物理量传感器以及物理量传感器的制造方法技术

本发明专利技术提供一种能够良好地防止或减少可动体与基板的粘附的物理量传感器及其制造方法，此外，提供一种具备所述物理量传感器的传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备：底基板(2)；可动部(42)，其以与底基板(2)对置并能够相对于底基板(2)而进行位移的方式被设置；第一固定电极(51)以及第二固定电极(52)，其以与可动部(42)对置的方式被配置在底基板(2)上；多个突起部(6)，其被配置在底基板(2)的可动部(42)侧且被配置于在俯视观察时与可动部(42)重叠的位置处，突起部(6)具有导体层和绝缘层，所述导体层与第一固定电极(51)以及第二固定电极位(52)为相同电位，所述绝缘层相对于导体层而被设置在与底基板(2)相反的一侧。

Physical quantity sensor and method for manufacturing physical quantity sensor

The invention provides a good adhesion to prevent or reduce the physical sensor movable body and substrate and its manufacturing method, in addition, a sensor device, with the physical quantity sensor, electronic equipment and mobile body. The physical quantity sensor (1) includes a base substrate (2); the movable portion (42), with its base substrate (2) and opposed relative to the base substrate (2) and the displacement mode is set; the first fixed electrode (51) and second (52), the fixed electrode and the movable part to (42) opposite way is arranged in a base substrate (2); a plurality of protrusions (6), which is arranged on the base substrate (2) of the movable portion (42) is arranged on the side and in plan view with the movable portion (42) at a position overlapping projections (6). With the conductor layer and the insulating layer, the conductor layer and the first fixed electrode (51) and the second fixed electrode (52) for the same potential, the insulating layer and the conductor layer relative to the substrate and is provided on the opposite side (2).

