一种光阻涂布装置及喷嘴制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光阻涂布装置及喷嘴，所述喷嘴包括内部形成有一空腔的喷嘴本体，所述空腔设置有注入孔、排气孔以及排出孔；所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部，其中所述排气孔位于所述空腔的顶部，用于将所述空腔内的气体排出，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，或者所述注入孔位于所述空腔的底部，用于注入光阻液。通过上述方式，本发明专利技术能够将喷嘴内的空气尽可能地排出，能够减少因喷嘴内的气泡而造成产品不良的现象，提高产品良率。

Photoresist coating device and nozzle

The present invention provides a photoresist coating device and the nozzle, the nozzle includes a nozzle body is formed in a cavity, the cavity is provided with a filling hole, an exhaust hole and discharge hole; the cavity includes side top and bottom and at the top and the bottom between the top of the one the exhaust hole located in the cavity, the cavity for gas discharge, the injection hole located in the cavity side and near the bottom of the cavity, or the injection hole at the bottom of the cavity, for injecting photoresist. By the method, the air in the nozzle can be discharged as much as possible, and the phenomenon that the product can not be produced due to the bubbles in the nozzle can be reduced, and the yield of the product can be improved.

【技术实现步骤摘要】
一种光阻涂布装置及喷嘴
本专利技术涉及光阻涂布技术，特别是涉及一种光阻涂布装置及喷嘴。
技术介绍
黄光制程是制造显示面板的重要过程，而光阻涂布又是黄光制程中的关键步骤，该步骤主要是通过涂布机(SlitCoater)在玻璃基板上涂布一定厚度的光阻层，以在后续制程中将电路图案刻印在光阻层上。然而，现有的涂布机在涂布光阻时，常常会因为喷嘴内的气泡而导致光阻涂布破膜，影响光阻层的质量，容易导致产品不良甚至报废。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光阻涂布装置及喷嘴，能够有效地将喷嘴内的气体排出，以减少喷嘴内的气泡，从而可以提高光阻层的质量，有利于提升产品良率。本专利技术实施例提供的一种用于光阻涂布的喷嘴，包括内部形成有一空腔的喷嘴本体，所述空腔设置有注入孔和排气孔；所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部，其中所述排气孔位于所述空腔的顶部，用于将所述空腔内的气体排出，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，或者所述注入孔位于所述空腔的底部，用于注入光阻液。在本专利技术所述的喷嘴中，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，其中所述注入孔的数量为二，两个所述注入孔相对设置。在本专利技术所述的喷嘴中，还包括控制模块、开关和光阻液供给管路；所述光阻液供给管路的一端与其中一个所述注入孔连接，另一端连接至光阻液供给装置，所述开关设置在所述光阻液供给管路中，所述控制模块与所述开关连接，用于间隔预定时间控制所述开关打开，以导通所述光阻液供给管路。在本专利技术所述的喷嘴中，所述空腔呈锥形，所述空腔的锥顶为所述空腔的顶部，所述空腔的锥底面为所述空腔的底部。在本专利技术所述的喷嘴中，所述空腔呈圆柱形。本专利技术实施例还提供一种光阻涂布装置，包括喷嘴和光阻液供给装置，所述喷嘴包括内部形成有一空腔的喷嘴本体，所述空腔设置有注入孔和排气孔；所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部，其中所述排气孔位于所述空腔的顶部，用于将所述空腔内的气体排出，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，或者所述注入孔位于所述空腔的底部，所述光阻液供给装置与所述注入孔连接，用于提供光阻液。在本专利技术所述的光阻涂布装置中，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，其中所述注入孔的数量为二，两个所述注入孔相对设置。在本专利技术所述的光阻涂布装置中，还包括控制模块、开关和光阻液供给管路；所述光阻液供给管路的一端与其中一个所述注入孔连接，另一端连接至所述光阻液供给装置，所述开关设置在所述光阻液供给管路中，所述控制模块与所述开关连接，用于间隔预定时间控制所述开关打开，以导通所述光阻液供给管路。在本专利技术所述的光阻涂布装置中，所述空腔呈锥形，所述空腔的锥顶为所述空腔的顶部，所述空腔的锥底面为所述空腔的底部。在本专利技术所述的光阻涂布装置中，所述空腔呈圆柱形。