The invention discloses an isotope gas purification device, including gas source, connected by pipelines. The crude removal equipment, online analyzer, fine combined gas removal equipment and gas products and components including the buffer container; coarse coarse and multi group parallel connected components, each component is composed of coarse and composition of flowmeter are connected in series and coarse and fine removal equipment including column; multi group parallel connected fine removal column; column by column and coarse coarse and cavity and the rough removal agent; a plurality of fine fine removal column by column cavity fine removal and the removal agent. The invention adopts multiple purification components in parallel, when a group of operation, the other group can be regenerated stand-by, ensure the continuity of purification treatment; purifying agent can be replaced according to the actual needs of different, to achieve different treatment effect, can choose the purifying agent range; dynamic monitoring system, and the working state of the purifying agent life on-line monitoring, easy to use and maintenance.
【技术实现步骤摘要】
同位素气体净化处理装置
本专利技术属于一种气体净化处理装置,具体涉及一种同位素气体净化处理装置。
技术介绍
同位素气体广泛用于半导体研究、军事、照明、生物医药、医疗、基础物理研究等。这些同位素气体有:氩-36、氩-38、氩-40、氯-35、氯-37、氘、氦-3、氖-20、氖-21、氖-22、氮-15、氧-17、氧-18、氙-124、氙-126、氙-128、氙-129、氙-131、氙-132、氙-134、氙-136等。由于应用领域的需要通常要求高纯度、高丰度。但是由于原生性和生产过程污染造成同位素气体产品中杂质较多,这些杂质通常为:O2、H2O、CO2、CO、CF4、C2H2、C2H4、CH4等。同位素气体的应用领域要求主成分纯度尽量高,杂质气体尽量低,而且净化处理过程的主成分损耗越低越好。这样就需要一个装置在不损耗同位素气体的情况下,对杂质气体进行吸收。
技术实现思路
本专利技术是为了克服现有技术中存在的确定而提出的,其目的是提供一种同位素气体净化处理装置。本专利技术的技术方案是:一种同位素气体净化处理装置,包括通过管路依次连通的气体源、粗脱设备、组合式气体在线分析仪、精脱设备和气体产品缓冲容器;所述粗脱组件包括多组并联连接的粗脱组件,每组粗脱组件由相互串联的流量计和粗脱柱组成;所述精脱设备包括多组并联连接的精脱柱;所述粗脱柱由粗脱柱腔体和设置于其内部的粗脱剂组成;所述精脱柱由精脱柱腔体和设置于其内部的多个精脱剂组成。所述流量计设置于粗脱柱靠近气体源的一侧。所述气体源与粗脱设备之间、每组粗脱组件出口处和气体产品缓冲容器进口处均设置有阀门。所述粗脱剂沿粗脱柱腔体 ...
【技术保护点】
一种同位素气体净化处理装置,其特征在于:包括通过管路依次连通的气体源(1)、粗脱设备(2)、组合式气体在线分析仪(3)、精脱设备(4)和气体产品缓冲容器(5);所述粗脱组件(2)包括多组并联连接的粗脱组件(6),每组粗脱组件(6)由相互串联的流量计(8)和粗脱柱(9)组成;所述精脱设备(4)包括多组并联连接的精脱柱(7);所述粗脱柱(9)由粗脱柱腔体(10)和设置于其内部的粗脱剂(11)组成;所述精脱柱(7)由精脱柱腔体(12)和设置于其内部的多个精脱剂(13)组成。
【技术特征摘要】
1.一种同位素气体净化处理装置,其特征在于:包括通过管路依次连通的气体源(1)、粗脱设备(2)、组合式气体在线分析仪(3)、精脱设备(4)和气体产品缓冲容器(5);所述粗脱组件(2)包括多组并联连接的粗脱组件(6),每组粗脱组件(6)由相互串联的流量计(8)和粗脱柱(9)组成;所述精脱设备(4)包括多组并联连接的精脱柱(7);所述粗脱柱(9)由粗脱柱腔体(10)和设置于其内部的粗脱剂(11)组成;所述精脱柱(7)由精脱柱腔体(12)和设置于其内部的多个精脱剂(13)组成。2.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:李强,牟宏,谢全新,丛艺坤,耿冰霜,
申请(专利权)人:核工业理化工程研究院,
类型:发明
国别省市:天津,12
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