【技术实现步骤摘要】
物理量传感器以及物理量传感器的制造方法
本专利技术涉及一种物理量传感器、物理量传感器的制造方法、传感器装置、电子设备以及移动体。
技术介绍
作为对加速度、角速度等物理量进行检测的物理量传感器，已知一种设置有与基板对置并能够相对于该基板进行位移的可动体的结构的传感器(例如，参照专利文献1)。例如，专利文献1所述的物理量传感器包括：基板；被设置在基板的上方的摆动体；以使摆动体能够摆动的方式而对其进行支承的支承部；被设置在基板上并与摆动体对置地配置的检测电极。在这种物理量传感器中，根据摆动体与检测电极之间的静电电容而对加速度进行检测。此外，在专利文献1所述的物理量传感器中，在摆动体的与摆动中心轴交叉的方向上的两端的侧面上设置有突起部。由此，能够抑制摆动体的过度的位移。在上述的专利文献1所述的物理量传感器中，由于突起部与基板的从检测电极露出的部分接触，因此存在容易产生摆动体与基板发生粘附的问题。此外，由于突起部与摆动体一体地被构成，因此存在突起部与基板相接触时容易发生损坏的问题。专利文献1:日本特开2013-156121号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种能够良好地防止或减少可动体与基板的粘附的物理量传感器及其制造方法，此外，提供一种具备所述物理量传感器的传感器装置、电子设备以及移动体。这种目的通过下述的本专利技术来达成。本专利技术的物理量传感器的特征在于，具备：基板；可动体，其以与所述基板对置并能够相对于所述基板而位移的方式被设置；电极，其以与所述可动体对置的方式被配置在所述基板上；突起部，其被配置在所述基板的所述可动体侧且被配置于在俯视观察时与所述可动体重叠的位置处，所述突起部具有导体层和绝缘层，所述导体层与所述电极为相同电位，所述绝缘层相对于所述导体层而被设置在与所述基板相反的一侧。根据这种物理量传感器，由于突起部被配置在基板的可动体侧且被配置于在俯视观察时与可动体重叠的位置处，因此能够通过突起部而防止或减少可动体与基板发生粘附的情况。在此，由于突起部并没有被设置在可动体侧而是被设置在基板侧，因此能够提高突起部的韧性，从而减少突起部的损坏。此外，由于突起部的导体层与电极为相同电位，因此在物理量传感器的制造时，例如在对基板与其他的基板进行阳极接合时，通过对可动体与电极进行电连接，从而能够防止或减少可动体与基板的粘附。此外，由于突起部的绝缘层相对于导体层而被设置在突起部的顶端侧，因此即使可动体与突起部接触，也能够防止可动体与电极的短路。并且，通过突起部来限制可动体的过度的位移，从而能够防止或减少可动体的损坏等。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述突起部被配置于在所述俯视观察时与所述电极重叠的位置处，所述导体层与所述电极一体地被构成。由此，能够使突起部的导体层与电极一并形成。因此，能够减少随着突起部的形成而导致的物理量传感器的制造工序的复杂化。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述突起部具有凸部，所述凸部相对于所述导体层而在所述基板侧与所述基板一体地被构成。由此，能够容易地将突起部的高度设为较高。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述绝缘层为硅氧化膜。由此，能够通过成膜法而简单且高精度地形成具有优异的绝缘性的绝缘层。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述可动体以能够绕摆动中心轴而进行摆动的方式被设置，并且在从所述基板的厚度方向进行观察的俯视观察时以所述摆动中心轴为边界而被划分为第一可动部和第二可动部，所述电极具有第一电极和第二电极，所述第一电极以与所述第一可动部对置的方式被配置在所述基板上，所述第二电极以与所述第二可动部对置的方式被配置在所述基板上。由此，能够实现所谓的杠杆型的静电电容方式的加速度传感器。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，在所述俯视观察时，所述第二可动部的面积与所述第一可动部的面积相比较大。由此，能够容易地使第一可动部以及第二可动部的绕摆动中心轴的转矩不同。此外，在具有这种第一可动部以及第二可动部的可动体中，第二可动部容易与基板接触。因此，在这种情况下，通过应用本专利技术，其效果将较为显著。本专利技术的物理量传感器的制造方法的特征在于，包括：在第一基板上形成与所述第一基板对置并能够相对于所述第一基板而进行位移的可动体和与所述可动体对置的电极，并且在所述第一基板的所述可动体侧形成在俯视观察时与所述可动体重叠的突起部的工序；对所述可动体与所述电极进行电连接的工序；在对所述可动体与所述电极进行了电连接的状态下，将与所述第一基板一起形成对所述可动体进行收纳的空间的第二基板接合在所述第一基板上的工序；对所述可动体与所述电极的电连接进行解除的工序，所述突起部具有导体层和绝缘层，所述导体层与所述电极为相同电位，所述绝缘层相对于所述导体层而被设置在与所述第一基板相反的一侧。根据这种物理量传感器的制造方法，即使在对第一基板与第二基板进行阳极接合的情况下，也能够防止或减少可动体与第一基板发生粘附的情况。本专利技术的传感器装置的特征在于，具有：本专利技术的物理量传感器；与所述物理量传感器电连接的电子部件。根据这种传感器装置，通过防止或减少可动体与基板发生粘附的情况，从而能够提高可靠性。本专利技术的电子设备的特征在于，具备本专利技术的物理量传感器。根据这种电子设备，通过防止或减少可动体与基板发生粘附的情况，从而能够提高可靠性。本专利技术的移动体的特征在于，具备本专利技术的物理量传感器。根据这种电子设备，通过防止或减少可动体与基板发生粘附的情况，从而能够提高可靠性。附图说明图1为表示本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图(顶视图)。图2为图1中的A-A线剖视图。图3为用于对图1所示的物理量传感器所具备的突起部进行说明的放大剖视图。图4为用于对图1所示的物理量传感器的制造方法进行说明的流程图。图5为用于对图4所示的可动体与电极的连接工序进行说明的俯视图(顶视图)。图6为用于对图4所示的阳极接合工序进行说明的剖视图。图7为表示本专利技术的第二实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图(顶视图)。图8为图7中的B-B线剖视图。图9为表示本专利技术的传感器装置的一个示例的剖视图。图10为表示应用了本专利技术的电子设备的便携式(或笔记本式)的个人计算机的结构的立体图。图11为表示应用了本专利技术的电子设备的移动电话(也包括PHS：PersonalHandy-phoneSystem，个人手持式电话系统)的结构的立体图。图12为表示应用了本专利技术的电子设备的数码照相机的结构的立体图。图13为表示应用了本专利技术的移动体的汽车的立体图。具体实施方式以下，根据附图所示的实施方式而对本专利技术的物理量传感器、物理量传感器的制造方法、传感器装置、电子设备以及移动体进行详细说明。1.物理量传感器第一实施方式图1为表示本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图(顶视图)。图2为图1中的A-A线剖视图。另外，为了便于说明，在各图中，作为互相正交的三个轴而图示有X轴、Y轴以及Z轴，将表示各轴的箭头标记的前端侧设为“+”，将基端侧设为“-”。此外，在以下，将与X轴平行的方向称为“X轴方向”，将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”，将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。此外，将+Z轴方向侧称为“上”，将-Z轴方向侧称为“下”。图1以及图2所示的物理量传感器1例如被用作惯性传感器，具体而言，被用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物理量传感器，其特征在于，具备：基板；可动体，其以与所述基板对置并能够相对于所述基板而进行位移的方式被设置；电极，其以与所述可动体对置的方式被配置在所述基板上；突起部，其被配置在所述基板的所述可动体侧且被配置于在俯视观察时与所述可动体重叠的位置处，所述突起部具有导体层和绝缘层，所述导体层与所述电极为相同电位，所述绝缘层相对于所述导体层而被设置在与所述基板相反的一侧。

