用于蒸镀设备的挡板装置及蒸镀设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于蒸镀设备的挡板装置及蒸镀设备。挡板装置包括：挡板组件，所述挡板组件包括挡板，所述挡板用于在所述蒸镀设备中切换基板时，隔开蒸镀喷射源以及基板；至少一个收集装置，所述收集装置设在所述挡板组件的下方，用于收集从所述挡板上掉落的蒸镀材料，所述收集装置上具有将从所述蒸镀喷射源喷出的蒸镀材料导向所述挡板的导向面。根据本发明专利技术的挡板装置，可避免因挡板上的蒸镀材料掉落入蒸镀喷射源的周围而将蒸镀喷射源堵塞，进而避免因蒸镀喷射源被堵塞或部分堵塞而使得基板上镀层的均匀性受到影响。

Baffle device for evaporation equipment and evaporation equipment

The invention discloses a baffle device used for a steam deposition equipment and a steam deposition equipment. The baffle device comprises a baffle plate assembly, wherein the baffle plate assembly includes a baffle, the baffle is used for steam switch substrate in the plating equipment, separated by evaporation jet source and substrate; at least one collecting device, the bottom is arranged on the baffle component of the collection device to collect from the baffle drop the deposition material from the evaporation source jet ejected evaporation material toward the baffle guide surface with the collection device. According to the baffle plate of the device of the invention can avoid the baffle evaporation materials fall into the steam source and the jet plating around the evaporation source and avoid clogging injection, evaporation jet source is blocked or partially blocked and the uniformity of the substrate coating is affected by.

【技术实现步骤摘要】
用于蒸镀设备的挡板装置及蒸镀设备
本专利技术涉及蒸镀
，尤其是涉及一种用于蒸镀设备的挡板装置及蒸镀设备。
技术介绍
在有机发光面板的制程中，需要在基板上制作有机发光层，真空蒸镀是一种广泛采纳的方法。相关技术中，在蒸镀过程中切换不同的基板时，为了避免蒸镀材料沉积在蒸镀设备的腔体壁上，通常会利用挡板将基板和蒸镀喷射源隔开，等待基板切换完成后，再将挡板移开，继续对新的基板进行蒸镀。然而，在蒸镀过程中，由于挡板重复使用，随着蒸镀时间的增加，挡板上的蒸镀材料极易脱落，存在堵塞蒸镀喷射源的风险，影响有机发光层成膜的均一性，进一步影响了有机发光面板的显示品质。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种用于蒸镀设备的挡板装置，所述挡板装置可避免因挡板上的蒸镀材料脱落而导致的蒸镀喷射源被堵塞。本专利技术还提出一种包括上述实施例中的挡板装置的蒸镀设备。根据本专利技术实施例的用于蒸镀设备的挡板装置，包括：挡板组件，所述挡板组件包括挡板，所述挡板用于在所述蒸镀设备中切换基板时，隔开蒸镀喷射源以及基板；至少一个收集装置，所述收集装置设在所述挡板组件的下方，用于收集从所述挡板上掉落的蒸镀材料，所述收集装置上具有将从所述蒸镀喷射源喷出的蒸镀材料导向所述挡板的导向面。