一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置，玻璃基板内缺陷检测方法包括：将光源(1)和第一摄像装置(2)分别设置在待检测玻璃基板(3)板面的相对两侧；在与待检测玻璃基板(3)发生相对移动过程中，所述光源(1)发射的光线穿过待检测玻璃基板(3)后射入所述第一摄像装置(2)；根据所述第一摄像装置(2)内的视场识别待检测玻璃基板(3)内是否存在缺陷。通过本发明专利技术的玻璃基板内缺陷检测方法及装置能够判断玻璃基板内是否存在缺陷，并且能够准确地识别距离缺陷位置较近的待检测玻璃基板(3)的板面。

Method and device for detecting defects in glass substrate

The invention discloses a glass substrate defect detection method and device, including a defect detection method for glass substrate: the light source (1) and the first imaging device (2) are respectively arranged on the glass substrate (3) to be detected on opposite sides of the surface of the glass substrate to be detected; and (3) the relative movement in the process and the light source (1) emitting light through the glass substrate (3) to be detected after injection of the first imaging device (2); according to the first imaging device (2) in the field of identification by detecting the glass substrate (3) in the presence of defects. The method and the device for detecting defects in the glass substrate of the invention can judge whether there is any defect in the glass substrate and can accurately recognize the surface of the glass substrate (3) which is closer to the distance of the defect.

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置
本专利技术涉及玻璃基板检测
，具体地，涉及一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置。
技术介绍
平板显示基板玻璃是一种对内部缺陷容忍要求极高的超薄平板玻璃，对于内部的气泡、结石、析晶等缺陷要求不能超过一定的尺寸。现有技术中，玻璃基板内是否存在缺陷的检测方法非常复杂，而且，现有技术中对缺陷的位置，即接近于玻璃基板上板面还是下板面，是无能为力的。而实际上，下游客户对于玻璃基板内部的缺陷位置，是区别对待的。对于接近于制作薄膜晶体管那面的缺陷要求比接近于另一面缺陷的要求要严苛。因此，如何确定玻璃基板内部缺陷位置是亟待解决的问题，需要专利技术一种能够区分缺陷所处位置的检测方法。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置，通过本专利技术的装置和方法既能检测出玻璃基板内是否存在缺陷，并且能够识别出玻璃基板中距离缺陷更近的基板板面。为了实现上述目的，本专利技术提供一种玻璃基板内缺陷检测方法，该玻璃基板内缺陷检测方法包括：将光源和第一摄像装置分别设置在待检测玻璃基板板面的相对两侧；在与待检测玻璃基板发生相对移动过程中，所述光源发射的光线穿过待检测玻璃基板后射入所述第一摄像装置；根据所述第一摄像装置内的视场识别待检测玻璃基板内是否存在缺陷。