药液以及电解液的调制供给装置和使用费用计算系统制造方法及图纸

提供在用于半导体、液晶显示器或电池的制造的药液或电解液中，药液使用者不购入运用药液调制供给装置或不筹备药液或其原料而能够始终接受需要量的所需浓度的药液的供给的药液调制供给装置。药液调制供给装置在供给药液的配管具备累计流量计。将药液供给者拥有的药液调制供给装置与药液使用设备连接，使用药液调制供给装置从药液供给者筹备的药液原料来调制要供给的药液。调制后的药液根据供给请求，由累计流量计测量供给量的同时被供给至药液使用设备。药液供给者根据每规定期间测量的累计流量来计算向药液使用者索取的使用费用。若累计流量计具有通信功能，则能够经由网络远程监视累计流量，计算药液的使用费用。

【技术实现步骤摘要】
药液以及电解液的调制供给装置和使用费用计算系统
本技术涉及将半导体或液晶显示器的制造过程中使用的各种药液调制后进行供给的装置、调制后的各种药液的使用费用计算方法及药液使用费用计算系统以及将各种电池的制造中使用的各种电解液调制后进行供给的装置、调制后的各种电解液的使用费用计算方法及电解液使用费用计算系统。
技术介绍
在半导体或液晶显示器的制造过程中，例如，使用显影液、蚀刻液、剥离液、抗静电剂、清洗液等各种药液。此外，在电池的制造中使用各种电解液。这些药液或电解液(以下，在不需要特别区别的情况下将药液和电解液总称为“药液”)被调制成与需要相应的规定浓度来使用，以便最大限度地发挥其性能。以往，这些药液的使用者通过下面任一种方式，准备要使用的药液来使用。即，第一方式是从药液制造者购入需要的浓度的各种药液来使用。第二方式是从装置制造者购入将各种药液调制成需要的浓度来进行供给的装置(以下有时称为“药液调制供给装置”)并组装到使用药液的设备，一边通过该装置从药液的原料自己制造需要的浓度的药液一边进行使用。例如，专利文献1、专利文献2公开了药液调制供给装置。在专利文献1中，公开了从固体原料调制以草酸为主要成分的蚀刻液的药液调制供给装置。此外，在专利文献2中，公开了对在浓厚的显影液的原液中加入纯水而稀释成规定浓度的显影液进行调制的药液调制供给装置。专利文献专利文献1：JP特开2003-209092号公报专利文献2：JP特开2002-324753号公报
技术实现思路
但是，在现有的方式中，要使用药液的一侧(以下有时称为使用者侧)必须在每次需要时购入筹备需要的浓度的药液，或者必须购入专利文献1、2所记载这样的药液调制供给装置来运用。因此，使用者侧不得不一直持续承受着以下负担：在每次需要时筹备需要的浓度的药液的负担、在每次需要时筹备药液的原料的负担、或者购入药液调制供给装置后运用并进行维持管理的负担。本技术鉴于上述的各课题而完成。即，本技术的目的在于，提供一种使用者侧无需承受上述那样的负担就能够使用药液的药液调制供给装置、药液使用费用计算方法及药液使用费用计算系统、以及电解液调制供给装置、电解液使用费用计算方法及电解液使用费用计算系统。为了达成所述目的，本技术的药液调制供给装置是一种对使用在半导体或液晶显示器的制造过程中用到的药液的设备调制并供给药液的药液调制供给装置，其在将调制后的药液输送至设备的配管上具备累计流量计。为了达成所述目的，本技术的电解液调制供给装置是一种调制并供给用于电池的制造的电解液的电解液调制供给装置，其在输送调制后的电解液的配管上具备累计流量计。根据本技术的药液调制供给装置或电解液调制供给装置，由于在用于向使用者侧的设备供给调制后的药液或电解液的配管上设置累计流量计，所以能够掌握每个规定期间(例如一个星期或一个月)供给至使用者侧的设备的药液或电解液的量。若将该药液或电解液的量乘以药液或电解液的每单位量的费用等来作为药液或电解液的使用费用，则能够索取向使用者侧供给的药液或电解液的费用。为了达成所述目的，本技术的药液调制供给装置或电解液调制供给装置中的累计流量计具备通信功能。根据本技术的药液调制供给装置或电解液调制供给装置，由于能够将各使用者侧的工厂中使用的累计流量计与网络连接，所以即使不前往使用者侧的工厂对累计流量计的仪表进行用量检查，也能够通过与该网络连接的服务器系统对累计流量计所测定的供给量的累计值等各种测定数据进行远程监视。为了达成所述目的，本技术的药液使用费用计算方法计算在半导体或液晶显示器的制造过程中使用的药液的使用费用，该计算方法包括以下处理：通过经由具备累计流量计的配管向使用药液的设备供给药液的供给者拥有的药液调制供给装置，从供给者所筹备的药液的原料，来调制药液的使用者需要的成分浓度的药液，根据药液的使用者的要求，通过累计流量计对累计流量进行测定的同时，将调制后的药液供给至设备，基于由累计流量计测定的规定期间的累计流量，来计算向药液的使用者索取的药液的使用费用。