样品位置对准方法和带电粒子束装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及样品位置对准方法和带电粒子束装置。在样品位置对准方法中，能够容易且迅速地将样品的观察对象部位位置对准于利用第一带电粒子束的观察视场内。是一种样品位置对准方法，其中，将配置在样品工作台（15）的样品（14）的观察对象部位位置对准于观察视场内，并且，包含：将包含样品（14）的图像显示在显示画面中；基于显示画面的图像来指定注目点；以使注目点位于当通过光学轴（Ob）上的轴上目标点时与光学轴（Ob）正交的轴上点探索面的方式对样品工作台的光学轴（Ob）方向的位置进行对准；进行注目点与轴上目标点的位置偏离的感测和轴上点探索面内移动，将注目点移动到轴上目标点；以及在注目点移动到轴上目标点之后，将注目点移动到带电粒子束光学系统的焦点深度内。

Sample position alignment method and charged particle beam device

The present invention relates to a sample position alignment method and a charged particle beam device. In the sample position alignment method, the observation object position of the sample can be easily and rapidly located in the observation field of the first charged particle beam. Is the alignment method, a sample position which are arranged in the sample table (15) of the sample (14) observation of the object position is aligned to the field of view, and include: (14) the sample will contain the image displayed on the display screen; display screen based image to specify the attention to; the striking point is located in when the optical axis (Ob) on the axis of target point and the optical axis (Ob) orthogonal to the optical axis of the axis point to explore the ways of sample table (Ob) position alignment; sense of position deviation of focus point and target point and axis the on axis exploration of plane movement, attention will point to the target point on the moving shaft; and after the attention moves to the shaft target point, depth of focus will move to the attention of charged particle beam in optical system.