根据本专利技术实施例的用于蒸镀设备的挡板装置，通过设置收集装置，同时使得收集装置具有将从蒸镀喷射源喷出的蒸镀材料导向挡板的导向面，在切换不同的基板时，导向面可将较多的蒸镀材料导向挡板且蒸镀材料可覆在挡板上，这样，挡板上掉落的蒸镀材料可直接被收集装置收集，不会掉入蒸镀腔的除收集装置以外的空间，从而避免因挡板上的蒸镀材料掉落入蒸镀喷射源的周围而将蒸镀喷射源堵塞，进而避免因蒸镀喷射源被堵塞或部分堵塞而使得基板上镀层的均匀性受到影响，继而进一步提高有机发光面板的显示品质，同时还便于对收集装置收集的蒸镀材料的回收和利用，节约成本，且有利于延长挡板的使用寿命。根据本专利技术的一些实施例，每个所述收集装置包括：连接杆，所述连接杆的上端连接至所述挡板组件；导向部，所述导向部固定在所述连接杆的下端，所述导向部的上表面限定出用于收集所述蒸镀材料的容纳空间，所述导向部的下表面被构造成所述导向面。具体地，所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离可调。可选地，所述收集装置还包括：第一套筒，所述第一套筒可上下移动地套设在所述连接杆上；多个支撑条，每个所述支撑条的内端可枢转地连接至所述连接杆的下端且多个所述支撑条呈放射状分布且支撑在所述导向部的上表面上；多个连接条，多个所述连接条与多个所述支撑条一一对应设置，每个所述连接条的一端可转动地连接至相应的所述支撑条上且另一端可转动地连接至所述第一套筒的下端。具体地，所述导向部为弹性件，所述收集装置还包括：第二套筒，所述第二套筒可上下移动地套设在所述连接杆上；多个连接板，每个所述连接板的第一端连接至所述第二套筒的下端且多个所述连接板呈放射状分布，每个所述连接板的第二端与所述导向部相连。进一步地，所述连接杆上设有多个沿所述连接杆的长度方向均匀间隔设置的第一固定孔，所述第一套筒的侧壁上设有第二固定孔，在所述第一套筒相对所述连接杆上下移动时，所述第二固定孔与其中一个所述第一固定孔对应，固定件依次穿过所述第二固定孔和所述第一固定孔以将所述第一套筒固定至所述连接杆。可选地，所述收集装置为多个，多个所述收集装置包括多个第一收集装置和多个第二收集装置，所述第一收集装置的所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离与所述第二收集装置的所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离不相等，所述第一收集装置和所述第二收集装置交错排布在所述挡板组件上。可选地，所述收集装置为多个，多个所述收集装置间隔开地设在所述挡板组件上，靠近所述挡板组件的中心的所述收集装置的所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离大于远离所述挡板组件的中心的所述收集装置的所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离。可选地，所述连接杆可转动地设在所述挡板组件上且所述连接杆与所述挡板组件之间的角度可调。可选地，所述连接杆和所述导向部偏心设置。具体地，每个所述收集装置还包括调节杆，所述调节杆的一端固定至所述连接杆，所述调节杆的另一端连接在所述挡板组件上且可沿着连接杆的周向转动，所述调节杆的延伸长度可调。进一步地，所述调节杆包括：中空的第一调节部，所述第一调节部的一端固定至所述连接杆；和第二调节部，所述第二调节部的一端连接至所述挡板组件且可沿着连接杆的周向转动，所述第二调节部的另一端配合在所述第一调节部内且与所述第一调节部滑动配合。根据本专利技术的一些实施例，所述连接杆的长度可调。具体地，所述导向部形成为大体倒置的锥体形形状或碗形形状。根据本专利技术的一些实施例，所述挡板组件还包括固定框，所述挡板设置在所述固定框的顶部，所述固定框上具有多个网格孔，相邻的两个所述网格孔之间通过连接筋间隔开。根据本专利技术实施例的蒸镀设备，包括：蒸镀箱，所述蒸镀箱内具有彼此间隔开的蒸镀腔和收纳腔；蒸镀喷射源，所述蒸镀喷射源位于所述蒸镀腔内以用于喷射蒸镀材料；和上述的用于蒸镀设备的挡板装置。根据本专利技术实施例的蒸镀设备，通过设置上述的挡板装置，在切换不同的基板时，导向面可将较多的蒸镀材料导向挡板且蒸镀材料可覆在挡板的位于收集装置上方的区域，这样，挡板上掉落的蒸镀材料可直接被收集装置收集，不会掉入蒸镀腔的除收集装置以外的空间，从而避免因挡板上的蒸镀材料掉落入蒸镀喷射源的周围而将蒸镀喷射源堵塞，进而避免因蒸镀喷射源被堵塞或部分堵塞而使得基板的镀层均匀性受到影响，继而进一步提高有机发光面板的显示品质，同时还便于对收集装置收集的蒸镀材料的回收和利用，节约成本，且有利于延长挡板的使用寿命。