可选地，当所述第一摄像装置内为不变的明亮视场时，判断待检测玻璃基板内无缺陷；当所述第一摄像装置内为变化的明亮视场时，判断待检测玻璃基板内存在缺陷。可选地，该玻璃基板内缺陷检测方法还包括：在所述光源和待检测玻璃基板发生相对移动过程中，设置第二摄像装置，使第二摄像装置的焦点位于待检测玻璃基板内部所述光源发射的光线上并且与待检测玻璃基板其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板厚度的三分之一；当所述第一摄像装置内为变化的明亮视场时，根据所述第二摄像装置内的视场识别距离缺陷位置较近的待检测玻璃基板的板面；优选地，所述第二摄像装置的焦点与待检测玻璃基板其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板厚度的五分之一。可选地，所述第一摄像装置内为变化的明亮视场，当所述第二摄像装置内为暗视场并闪现光线时，判断缺陷位置接近于与所述第二摄像装置焦点距离较近的待检测玻璃基板的板面，当所述第二摄像装置内为暗视场且无光线时，判断缺陷位置接近于与所述第二摄像装置焦点距离较远的待检测玻璃基板的板面。可选地，所述玻璃基板内缺陷检测方法在暗场环境中进行。可选地，所述第一摄像装置的光轴与所述光源发射的光线平行。可选地，在所述光源和待检测玻璃基板发生相对移动过程中，保持所述光源、所述第一摄像装置和所述第二摄像装置静止移动待检测玻璃基板。可选地，所述第二摄像装置的光轴与待检测玻璃基板的板面相垂直。本专利技术还提供一种玻璃基板内缺陷检测装置，该玻璃基板内缺陷检测装置包括：位于待检测玻璃基板板面相对两侧的光源和第一摄像装置，焦点位于待检测玻璃基板内部所述光源发射的光线上的第二摄像装置；在与待检测玻璃基板发生相对移动过程中，所述光源发射的光线穿过待检测玻璃基板后射入所述第一摄像装置，所述第二摄像装置的焦点与待检测玻璃基板其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板厚度的三分之一；优选地，所述第二摄像装置的焦点与待检测玻璃基板其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板厚度的五分之一。可选地，所述待检测玻璃基板为透明玻璃基板，所述光源发射的光线为线性光，线性光的宽度小于待检测玻璃基板厚度的二分之一；优选地，所述光源发射的光线为线性光，线性光的宽度小于待检测玻璃基板厚度的三分之一。通过本专利技术的玻璃基板内缺陷检测方法及装置能够判断玻璃基板内是否存在缺陷，并且能够准确地识别出玻璃基板中距离缺陷更近的基板板面。本专利技术的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是通过本专利技术的玻璃基板内缺陷检测装置检测玻璃基板内缺陷时的一种具体实施方式的结构示意图。图2是通过本专利技术的玻璃基板内缺陷检测装置检测玻璃基板内缺陷时的一种具体实施方式的结构示意图。附图标记说明1光源2第一摄像装置3待检测玻璃基板4第二摄像装置具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。本专利技术所述的玻璃基板内缺陷检测方法指检测玻璃基板内是否存在缺陷以及缺陷的位置；所述检测玻璃基板内缺陷的位置指的是检测玻璃基板内缺陷与哪个基板板面的距离更近，也可以说是识别出玻璃基板中距离缺陷更近的基板板面。本专利技术提供一种玻璃基板内缺陷检测方法，该玻璃基板内缺陷检测方法可以包括：将光源1和第一摄像装置2分别设置在待检测玻璃基板3板面的相对两侧；在与待检测玻璃基板3发生相对移动过程中，所述光源1发射的光线穿过待检测玻璃基板3后射入所述第一摄像装置2；根据所述第一摄像装置2内的视场识别待检测玻璃基板3内是否存在缺陷。如图1或2所示，通过移动光源1或者移动待检测玻璃基板3均可以使光源1和待检测玻璃基板3间发生相对移动，在发生相对移动的过程中可以使光源1发射的光线与待检测玻璃基板3的板面间的角度保持不变为30-70度，使光源1发射的光线可以一直射入第一摄像装置2内，并且使光源1发射的光线扫过待检测玻璃基板3的整个板面，在这个过程中，通过第一摄像装置2内的视场可以识别待检测玻璃基板3内是否存在缺陷。根据本专利技术，当所述第一摄像装置2内为不变的明亮视场时，可以判断待检测玻璃基板3内无缺陷；当所述第一摄像装置2内为变化的明亮视场时，可以判断待检测玻璃基板3内存在缺陷。