【技术特征摘要】
2015.09.29 JP 2015-1914341.一种物理量传感器，其特征在于，具备：基板；可动体，其以与所述基板对置并能够相对于所述基板而进行位移的方式被设置；电极，其以与所述可动体对置的方式被配置在所述基板上；突起部，其被配置在所述基板的所述可动体侧且被配置于在俯视观察时与所述可动体重叠的位置处，所述突起部具有导体层和绝缘层，所述导体层与所述电极为相同电位，所述绝缘层相对于所述导体层而被设置在与所述基板相反的一侧。2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述突起部被配置于在所述俯视观察时与所述电极重叠的位置处，所述导体层与所述电极一体地被构成。3.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述突起部具有凸部，所述凸部相对于所述导体层而在所述基板侧与所述基板一体地被构成。4.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述绝缘层为硅氧化膜。5.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述可动体以能够绕摆动中心轴而进行摆动的方式被设置，并且在从所述基板的厚度方向进行观察的俯视观察时以所述摆动中心轴为边界而被划分为第一可动部和第二可动部，所述电极具有第一电极和第二电极，所述第一电极以与所述第一可动部对置的方式被配置在所述基板上，所述第二电极以与所述第二可动部对置的方式被配置在所述基板上。6.如权利要求5所述的物理量传感器，其中，在所述俯视观察时，所述第二可动部的面积与所述第一可动部的面积相比较大。7.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，所述突起部具有凸部，所述凸部相对于所述导体层而在所述基板侧与所述基板一体地被构成。8.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，所述绝缘层为硅氧化膜。9.如权利要求3所述的物理量传感器，其中，所述绝缘层为硅氧化膜。10.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，所述可动体以能够绕摆动中心轴而进行摆动的方式被设置，并且在从所述基板的厚度方向进行观察的俯视观察时以所述摆动中心轴为边界而被划分为第一可动部和第二可动部，所述电极具有第一电极和第二电极，所述第一电极以与所述第一可动部对置的方式被配置在所述基板上，所述第二电极以与所述第二可动部对置的方式被配置在所述基板上。...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP