一种真空腔室物料转送装置制造方法及图纸

一种真空腔室物料转送装置，其包括固定在所述预真空室中的至少一个第一导轨，与所述第一导轨可滑动连接的第一安装座，所述第一安装座设置有与所述第一导轨垂直的第二导轨，所述第二导轨可滑动连接有第二滑块，所述第二滑块与转臂可旋转连接，所述转臂与固定在所述预真空室中的转轴可旋转连接，所述第一安装座设置有向所述真空功能室方向延伸的板状托架，所述板状托架上放置有一块可分离的物料托板，所述预真空室中固定设置有可升降的用于顶起并旋转所述物料托板的转盘。本发明专利技术所提供的一种真空腔室物料转送装置，结构紧凑，密封性好，可实现设备对物料处理的连续性，大大提高生产效率。

Material transfer device for vacuum chamber

A vacuum chamber material transfer device, which comprises at least a first guide rail is fixed in the vacuum chamber, and the first track sliding connected to the first mounting seat, the first installation seat is provided with second guide rail of the first vertical guide rail, the guide rail is connected with a sliding second the second block, the second block and the rotary arm rotatably connected, the rotary arm and is fixed in the vacuum chamber in the shaft rotatably connected, the first installation seat is provided with a board shaped bracket extending into the vacuum chamber function direction, there is a separate plate for placing the material the plate bracket, the pre vacuum chamber is fixedly provided with a lifting turntable for lifting and rotating the plate material. The invention provides a vacuum chamber material transfer device, which has compact structure and good sealing performance, and can realize the continuity of material treatment by the equipment, and greatly improve the production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔室物料转送装置
本专利技术涉及真空设备
，特别涉及一种用于在相邻的真空腔室之间传送物品的装置。
技术介绍
真空设备都存在抽真空时间比较长，实验及生产效率比较低的问题，某些应用领域涉及到需要在真空功能室中通入危险气体、遇到某些气体导致工艺原料变质问题、某些工作气体遇到空气中的水会会变质问题等，为此需要配合真空功能室再做一个预真空室，使得样品从预真空室进出，而真空功能室不暴露大气，保持良好真空环境。这样，在预真空室与真空功能室间需要一个阀门，这个阀门可以开闭，打开时在保证样品有效在预真空室与真空功能室间传递的前提下，连接空间需要尽可能小，以减少气体扩散，并保证两个腔体连接尺寸尽可能小，有利于真空腔体设计，不至于因连接空间太大带来真空室的无效增大。此外，当需要在预真空室与真空功能室之间进行物品传送时，如果采用直线形式传送，则机械手的行程不得小于预真空室的样品中心位置到真空功能室的样品放置位置的距离，由于真空功能室的样品多放置在中心位置上，加上预真空室与真空功能室之间必须具有真空隔断作用的真空锁，这个行程就会比较长，这样预真空室外就需要设置有一个直线长杆，从而造成设备整体就比较长，比较笨拙。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种真空腔室物料转送装置，以减少或避免前面所提到的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提出了一种真空腔室物料转送装置，其安装在预真空室中，用于向相邻的真空功能室进行物品传送，所述预真空室与所述真空功能室之间设置有真空锁，其包括固定在所述预真空室中的至少一个第一导轨，与所述第一导轨可滑动连接的第一安装座，所述第一安装座设置有与所述第一导轨垂直的第二导轨，所述第二导轨可滑动连接有第二滑块，所述第二滑块与转臂可旋转连接，所述转臂与固定在所述预真空室中的转轴可旋转连接，所述第一安装座设置有向所述真空功能室方向延伸的板状托架，所述板状托架上放置有一块可分离的物料托板，所述预真空室中固定设置有可升降的用于顶起并旋转所述物料托板的转盘。优选地，所述转盘包括一个支撑框架，所述支撑框架设置有一个带有从动齿轮的升缩杆，所述伸缩杆顶部设置有一个圆盘体，所述从动齿轮与一个主动齿轮啮合，所述主动齿轮连接有步进电机。优选地，所述真空锁包括一个壳体，所述壳体两侧设置有用于与所述预真空室和所述真空功能室连通的通孔，所述壳体内设置有可上下滑动的锁身，所述锁身包括一块顶板，所述顶板两侧对称设置有密封板，所述顶板设置有多个凸出所述顶板表面的滚珠，所述密封板对应所述滚珠设置有多个圆锥形凹槽。优选地，两个所述密封板之间设置有弹簧。优选地，所述锁身设置有与所述壳体可滚动连接的导向轴承。优选地，所述通孔和所述密封板、所述顶板均为矩形。优选地，所述顶板的侧壁沿长度方向均布有四对所述滚珠，所述密封板的侧壁沿长度方向均布有四对所述圆锥形凹槽。优选地，所述密封板设置有密封圈。