若第一摄像装置2内为不变的明亮视场，即通过光源1和待检测玻璃基板3间发生相对移动使光源1发射的光线扫射过整个待检测玻璃基板3板面的过程中，第一摄像装置2内观察到的视场一直为正常的明亮视场即不变的明亮视场，说明整个待检测玻璃基板3内部是均一的结构、不存在缺陷。如果待检测玻璃基板3内存在缺陷，光源1的光线扫射到达此处时，光线就会部分被缺陷阻挡或散射等，此时，第一摄像装置2内的视场就会发生变化，因为缺陷体积往往很小，所以第一摄像装置2内的视场可以由明亮视场、瞬间暗视场或者瞬间亮度变暗后迅速恢复明亮视场，因此，第一摄像装置2内为变化的明亮视场时，可以判断待检测玻璃基板3内存在缺陷，并且第一摄像装置2内视场发生变化时，光源1的光线在基板内走过的光路上存在缺陷，但是缺陷距离待检测玻璃基板3哪个板面的距离更近仍然不能确定。根据本专利技术，该玻璃基板内缺陷检测方法还可以包括：在所述光源1和待检测玻璃基板3发生相对移动过程中，可以设置第二摄像装置4，可以使第二摄像装置4的焦点位于待检测玻璃基板3内部所述光源1发射的光线上并且与待检测玻璃基板3其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板厚度的三分之一；当所述第一摄像装置2内为变化的明亮视场时，根据所述第二摄像装置4内的视场可以识别距离缺陷位置较近的待检测玻璃基板3的板面；优选地，所述第二摄像装置4的焦点与待检测玻璃基板3其中一个板面间的距离可以不大于待检测玻璃基板3厚度的五分之一。在本专利技术的玻璃基板内缺陷检测方法中，首先可以通过光源1和第一摄像装置2判断待本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板内缺陷检测方法，其特征在于，该玻璃基板内缺陷检测方法包括：将光源(1)和第一摄像装置(2)分别设置在待检测玻璃基板(3)板面的相对两侧；在与待检测玻璃基板(3)发生相对移动过程中，所述光源(1)发射的光线穿过待检测玻璃基板(3)后射入所述第一摄像装置(2)；根据所述第一摄像装置(2)内的视场识别待检测玻璃基板(3)内是否存在缺陷。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板内缺陷检测方法，其特征在于，该玻璃基板内缺陷检测方法包括：将光源(1)和第一摄像装置(2)分别设置在待检测玻璃基板(3)板面的相对两侧；在与待检测玻璃基板(3)发生相对移动过程中，所述光源(1)发射的光线穿过待检测玻璃基板(3)后射入所述第一摄像装置(2)；根据所述第一摄像装置(2)内的视场识别待检测玻璃基板(3)内是否存在缺陷。2.根据权利要求1所述的玻璃基板内缺陷检测方法，其中，当所述第一摄像装置(2)内为不变的明亮视场时，判断待检测玻璃基板(3)内无缺陷；当所述第一摄像装置(2)内为变化的明亮视场时，判断待检测玻璃基板(3)内存在缺陷。3.根据权利要求1所述的玻璃基板内缺陷检测方法，其中，该玻璃基板内缺陷检测方法还包括：在所述光源(1)和待检测玻璃基板(3)发生相对移动过程中，设置第二摄像装置(4)，使第二摄像装置(4)的焦点位于待检测玻璃基板(3)内部所述光源(1)发射的光线上并且与待检测玻璃基板(3)其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板(3)厚度的三分之一；当所述第一摄像装置(2)内为变化的明亮视场时，根据所述第二摄像装置(4)内的视场识别距离缺陷位置较近的待检测玻璃基板(3)的板面；优选地，所述第二摄像装置(4)的焦点与待检测玻璃基板(3)其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板(3)厚度的五分之一。4.根据权利要求3所述的玻璃基板内缺陷检测方法，其中，所述第一摄像装置(2)内为变化的明亮视场，当所述第二摄像装置(4)内为暗视场并闪现光线时，判断缺陷位置接近于与所述第二摄像装置(4)焦点距离较近的待检测玻璃基板(3)的板面；当所述第二摄像装置(4)内为暗视场且无光线时，判断缺陷位置接近于与所述第二摄像装置(4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：周波，李青，王丽红，胡恒广，
申请(专利权)人：福州东旭光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35