一种物料输送台结构和物料输送系统及方法技术方案

本发明专利技术提出了一种物料输送台结构和物料输送系统及方法，一始终平行于水平面的上平台和始终平行于上平台并且位于上平台的下方的一下平台，用于上载和下载物料；一导轨机构，其所在的直线与上平台和下平台所在的平面皆相交但不垂直，上平台和下平台沿着导轨机构能运动至曝光机上载和下载物料的物料口口部，相对于水平设置的平台结构无需增设垂直装置来改变物料的垂直位置，由于使两个平台沿斜坡向上运动做的功要小于使两个平台垂直上升所做的功，这种输送台结构相对于水平导轨结构能够精简结构，相对于垂直导轨结构对驱动器的功率要求降低，使用包括该物料输送台结构的物料输送系统输送物料的方法，具有精简结构、提高输送效率，节省能耗的优点。

Material conveying platform structure and material conveying system and method

The invention provides a material conveying structure and material handling system and method, one always parallel to the horizontal plane on the platform and is always parallel to the platform and is located on the bottom of the platform the platform for uploading and downloading material; a guide mechanism, the straight line and the upper platform and the lower platform where the plane is intersected but not vertical, the upper platform and the lower platform along the guide mechanism can move to the exposure machine upload and download the material mouth, relative to the platform structure level set without adding a vertical device to change material vertical position, the two platforms along the slope upward movement of the work should be less than the two platform vertical work done, the conveyor structure level of rail structure can simplify the structure with respect to power, relative to the vertical guide rail structure on the drive to reduce A method for conveying materials by using a material delivery system including a material conveying platform structure is provided, which has the advantages of compact structure, improved conveying efficiency and energy saving.