为了达成所述目的，本技术的电解液使用费用计算方法计算用于电池的制造的电解液的使用费用，该计算方法包括以下处理：通过经由具备累计流量计的配管来供给电解液的供给者所拥有的电解液调制供给装置，从所述供给者所筹备的电解液的原料，来调制电解液的使用者需要的成分浓度的电解液，根据电解液的使用者的要求，通过累计流量计对累计流量进行测定的同时，供给调制后的电解液，基于由累计流量计测定的规定期间的累计流量，来计算向电解液的使用者索取的使用费用。根据本技术的药液或电解液使用费用计算方法，由于将药液调制供给装置或电解液调制供给装置作为供给者侧的所有物件而设置于使用者侧的工厂并与使用者侧设备连接，所以使用者侧不必购入药液调制供给装置或电解液调制供给装置。由于是供给者侧的所有物件，所以使用者侧也不承受维持管理药液调制供给装置或电解液调制供给装置的负担。此外，由于药液的原料也由供给者侧筹备，所以使用者侧也不承受筹备药液或电解液的原料的负担。使用者侧仅接受所使用的药液或电解液的供给，能够实现使用者仅接收接受了供给的药液或电解液的使用费用的通知的供给方式。为了达成所述目的，本技术的药液使用费用计算方法利用将在向使用在半导体或液晶显示器的制造过程中所利用的药液的设备调制并供给药液的装置的配管上具备的具有通信功能的累计流量计以及服务器系统进行了连接的网络，来计算药液的使用费用，该计算方法包括以下步骤：服务器系统经由网络取得各累计流量计所测量的累计流量的步骤；按照每个累计流量计来存储由服务器系统取得的累计流量的历史记录的步骤；以及服务器系统基于历史记录按照每个设备来计算出规定期间的向药液的使用者索取的使用费用的步骤。为了达成所述目的，用于计算药液的使用费用的药液使用费用计算系统具备：累计流量计，其设置于向使用在半导体或液晶显示器的制造过程中所利用的药液的设备调制并供给药液的装置的配管，并具有通信功能；以及服务器系统，其经由网络与累计流量计连接，服务器系统具备：接收部，其经由网络来接收累计流量计所测量的累计流量；存储部，其按照每个累计流量计来存储所接收到的累计流量的历史记录；以及计算部，其基于历史记录按照每个设备来计算规定期间的所述药液的使用费用。为了达成所述目的，本技术的电解液使用费用计算方法利用将在调制用于电池的制造的电解液并供给到使用电解液的设备的装置的配管上具备的具有通信功能的累计流量计以及服务器系统进行了连接的网络，来计算电解液的使用费用，该计算方法包括以下步骤：服务器系统经由网络取得各累计流量计所测量的累计流量的步骤；按照每个累计流量计来存储服务器系统所取得的累计流量的历史记录的步骤；以及服务器系统基于历史记录按照每个设备来计算出规定期间的向电解液的使用者索取的使用费用的步骤。为了达成所述目的，用于计算电解液的使用费用的电解液使用费用计算系统具备：累计流量计，其设置于调制用于电池的制造的电解液并供给到使用电解液的设备的装置的配管，并具有通信功能；以及服务器系统，其经由网络与累计流量计连接，服务器系统具备：接收部，其经由网络来接收累计流量计所测量的累计流量；存储部，其按照每个累计流量计来存储所接收到本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种药液调制供给装置，向使用在半导体或液晶显示器的制造过程中所利用的药液的设备调制并供给所述药液，其中，在将调制后的所述药液输送至所述设备的配管上具备累计流量计。

【技术特征摘要】
2015.11.25 JP 2015-2294071.一种药液调制供给装置，向使用在半导体或液晶显示器的制造过程中所利用的药液的设备调制并供给所述药液，其中，在将调制后的所述药液输送至所述设备的配管上具备累计流量计。2.根据权利要求1所述的药液调制供给装置，其中，所述累计流量计具备通信功能。3.一种药液使用费用计算系统，用于计算药液的使用费用，所述药液使用费用计算系统具备：累计流量计，其设置于向使用在半导体或液晶显示器的制造过程中所利用的药液的设备调制并供给所述药液的装置的配管，并具有通信功能；以及服务器系统，其经由网络与所述累计流量计连接，所述服务器系统具备：接收部，其经由所述网络来接收所述累计流量计所测量的累计流量；存储部，其按照每个所述累计流量计来存储所接收到的所述累计流量的历史记录...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川俊元，
申请(专利权)人：株式会社平间理化研究所，
类型：新型
国别省市：日本,JP