相较于现有的涂布机，本专利技术的用于光阻涂布的喷嘴，用于存储光阻液的空腔设置有注入孔和排气孔，通过将排气孔设置在空腔的顶部，注入孔设置在空腔的侧部且靠近空腔的底部，或者注入孔设置在空腔的底部，由此使得光阻液从空腔的底部或靠近底部的侧部注入，从而可以减小光阻液对气体流动的阻碍影响，有利于气体升上顶部并从顶部的排气孔排出，从而可以减小喷嘴内的气泡，提高产品良率。为让本专利技术的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：附图说明图1是本专利技术用于光阻涂布的喷嘴一实施方式的结构示意图；图2是本专利技术用于光阻涂布的喷嘴另一实施方式的结构示意图；图3是本专利技术光阻涂布装置一实施方式的结构示意图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。参阅图1，本专利技术用于光阻涂布的喷嘴一实施方式中，喷嘴包括喷嘴本体10。喷嘴本体10的内部形成有一空腔101，用于储存光阻液。空腔101设置有注入孔21、排气孔22以及排出孔23。光阻液自注入孔21注入空腔101内，排气孔22用于将空腔101内的气体排出，排出孔23用于输出光阻液，以实现光阻涂布。其中，空腔101包括顶部1011、底部1012以及位于顶部1011和底部1012之间的侧部1013。排气孔22位于顶部1011。本实施方式中。注入孔21位于侧部1013，并且靠近底部1012设置。进一步地，注入孔21的数量为二，两个注入孔21相对设置。通过本实施方式，光阻液从空腔101的靠近底部1012的侧部注入，以向空腔101的顶部1011逐渐填满，由此可以减小光阻液对气体流动的阻碍影响，有利于气体升上顶部并从顶部的排气孔22排出，能够减少空腔内气体的存在，并且能够借助光阻液的流向推动气体向顶部1011的排气孔22排出，可以进一步将空腔101内的气体排除干净，进而可以提高光阻涂布的质量。并且，本实施例通过设置两个相对的注入孔21，更有利于将空腔101内的气体向顶部1011推动，以尽可能地将气体排净。其中，两个注入孔21可以通过一管路相互连通，例如，利用一Y型管路，该Y型管路的两个端口各自连接一个注入孔21，Y型管路的另一个端口连接光阻液供给装置，从而光阻液供给装置可以通过Y型管路同时从两个注入孔21注入光阻液。可选地，喷嘴还包括控制模块11、开关12和光阻液供给管路13。光阻液供给管路13的一端与其中一个注入孔21连接，例如以图1所示视图为例，光阻液供给管路13的一端与右侧的注入孔21连接，另一端则连接至光阻液供给装置，光阻液供给装置用于通过光阻液供给管路13将光阻液从右边的注入孔21注入空腔101中。开关12设置在光阻液供给管路13中，控制模块11与开关12连接，用于控制开关12的打开和关闭，进而控制光阻液供给管路13的导通和断开。光阻液提供装置还与左边的注入孔21连接。在喷嘴进行光阻涂布的作业中，光阻液供给装置与左边的注入孔21之间的连接处于常导通状态，以不断将光阻液从注入孔21中注入。开关12则处于常闭状态，当需要排气泡时，控制模块11控制开关12打开，以导通光阻液供给管路13，从而光阻液供给装置通过光阻液供给管路13对空腔101注入光阻，以进行排泡。具体而言，光阻液从左边的注入孔21不断注入空腔101中，以对喷嘴提供涂布所需的光阻液。而光阻液中可能会存在气泡，当左边的注入孔21注入一定量的光阻液时，为了更好地气泡从空腔101排出，本实施例设计为使控制模块11每间隔预定时间控制开关12打开，从而使得光阻液从右边的注入孔21注入空腔101内，由此通过左右两侧的注入孔21同时注入光阻液，以利用光阻液的流速将空腔101内的气泡尽可能推至空腔101的顶部1011，进而从排气孔22排出。其中，预定时间可以根据实际需要进行设定，例如可以是0.5小时、1小时或1.5小时等。开关12导通一定的时间后，例如10分钟、20分钟或30分钟等，控制模块11控制开关12关闭，以关闭光阻液供给管路13，进行下一轮循环。本实施方式中，通过控制开关12每隔预定时间才打开，有助于排泡，同时还可以避免本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光阻涂布的喷嘴，其特征在于，包括内部形成有一空腔的喷嘴本体，所述空腔设置有注入孔和排气孔；所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部，其中所述排气孔位于所述空腔的顶部，用于将所述空腔内的气体排出，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，或者所述注入孔位于所述空腔的底部，用于注入光阻液。

【技术特征摘要】
1.一种用于光阻涂布的喷嘴，其特征在于，包括内部形成有一空腔的喷嘴本体，所述空腔设置有注入孔和排气孔；所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部，其中所述排气孔位于所述空腔的顶部，用于将所述空腔内的气体排出，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，或者所述注入孔位于所述空腔的底部，用于注入光阻液。2.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，其中所述注入孔的数量为二，两个所述注入孔相对设置。3.根据权利要求2所述的喷嘴，其特征在于，还包括控制模块、开关和光阻液供给管路；所述光阻液供给管路的一端与其中一个所述注入孔连接，另一端连接至光阻液供给装置，所述开关设置在所述光阻液供给管路中，所述控制模块与所述开关连接，用于间隔预定时间控制所述开关打开，以导通所述光阻液供给管路。4.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述空腔呈锥形，所述空腔的锥顶为所述空腔的顶部，所述空腔的锥底面为所述空腔的底部。5.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述空腔呈圆柱形。6.一种光阻涂布装置，其特征在于，包括喷嘴和光阻液...

【专利技术属性】
技术研发人员：何恒忠，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42