【技术实现步骤摘要】
样品位置对准方法和带电粒子束装置
本专利技术涉及样品位置对准方法和带电粒子束装置。
技术介绍
带电粒子束是指离子束和电子束的总称。将能够利用聚焦后的带电粒子束来进行加工、观察和分析的至少任一个（以下，称为观察等）的装置称为带电粒子束装置。该带电粒子束装置装载有形成离子束的离子束镜筒和形成电子束的电子束镜筒之中的至少任一个。带电粒子束装置也包含装载有多个镜筒的复合装置。在带电粒子束装置中，在通过带电粒子束对样品进行观察等之前，需要将样品中的观察等的对象部位（以下，仅称为观察对象部位）配置在利用带电粒子束的观察视场范围内。例如，在专利文献1中记载有为了探索样品的应该观察的区域而具备光学显微镜的扫描型电子显微镜（SEM）。在专利文献2中记载有对处于实验室（样品室）内的样品照射激光束并且通过CCD摄像机进行摄像来将所摄像的实验室内的图像和示出粒子光学束轴线的位置的标志一起显示在显示器中的粒子光学式扫描显微镜（带电粒子束装置）。在该粒子光学式扫描显微镜中，操作者观察显示器中的标志和样品的图像，进行样品的位置对准。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平4-308639号公报；专利文献2：日本特表2009-525571号公报。专利技术要解决的课题可是，在以往的样品位置对准方法和带电粒子束装置中，存在以下那样的问题。由带电粒子束装置进行观察等的样品的观察对象部位极其微小，在样品内分散。因此，一个样品内的全部观察对象部位并不限于存在于利用带电粒子束的观察视场范围内。利用带电粒子束照射的视场范围例如在高倍率的情况下为1μm×1μm左右，在低倍率的情况下为1mm×1mm左右。带电粒子束的焦点深度至多为1mm左右。与此相对地，用于以往样品的位置对准的光学显微镜、CCD摄像机等图像取得单元例如具有100mm×100mm左右的视场范围。将在像这样广的视场范围内确认的样品的观察对象部位引导到带电粒子束的窄的视场内不容易，伴随着试行错误的结果是，存在对位置对准花费时间这样的问题。即使如专利文献1所记载的装置那样显示示出粒子光学束轴线的位置的标志，CCD摄像机的图像也为从与粒子光学束轴线交叉的倾斜方向摄像的焦点深度深的二维图像。因此，即使在显示画面内移动观察对象部位也难以得到远近感，因此，难以把握与实际的移动对方的对应。因此，在显示粒子光学束轴线的位置的程度下还依靠操作者的经验的部分较大，不是能够容易且迅速地位置对准这样的程度。特别地，在装载有2个以上的带电粒子束镜筒的带电粒子束装置的情况下，必须将样品的观察对象部位移动到各带电粒子束的焦点位置一致的点（重合点），因此，进而难以位置对准。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述那样的问题而完成的，其目的在于提供能够将样品室内的样品的观察对象部位容易且迅速地位置对准于利用第一带电粒子束的观察视场内的样品位置对准方法和带电粒子束装置。用于解决课题的方案为了解决上述的课题，本专利技术的第一方式的样品位置对准方法是，一种样品位置对准方法，对配置在内置于带电粒子束装置的样品室的样品工作台的样品的观察对象部位进行位置对准，以使进入到利用从设置于第一带电粒子束镜筒的带电粒子束光学系统照射的第一带电粒子束的观察视场内，其中，所述样品位置对准方法包含：将包含所述样品工作台上的所述样品的所述样品室内的图像显示在显示部的显示画面中；基于所述显示画面的图像来指定所述观察对象部位上的注目点；以使所述注目点位于当通过所述第一带电粒子束镜筒中的第一光学轴上的轴上目标点时与所述第一光学轴正交的轴上点探索面的方式对所述样品工作台的沿着所述第一光学轴的方向的位置进行对准；在将所述注目点的位置对准于所述轴上点探索面之后，进行所述显示画面中的所述注目点与所述轴上目标点的位置偏离的感测和使所述样品工作台仅在与所述第一光学轴正交的方向上移动的轴上点探索面内移动，将所述注目点移动到所述轴上目标点；以及在所述注目点移动到所述轴上目标点之后，使所述样品工作台在沿着所述第一光学轴的方向上移动，将所述注目点移动到所述带电粒子束光学系统的焦点深度内。在上述样品位置对准方法中，还包含：为了支援所述注目点的移动，至少在将所述注目点向所述轴上目标点移动时，在所述显示画面上显示示出所述轴上目标点的位置和所述第一光学轴的位置的辅助标记也可。本专利技术的第二方式的带电粒子束装置具备：第一带电粒子束镜筒，具有带电粒子束光学系统，通过所述带电粒子束光学系统照射第一带电粒子束；样品工作台，载置样品，并且，至少在沿着所述第一带电粒子束镜筒中的第一光学轴的方向和与所述第一光学轴正交的方向上移动；样品室，内置有所述样品工作台；暗箱观测设备，取得包含所述样品工作台上的所述样品的所述样品室内的图像；显示部，在显示画面中显示所述暗箱观测设备所取得的图像；注目点指定控制部，受理在显示在所述显示画面中的所述图像上指定注目点的输入，取得伴随着所述样品工作台的移动的所述注目点的所述显示画面上的位置的信息；样品工作台移动控制部，进行工作台位置对准控制、轴上点探索面内移动控制和轴上移动控制，所述工作台位置对准控制以使所述注目点位于当通过所述第一带电粒子束镜筒中的第一光学轴上的轴上目标点时与所述第一光学轴正交的轴上点探索面的方式对所述样品工作台的沿着所述第一光学轴的方向的位置进行对准，所述轴上点探索面内移动控制使所述样品工作台仅在与所述第一光学轴正交的方向上移动，所述轴上移动控制使所述样品工作台在沿着所述第一光学轴的方向上移动来将所述注目点移动到所述带电粒子束光学系统的焦点深度内；辅助标记显示控制部，在所述显示画面上显示示出所述轴上目标点的位置的辅助标记和示出所述第一光学轴的位置的辅助标记；以及工作台操作部，输入针对所述样品工作台移动控制部的工作指令。本专利技术的第三方式的带电粒子束装置具备：第一带电粒子束镜筒，具有带电粒子束光学系统，通过所述带电粒子束光学系统照射第一带电粒子束；样品工作台，载置样品，并且，至少在沿着所述第一带电粒子束镜筒中的第一光学轴的方向和与所述第一光学轴正交的方向上移动；样品室，内置有所述样品工作台；暗箱观测设备，取得包含所述样品工作台上的所述样品的所述样品室内的图像；显示部，在显示画面中显示所述暗箱观测设备所取得的图像；注目点指定控制部，受理在显示在所述显示画面中的所述图像上指定注目点的输入，取得伴随着所述样品工作台的移动的所述注目点的所述显示画面上的位置的信息；样品工作台移动控制部，进行工作台位置对准控制、轴上点探索面内移动控制和轴上移动控制，所述工作台位置对准控制以使所述注目点位于当通过所述第一带电粒子束镜筒中的第一光学轴上的轴上目标点时与所述第一光学轴正交的轴上点探索面的方式对所述样品工作台的沿着所述第一光学轴的方向的位置进行对准，所述轴上点探索面内移动控制使所述样品工作台仅在与所述第一光学轴正交的方向上移动，所述轴上移动控制使所述样品工作台在沿着所述第一光学轴的方向上移动来将所述注目点移动到所述带电粒子束光学系统的焦点深度内；以及位置对准控制部，在使所述样品工作台移动控制部进行所述工作台位置对准控制之后，基于所述显示画面中的所述注目点与所述轴上目标点的位置偏离，使所述样品工作台移动控制部进行所述轴上点探索面内移动控制，由此，将所述注目点移动到所述轴上目标点，在所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种样品位置对准方法，对配置在内置于带电粒子束装置的样品室的样品工作台的样品的观察对象部位进行位置对准，以使进入到利用从设置于第一带电粒子束镜筒的带电粒子束光学系统照射的第一带电粒子束的观察视场内，其中，所述样品位置对准方法包含：将包含所述样品工作台上的所述样品的所述样品室内的图像显示在显示部的显示画面中；基于所述显示画面的图像来指定所述观察对象部位上的注目点；以使所述注目点位于当通过所述第一带电粒子束镜筒中的第一光学轴上的轴上目标点时与所述第一光学轴正交的轴上点探索面的方式对所述样品工作台的沿着所述第一光学轴的方向的位置进行对准；在将所述注目点的位置对准于所述轴上点探索面之后，进行所述显示画面中的所述注目点与所述轴上目标点的位置偏离的感测和使所述样品工作台仅在与所述第一光学轴正交的方向上移动的轴上点探索面内移动，将所述注目点移动到所述轴上目标点；以及在所述注目点移动到所述轴上目标点之后，使所述样品工作台在沿着所述第一光学轴的方向上移动，将所述注目点移动到所述带电粒子束光学系统的焦点深度内。