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是根据本专利技术一些实施例的蒸镀设备的部分结构的示意图；图2是根据本专利技术另一些实施例的蒸镀设备的部分结构的示意图；图3是根据本专利技术又一些实施例的蒸镀设备的部分结构示意图；图4是根据本专利技术一些实施例的收集装置的示意图；图5是根据图4所示的A处的放大后的截面图；图6根据本专利技术另一些实施例的收集装置的示意图；图7是根据本专利技术又一些实施例的收集装置的示意图；图8是根据本专利技术一些实施例的挡板组件的示意图；图9是根据本专利技术一些实施例的挡板组件的另一方向的示意图。附图标记：蒸镀设备1000；挡板装置100；挡板组件1；挡板11；固定框12；网格孔121；连接筋122；收集装置2；连接杆21；第一连接段211；第二连接段212；第一固定孔211；导向部22；上表面221；容纳空间221a；下表面/导向面222；第一套筒23；第二固定孔231；支撑条24；连接条25；第二套筒26；第三固定孔261；连接板27；调节杆28；第一调节部281；第二调节部282；固定件29；紧固件30；蒸镀腔200；蒸镀喷射源300；基板400。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，包括：挡板组件，所述挡板组件包括挡板，所述挡板用于在所述蒸镀设备中切换基板时，隔开蒸镀喷射源以及基板；至少一个收集装置，所述收集装置设在所述挡板组件的下方，用于收集从所述挡板上掉落的蒸镀材料，所述收集装置上具有将从所述蒸镀喷射源喷出的蒸镀材料导向所述挡板的导向面。

【技术特征摘要】
1.一种用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，包括：挡板组件，所述挡板组件包括挡板，所述挡板用于在所述蒸镀设备中切换基板时，隔开蒸镀喷射源以及基板；至少一个收集装置，所述收集装置设在所述挡板组件的下方，用于收集从所述挡板上掉落的蒸镀材料，所述收集装置上具有将从所述蒸镀喷射源喷出的蒸镀材料导向所述挡板的导向面。2.根据权利要求1所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，每个所述收集装置包括：连接杆，所述连接杆的上端连接至所述挡板组件；导向部，所述导向部固定在所述连接杆的下端，所述导向部的上表面限定出用于收集所述蒸镀材料的容纳空间，所述导向部的下表面被构造成所述导向面。3.根据权利要求2所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离可调。4.根据权利要求3所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述收集装置还包括：第一套筒，所述第一套筒可上下移动地套设在所述连接杆上；多个支撑条，每个所述支撑条的内端可枢转地连接至所述连接杆的下端且多个所述支撑条呈放射状分布且支撑在所述导向部的上表面上；多个连接条，多个所述连接条与多个所述支撑条一一对应设置，每个所述连接条的一端可转动地连接至相应的所述支撑条上且另一端可转动地连接至所述第一套筒的下端。5.根据权利要求3所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述导向部为弹性件，所述收集装置还包括：第二套筒，所述第二套筒可上下移动地套设在所述连接杆上；多个连接板，每个所述连接板的第一端连接至所述第二套筒的下端且多个所述连接板呈放射状分布，每个所述连接板的第二端与所述导向部相连。6.根据权利要求4所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述连接杆上设有多个沿所述连接杆的长度方向均匀间隔设置的第一固定孔，所述第一套筒的侧壁上设有第二固定孔，在所述第一套筒相对所述连接杆上下移动时，所述第二固定孔与其中一个所述第一固定孔对应，固定件依次穿过所述第二固定孔和所述第一固定孔以将所述第一套筒固定至所述连接杆。7.根据权利要求2所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述收集装置为多个，多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：周炟，莫再隆，马群，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11