The utility model provides an air inlet electrode plate used for plasma enhanced chemical vapor deposition, which relates to the technical field of a plasma enhanced new electrode plate. The utility model comprises a spray head plate electrode structure, the electrode rod structure and a mounting flange connected with the spray head, the top electrode plate structure of electrode bar structure, electrode plate structure is provided with a mounting flange, showerhead electrode plate structure comprises a showerhead electrode plate, insulating ceramics and spray head shield, the shield is arranged on the outer side of the spray head the showerhead electrode plate, an insulating ceramic spray head is arranged between the electrode plate and the spray head shield electrode rod structure including electrode rod and rod electrode shielding, shielding electrode rod is arranged on the outer side of the electrode bars, the electrode rod is connected with the gas insulated ceramic joint. The utility model solves the problems of the power loss caused by the normal glow of the lead plate of the conventional electrode plate, the power loss caused by the normal glow of the electrode plate, the instability of the glow, and the influence of the film forming quality.
【技术实现步骤摘要】
一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板
本技术涉及一种等离子体增强新型电极板
,特别是涉及一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板。
技术介绍
进气匀气装置和产生等离子体的电极板,对等离子体增强化学气相沉积pecvd设备的薄膜沉积质量和效率至关重要,现有的等离子体电极板存在以下问题:1、电极板的多重密封,以及安装维修不便捷;2、进气系统的绝缘干扰问题,影响质量流量控制器的精确度,造成进气不稳定;3、射频电源引入导线起辉发光,影响电极板喷淋头的辉光,造成辉光区不稳定,影响电离效果;4、喷淋头的进气腔出气不均匀。
技术实现思路
针对上述问题中存在的不足之处,本技术提供一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板,使其达到产生均匀的气场辉光区和高密度均匀稳定等离子体,从而使PECVD化学气相沉积设备成膜质量更高,更稳定。为了解决上述问题,本技术提供一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板,其中,包括喷淋头电极板结构、电极杆结构和安装法兰,所述电极杆结构的顶端与所述喷淋头电极板结构连接,所述电极板结构上设置有安装法兰,所述喷淋头电极板结构包括喷淋头电极板、绝缘陶瓷和喷淋头屏蔽罩,所述喷淋头屏蔽罩设置在所述喷淋头电极板的外侧,所述喷淋头电极板与所述喷淋头屏蔽罩之间设置有绝缘陶瓷,所述电极杆结构包括电极杆和电极杆屏蔽套,所述电极杆屏蔽套设置在所述电极杆的外侧,所述电极杆的底部连接有绝缘陶瓷气路接头,所述绝缘陶瓷气路接头与外部进气管连接。优选的,所述喷淋头电极板由双层不锈钢匀气腔组成,所述不锈钢匀气腔上部均匀密布直径1毫米的匀气板,所述匀气板与所述电极杆9直 ...
【技术保护点】
一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板,其特征在于,包括喷淋头电极板结构、电极杆结构和安装法兰,所述电极杆结构的顶端与所述喷淋头电极板结构连接,所述电极板结构上设置有安装法兰,所述喷淋头电极板结构包括喷淋头电极板、绝缘陶瓷和喷淋头屏蔽罩,所述喷淋头屏蔽罩设置在所述喷淋头电极板的外侧,所述喷淋头电极板与所述喷淋头屏蔽罩之间设置有绝缘陶瓷,所述电极杆结构包括电极杆和电极杆屏蔽套,所述电极杆屏蔽套设置在所述电极杆的外侧,所述电极杆的底部连接有绝缘陶瓷气路接头,所述绝缘陶瓷气路接头与外部进气管连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板,其特征在于,包括喷淋头电极板结构、电极杆结构和安装法兰,所述电极杆结构的顶端与所述喷淋头电极板结构连接,所述电极板结构上设置有安装法兰,所述喷淋头电极板结构包括喷淋头电极板、绝缘陶瓷和喷淋头屏蔽罩,所述喷淋头屏蔽罩设置在所述喷淋头电极板的外侧,所述喷淋头电极板与所述喷淋头屏蔽罩之间设置有绝缘陶瓷,所述电极杆结构包括电极杆和电极杆屏蔽套,所述电极杆屏蔽套设置在所述电极杆的外侧,所述电极杆的底部连接有绝缘陶瓷气路接头,所述绝缘陶瓷气路接头与外部进气管连接。2.如权利要求1所述的用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板,其特征在于,所述喷淋头电极板由双层不锈钢匀气腔组成,所述不锈钢匀气腔上部均匀密布直径1毫米的匀气板,所述匀...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵俊华,
申请(专利权)人:沈阳聚智真空设备有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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