真空压力监测装置监测到的压力值，当热偶仓因氧化铝保护管发生泄漏时，真空计压力值会有明显变化，从而可清楚的判断出热电偶保护管漏气。2.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁海，於俊杰，张仁全，罗恕，
申请(专利权)人：镇江荣德新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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