本专利技术所提供的一种真空腔室物料转送装置，结构紧凑，密封性好，能对相邻的两个真空腔室提供有效密封，并且对真空腔室的开口形状适应性强，此外，所述板状托架可以是很薄且长的片状结构，因此可以通过窄长的真空锁缝隙将物品送入或取出真空功能室，这样就可以减少对整个设备的尺寸要求。附图说明以下附图仅旨在于对本专利技术做示意性说明和解释，并不限定本专利技术的范围。其中，图1为根据本专利技术的一个具体实施例的一种真空腔室物料转送装置的立体结构原理示意图；图2为图1的另一个视角的部分立体结构原理示意图；图3为图1的真空腔室物料转送装置的应用环境的部分剖视原理示意图；图4为图3的真空锁的立体分解结构原理示意图。具体实施方式为了对本专利技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本专利技术的具体实施方式。其中，相同的部件采用相同的标号。图1为根据本专利技术的一个具体实施例的一种真空腔室物料转送装置的立体结构原理示意图；图2为图1的另一个视角的部分立体结构原理示意图；图3为图1的真空腔室物料转送装置的应用环境的部分剖视原理示意图；参见图1-3所示，本专利技术提供了一种真空腔室物料转送装置，其安装在预真空室101中，用于向相邻的真空功能室102进行物品传送，所述预真空室101与所述真空功能室102之间设置有真空锁，其包括固定在所述预真空室101中的至少一个第一导轨41，与所述第一导轨41可滑动连接的第一安装座42，所述第一安装座42设置有与所述第一导轨41垂直的第二导轨51，所述第二导轨可滑动连接有第二滑块52，所述第二滑块52与转臂53可旋转连接，所述转臂53与固定在所述预真空室101中的转轴54可旋转连接，所述第一安装座42设置有向所述真空功能室102方向延伸的板状托架43，所述板状托架43上放置有一块可分离的物料托板44，所述预真空室101中固定设置有可升降的用于顶起并旋转所述物料托板44的转盘6。参见图1、2所示，其中图2中省略了物料托板44和转盘6；当所述第一安装座42位于所述第一导轨41的左侧时，所述板状托架43收于所述第一导轨41的长度范围内，因此，所述预真空室101与所述真空功能室102之间的真空锁可有效封闭。当需要向所述真空功能室102传送样片等物品时，可先打开所述预真空室101，将物品放置在所述板状托架43的所述物料托板44的两端(即可在所述物料托板44一次性放置两件处于对称位置的物料)，然后关闭所述预真空室101，使所述预真空室101抽取真空，之后即可打开所述真空锁，然后驱动转臂53旋转，所述转臂53旋转过程中会带动所述第二滑块52沿所述第二导轨51移动，从而带动所述第一安装座42沿所述第一导轨41移动，这样就会使得所述板状托架43向所述真空功能室102移动，并最终将放置在所述物料托板44的物品送入所述真空功能室102，当所述物料托板44进入所述真空功能室102的相应位置后，位于所述物料托板44右侧(即靠近所述真空功能室102一侧)的物料会被所述真空功能室102中的机构(图中未示出)取下以进行后继刻蚀等工程操作。之后，所述转臂53反向旋转即可带动所述板状托架43返回至所述预真空室101(位于所述物料托板44左侧的物料同时被带回)，之后即可使用真空锁封闭隔离所述预真空室101与所述真空功能室102。当第一块物料被处理完成后，所述真空锁打开，所述转臂53带动所述物料托板44进入所述真空功能室102，将处理完成的第一块物料承载在所述物料托板44右侧，然后所述转臂53将所述物料托板44带回至所述预真空室101，之后所述转盘6升起，顶住所述物料托板44并将其旋转180°，从而使得处理完成的第一块物料被换位至所述物料托板44左侧，未被处理的物料被换位至所述物料托板44右侧，之后所述转臂53带动所述物料托板44进入所述真空功能室102，使所述真空功能室102中的机构(图中未示出)将该未被处理的物料取下以进行后继刻蚀等工程操作。之后，所述转臂53反向旋转即可带动所述板状托架43返回至所述预真空室101(位于所述物料托板44左侧的处理完成的物料同时被带回)，之后即可使用真空锁封闭隔离所述预真空室101与所述真空功能室102。在所述真空功能室102中对未被处理的物料进行处理，而所述预真空室101被打开，解除真空，将已完成处理的物料取出，放入新的未处理的物料在所述物料托板44左侧，之后关本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空腔室物料转送装置，其特征在于，其安装在预真空室中，用于向相邻的真空功能室进行物品传送，所述预真空室与所述真空功能室之间设置有真空锁，其包括固定在所述预真空室中的至少一个第一导轨，与所述第一导轨可滑动连接的第一安装座，所述第一安装座设置有与所述第一导轨垂直的第二导轨，所述第二导轨可滑动连接有第二滑块，所述第二滑块与转臂可旋转连接，所述转臂与固定在所述预真空室中的转轴可旋转连接，所述第一安装座设置有向所述真空功能室方向延伸的板状托架，所述板状托架上放置有一块可分离的物料托板，所述预真空室中固定设置有可升降的用于顶起并旋转所述物料托板的转盘。

【技术特征摘要】
1.一种真空腔室物料转送装置，其特征在于，其安装在预真空室中，用于向相邻的真空功能室进行物品传送，所述预真空室与所述真空功能室之间设置有真空锁，其包括固定在所述预真空室中的至少一个第一导轨，与所述第一导轨可滑动连接的第一安装座，所述第一安装座设置有与所述第一导轨垂直的第二导轨，所述第二导轨可滑动连接有第二滑块，所述第二滑块与转臂可旋转连接，所述转臂与固定在所述预真空室中的转轴可旋转连接，所述第一安装座设置有向所述真空功能室方向延伸的板状托架，所述板状托架上放置有一块可分离的物料托板，所述预真空室中固定设置有可升降的用于顶起并旋转所述物料托板的转盘。2.根据权利要求1所述的真空腔室物料转送装置，其特征在于，所述转盘包括一个支撑框架，所述支撑框架设置有一个带有从动齿轮的升缩杆，所述伸缩杆顶部设置有一个圆盘体，所述从动齿轮与一个主动齿轮啮合，所述主动齿轮连接有步进电机。3.根据权利要求1所述的真空腔室物料转...

【专利技术属性】
技术研发人员：关江敏，徐波，
申请(专利权)人：北京创世威纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11