【技术特征摘要】
2015.09.30 JP 2015-1928381.一种样品位置对准方法，对配置在内置于带电粒子束装置的样品室的样品工作台的样品的观察对象部位进行位置对准，以使进入到利用从设置于第一带电粒子束镜筒的带电粒子束光学系统照射的第一带电粒子束的观察视场内，其中，所述样品位置对准方法包含：将包含所述样品工作台上的所述样品的所述样品室内的图像显示在显示部的显示画面中；基于所述显示画面的图像来指定所述观察对象部位上的注目点；以使所述注目点位于当通过所述第一带电粒子束镜筒中的第一光学轴上的轴上目标点时与所述第一光学轴正交的轴上点探索面的方式对所述样品工作台的沿着所述第一光学轴的方向的位置进行对准；在将所述注目点的位置对准于所述轴上点探索面之后，进行所述显示画面中的所述注目点与所述轴上目标点的位置偏离的感测和使所述样品工作台仅在与所述第一光学轴正交的方向上移动的轴上点探索面内移动，将所述注目点移动到所述轴上目标点；以及在所述注目点移动到所述轴上目标点之后，使所述样品工作台在沿着所述第一光学轴的方向上移动，将所述注目点移动到所述带电粒子束光学系统的焦点深度内。2.根据权利要求1所述的样品位置对准方法，其中，还包含：为了支援所述注目点的移动，至少在将所述注目点向所述轴上目标点移动时，在所述显示画面上显示示出所述轴上目标点的位置和所述第一光学轴的位置的辅助标记。3.一种带电粒子束装置，其中，具备：第一带电粒子束镜筒，具有带电粒子束光学系统，通过所述带电粒子束光学系统照射第一带电粒子束；样品工作台，载置样品，并且，至少在沿着所述第一带电粒子束镜筒中的第一光学轴的方向和与所述第一光学轴正交的方向上移动；样品室，内置有所述样品工作台；暗箱观测设备，取得包含所述样品工作台上的所述样品的所述样品室内的图像；显示部，在显示画面中显示所述暗箱观测设备所取得的图像；注目点指定控制部，受理在显示在所述显示画面中的所述图像上指定注目点的输入，取得伴随着所述样品工作台的移动的所述注目点的所述显示画面上的位置的信息；样品工作台移动控制部，进行工作台位置对准控制、轴上点探索面内移动控制和轴上移动控制，所述工作台位置对准控制以使所述注目点位于当通过所述第一带电粒子束镜筒中的第一光学轴上的轴上目标点时与所述第一光学轴正交的轴上点探索面的方式对所述样品工作台的沿着所述第一光学轴的方向的位置进行对准，所述轴上点探索面内移动控制使所述样品工作台仅在与所述第一光学...

【专利技术属性】
技术研发人员：清原正宽，竹野健悟，上本敦，梅村馨，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本,JP