靶组件制造技术

本发明专利技术提供一种靶组件，其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电，同时能可靠地防止接合靶和背板的粘接材料向外部渗出，并且背板很容易再利用。具有绝缘材料靶(21)和通过粘接材料接合在该靶的一面上的背板(22)，且背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分(22a)的本发明专利技术的靶组件(2)，其特征在于：还具有与靶侧面之间留出规定的间隙而围绕在靶周围，覆盖延伸部分的靶侧的面并在背板上装卸自如的环形绝缘板(23)。

Target assembly

The invention provides a target component, abnormal discharge occurs between the backplane can inhibit the extension and target side, at the same time can reliably prevent the adhesive bonding materials between the target and the backing plate to the external leakage, it is easy to use and back. Insulating materials with the target (21) and engage in one side of the target via an adhesive material (22), the backplane extends back with peripheral target more than the outward extended part (22a) target assembly of the present invention (2), which is characterized in that: the gap between the provisions has set aside and target side and around the target around the coverage extension target side part of the face and on the back plate detachably the annular insulating board (23).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】靶组件
本专利技术涉及一种组装在溅射装置上的靶组件，具体而言涉及一种具有绝缘材料靶以及通过粘接材料与该靶的一面接合的背板，背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分的靶组件。
技术介绍
例如在NAND型闪存或MRAM(磁阻存储器)的制造工序中，会实施形成氧化铝膜或氧化镁膜等绝缘膜的工序，为批量生产绝缘膜而使用溅射装置。在这种溅射装置中，装卸自如地组装在可抽真空的真空室内的靶组件由根据待成膜的薄膜的成分而适当选择的靶以及在溅射该靶进行成膜时用于冷却的背板一体成型构成。这样的靶组件已知例如有专利文献1。在该靶组件中，背板由热传导性良好的铜等金属制成，具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分。并且，靶组件可利用该延伸部分而固定在溅射装置的规定位置上。再有，在将靶组件组装到溅射装置上后，为了使放电稳定等，通常与延伸部分相对设置围绕靶周围的环形屏蔽板。然而，在将靶组件和屏蔽板组装到溅射装置上的状态下，靶侧面和屏蔽板之间存在间隙。并且，一旦成膜时在真空室中产生等离子体，则存在等离子体中的电子就会通过上述间隙使金属材质的延伸部分带电的情况。一旦延伸部分上带有电子，则由于靶是绝缘材料，所以导致因该靶侧面和延伸部分的电位差而发生异常放电，因此存在粘接材料向外部渗出的情况。在这种状态下成膜的话，在基板表面上形成的绝缘膜中会混入金属，即产生所谓的污染，因此而妨碍良好成膜。为防止粘接材料渗出，本申请人在在先申请(专利申请2014－163095)中，提出一种阴极组件，其中接合有靶的背板的接合部分相对延伸部分而凸出设置，对从延伸部分到接合部分的侧面进行粗化处理，在从延伸部分到靶的侧面上形成绝缘材料膜。此处，在背板的寿命比靶长时，背板会被再利用。即一旦达到规定的处理片数，就从溅射装置中取下靶组件，除去粘接材料并将已使用完的靶和背板分离，使用粘接材料将未使用的靶接合在背板上，将如此得到的靶组件组装到溅射装置上。但是，在上述在先申请中，在去除粘接材料前需要去除绝缘材料膜，而该绝缘材料膜很难去除。进而，需要在将未使用的靶接合到背板上后再次形成绝缘材料膜，背板很不方便再利用。现有技术文献专利文献【专利文献1】专利公开2010－255052号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题鉴于以上情况，本专利技术的课题是提供一种靶组件，其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电，同时可靠地防止接合靶和背板的粘接材料向外部渗出，并且背板很容易再利用。解决技术问题的手段为解决上述技术问题，本专利技术的靶组件具有绝缘材料靶和通过粘接材料接合在该靶的一面上的背板，且背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分，其特征在于：还具有与靶侧面之间留出规定的间隙而围绕在靶周围，覆盖所述延伸部分的靶侧的面并在背板上装卸自如的环形绝缘板。采用本专利技术，由于通过围绕在靶周围的环形绝缘板覆盖延伸部分的靶侧的面，绝缘板和靶侧面之间存在规定的间隙，所以可防止等离子体中的电子通过该间隙使延伸部分带电，抑制异常放电的发生，从而能可靠地防止接合靶和背板的粘接材料向外部渗出。并且，由于绝缘板是装卸自如的，所以在更换靶时，只要从背板上取下绝缘板，去除粘接材料就能很容易地将已使用完的靶和背板分离，不像上述在先申请那样需要去除或再形成绝缘材料膜，背板很容易再利用。在本专利技术中，当在组装到溅射装置上的状态下，在配置了与靶侧面之间留出规定间隙并围绕靶周围的环状屏蔽板时，优选在面向靶和屏蔽板之间间隙的绝缘板的内周边部上具有朝向靶侧凸出设置的凸条。此处，一旦加厚绝缘板，一方面等离子体中的电子将难以通过靶侧面和绝缘板之间的间隙，可增加该间隙的幅度，另一方面从绝缘板到屏蔽板的距离缩短，两者之间容易发生异常放电。采用本专利技术，由于可增加绝缘板的内周边部的厚度，所以即可防止绝缘板和屏蔽板之间发生异常放电，又可增加靶侧面和绝缘板之间间隙的幅度，是有利的。在本专利技术中，优选绝缘板具有在圆周方向上留出一定间距开设的多个通孔，通过与各通孔的内壁之间留出间距而插设在通孔内的间隔件固定在背板上，以绝缘板的背板侧为上，设置有在间隔件的下端部朝径向外侧伸出的凸缘部，该凸缘部的上表面与绝缘板的下表面抵接。由此，即便靶因为等离子体发出的辐射热而在径向上延伸并推压绝缘板，绝缘板也只会在径向上移动通孔的内壁和间隔件之间的间隙的量，所以可防止绝缘板破裂。在本专利技术中，优选绝缘板分成多个圆弧形部件，在各圆弧形部件的圆周方向一端处具有下部比上部突出的第一阶梯部的同时，在圆周方向另一端处设置上部比下部突出的第二阶梯部，相邻的圆弧形部件的第一阶梯部和第二阶梯部的阶梯面彼此抵接。由此，可在径向上移动各圆弧形部件，从而可在靶的整个周长上大致均匀地调整靶侧面和绝缘板之间的间隙。附图说明图1是示出组装了本专利技术的实施方式的靶组件的溅射装置的剖面示意图。图2是从箭头A方向看图1所示的靶组件的示意图。图3是放大显示靶组件的主要部分的剖面图。图4是图2的IV－IV剖面图。图5是放大显示靶组件的变形例的主要部分的剖面图。具体实施方式下面参照附图，以安装在溅射装置上的产品为例，对本专利技术的实施方式的靶组件进行说明。下文以图1为基准，以真空室1的内顶部侧为“上”，其底部侧为“下”进行说明。如图1所示，溅射装置SM具有限定处理室1a的真空室1。真空室1的底部通过排气管与由涡轮分子泵或旋转泵等构成的真空泵P相连，可抽真空至规定压力(例如10－5Pa)。与省略图示的气源相连通并插设有质量流量控制器11的气管12与真空室1的侧壁相连，能以规定流量向处理室1a内导入由Ar等稀有气体构成的溅射气体。真空室1的内顶部上设置有阴极单元C。阴极单元C由靶组件2和磁铁单元3构成。进一步参照图2和图3，由根据需形成的薄膜的组成而适当选择的绝缘材料制成的靶21和用于在溅射成膜过程中冷却该靶21的金属材质的背板22一体成型形成靶组件2，靶21和背板22通过铟或锡等粘接材料(省略图示)接合。来自具有公知结构的作为溅射电源E的高频电源的输出连接在靶21上，在溅射时施加交流电力。磁铁单元3具有在靶21的溅射面21a的下方空间中产生磁场，捕捉溅射时在溅射面21a的下方电离的电子等，并有效地使从靶21飞散的溅射粒子离子化的公知结构。背板22具有比靶21的外周边更靠外且水平延伸的延伸部分22a，该延伸部分22a经绝缘部件I安装在真空室1内。由此，靶组件2安装在溅射装置SM上，在该状态下围住靶21并使环形屏蔽板4与延伸部分22a相对配置。在从屏蔽板4的外周边部向上竖立的侧壁部的上端设置有凸缘部4a，将该凸缘部4a固定在真空室1的上壁内面上，使屏蔽板4设置为接地电位。此外，屏蔽板4也可以是浮动式的。此外，背板22上接合有靶21的接合部分22b相对于延伸部分22a向下方凸出设置。凸出设置的量即从接合部分22b的下表面到延伸部分22a的下表面的长度设定在0.5～10mm的范围内。但是，为了放电稳定等，在屏蔽板4和靶21之间设置通常例如0.5～2mm的间隙d4。一旦等离子体通过该间隙到达背板22的延伸部分22a，则通过施加到延伸部分22a的交流电压使等离子体流通电流而发生异常放电。此处，本实施方式的靶组件2还具有与靶21的侧面之间留出规定的间隙d1而围绕在靶21周围、覆盖延伸部分22a的靶21侧的面并在背板22上装卸自如的环形绝缘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种靶组件，其具有绝缘材料靶，以及通过粘接材料接合在该靶的一面上的背板，且背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分，其特征在于：还具有与靶侧面之间留出规定的间隙而围绕在靶周围，覆盖所述延伸部分的靶侧的面并在背板上装卸自如的环形绝缘板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.03 JP 2014-2448021.一种靶组件，其具有绝缘材料靶，以及通过粘接材料接合在该靶的一面上的背板，且背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分，其特征在于：还具有与靶侧面之间留出规定的间隙而围绕在靶周围，覆盖所述延伸部分的靶侧的面并在背板上装卸自如的环形绝缘板。2.根据权利要求1所述的靶组件，其在组装到溅射装置上的状态下，并配置了与靶侧面之间留出规定间隙并围绕靶的周围的环状屏蔽板，其特征在于：在面向靶和屏蔽板之间的间隙的绝缘板的内周边部上具有朝向靶...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村真也，池田佳广，宫口有典，桥本一义，堤贤吾，藤井佳词，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本,JP