【技术实现步骤摘要】
一种物料输送台结构和物料输送系统及方法
本专利技术涉及半导体光刻领域，特别涉及一种物料输送台结构和物料输送系统及方法。
技术介绍
在集成电路制造过程中，一个完整的芯片通常需要经过多次光刻曝光才能制作完成。在光刻作业中，由工件台承载着被曝光对象(一般为玻璃基板)，掩膜台上承载掩膜版，进行光刻。在光刻产线化作业中，玻璃基板的传输效率对光刻机的产率有着至关重要的影响。但随着玻璃基板的尺寸越来越大，传输设备尺寸也越来越大、重量也越来越重，而为了满足传输效率的要求反而需要设备运行的速度越来越快。因此对驱动器的功率要求也越来越高，设备运行的风险及物料的风险也相应的提高。为了提高光刻机的产率，提高基板的传输效率有着至关重要的作用，所以要求基板传输系统必须在工件台完成上一块基板的曝光工作后第一时间下载已曝光基板，并第一时间上载第二块未曝光基板，传统的做法是分别制作两个平台，分别用于下载已曝光基板和上载未曝光基板，主要有两种结构：一是把两个平台整体架设在水平导轨上，驱动器驱动平台及其上的玻璃基板做整体移动。然而此种做法在技术、装配及成本上会有如下问题：1.由于两个平台采用水平布置，但往往输送未加工物料的送料口与曝光机接收物料的物料口不处于同一个水平面，那么还需要增设垂直装置，将物料输送至与物料口同一水平面；2.因为玻璃基板质量很大，而大质量运动时会产生很大的惯量，为保证交接精度，对传输设备的刹车机构以及惯量的消除都会有很高的要求；3.传输物料尺寸越大，则平台水平运动行程越大，而为了满足产率要求，则平台运动速度也越快，相应的传输设备运行风险及物料风险也越大。二是把两个平台垂直布置，即垂直导轨结构，驱动器驱动平台及平台上的玻璃基板做垂向的整体移动。然而此种做法具有如下问题：1.由于平台整体质量很大，做垂向运动需要克服很大的垂直方向的重力，对驱动器的功率要求很高；2.因为大的质量运动时会产生很大的惯量，为保证交接精度，对传输设备的刹车机构及惯量消除都会有很高的要求。综上所述，有必要专利技术一种物料输送台结构和物料输送系统及方法，能够克服上述缺点。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术提出了一种物料输送台结构和物料输送系统及方法，将原本垂直设置的两个平台与导轨机构连接，导轨机构与两个平台皆相交但不垂直，使得两个平台皆可运动至曝光机的物料口上载或者下载物料，由于导轨机构与两个平台皆相交但不垂直，因此两个平台初始处于垂直布置，相对于水平设置的平台，其无需增设垂直装置，即可改变物料所在的垂直位置，其次由于两个平台在运动至物料口作上下运动时，是沿导轨机构移动，两个平台皆与水平面平行，那么导轨即是斜边结构，在导轨上作运动相当于使其在斜坡上作运动，而使两个平台沿斜坡向上运动做的功要小于使两个平台垂直上升所做的功，因此这种输送台结构相对于水平导轨结构能够精简结构，相对于垂直布置的平台来说，对驱动器的功率要求降低，则使用包括该物料输送台结构的物料输送系统输送物料的方法，具有精简结构、提高输送效率，节省能耗的优点。为达到上述目的，本专利技术提供一种物料输送台结构，包括：一始终平行于水平面的上平台和始终平行于所述上平台并且位于所述上平台的下方的一下平台，用于上载和下载物料；一导轨机构，其所在的直线与所述上平台和所述下平台所在的平面皆相交但不垂直，所述上平台和所述下平台沿着所述导轨机构能运动至曝光机上载和下载物料的物料口口部。作为优选，所述导轨机构包括上平台导轨和下平台导轨，所述上平台导轨所在直线为所述下平台导轨所在直线的异面直线。作为优选，在垂直方向上，所述下平台导轨位于所述下平台下方。作为优选，在垂直方向上，所述上平台导轨位于所述上平台上方。作为优选，在垂直方向上，所述上平台导轨位于所述上平台下方。作为优选，在水平方向上，所述上平台导轨位于所述上平台的两侧，所述上平台与所述上平台导轨之间连接有上移动机构使得所述上平台沿着所述上平台导轨移动，所述下平台导轨位于所述下平台的两侧，所述下平台与所述下平台导轨之间连接有下移动机构使得所述下平台沿着所述下平台导轨移动。作为优选，所述上移动机构和所述下移动机构皆为气浮结构或者滚轮结构。作为优选，所述导轨机构还包括导轨驱动器，分别为位于所述上平台导轨一侧的用于驱动所述上移动机构沿着所述上平台导轨移动的上平台驱动器和位于所述下平台导轨一侧的用于驱动所述下移动机构沿着所述下平台导轨移动的下平台驱动器。作为优选，所述上平台驱动器和所述下平台驱动器的驱动方式皆为电驱动或者气驱动或者液压驱动。作为优选，所述上平台包括上物料存储平台，所述上物料存储平台上还包括可在所述上物料存储平台上移动的上物料推送机构，所述下平台包括下物料存储平台，所述下物料存储平台上还包括可在所述下物料存储平台上移动的下物料推送机构。作为优选，所述上物料推送机构包括若干位于所述上物料存储平台上的且相互平行的上轨道以及在每个所述上轨道上滑行的上滑块，所述上滑块的滑行方向与所述上平台的运动方向一致，所述下物料推送机构包括若干位于所述下物料存储平台上的且相互平行的下轨道以及在每个所述下轨道上滑行的下滑块，所述下滑块的滑行方向与所述下平台的运动方向一致。作为优选，每个所述上滑块上还具有若干个能够吸附物料的上吸附气柱，每个所述下滑块上还具有若干个能够吸附物料的下吸附气柱。作为优选，每个所述上滑块上具有驱动所述上吸附气柱升降的上升降气缸，每个所述下滑块上具有驱动所述下吸附气柱升降的下升降气缸。作为优选，所述上物料存储平台上还对称分布有若干个上吸盘，所述下物料存储平台上还对称分布有若干个下吸盘。作为优选，所述上吸盘和所述下吸盘皆为真空吸盘或者磁力吸盘。作为优选，所述上物料存储平台两侧还具有上对准夹紧机构用于固定物料，所述下物料存储平台两侧还具有下对准夹紧机构用于固定物料。作为优选，还包括一框架，所述物料输送台结构位于所述框架内。本专利技术还提供一种物料输送系统，还包括如上所述的物料输送台结构，以及与所述上平台和所述下平台皆电路连接的控制系统。本专利技术还提供一种使用如上所述的物料输送系统的输送方法，所述上平台与所述下平台通过所述导轨机构交替运动至曝光机的所述物料口口部，由所述上物料推送机构和所述下物料推送机构将待上载物料上载至所述物料口口部或者将待下载物料从所述物料口口部下载。作为优选，包括以下步骤：步骤一：所述上平台运动至送料口口部，所述上滑块移动到物料上载工位，所述上吸附气柱上升接收待上载物料，所述待上载物料被所述上吸附气柱吸附固定，同时所述下平台运动至物料口口部，所述下滑块移动到物料交接工位，所述下吸附气柱上升并接收待下载物料，所述待下载物料被所述下吸附气柱吸附固定；步骤二：所述上吸附气柱下降至高度等于或者低于所述上吸盘的高度时，所述上吸附气柱停止吸附，所述待上载物料由所述上吸盘吸附固定，所述上对准夹紧机构将所述待上载物料调整至与所述物料口口部对准并辅助所述上吸盘固定物料，之后所述上滑块沿所述上轨道向所述物料口口部滑行，所述上平台沿着所述上平台导轨向所述物料口口部移动，同时所述下吸附气柱下降至高度等于或者低于所述下吸盘的高度时，所述下吸附气柱停止吸附，所述待下载物料由所述下吸盘吸附固定，所述下对准夹紧机构将所述待下载物料调整至与收料口口部对准，并辅助所述下吸盘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物料输送台结构，其特征在于，包括：一始终平行于水平面的上平台和始终平行于所述上平台并且位于所述上平台的下方的一下平台，用于上载和下载物料；一导轨机构，其所在的直线与所述上平台和所述下平台所在的平面皆相交但不垂直，所述上平台和所述下平台沿着所述导轨机构能运动至曝光机上载和下载物料的物料口口部。

【技术特征摘要】
1.一种物料输送台结构，其特征在于，包括：一始终平行于水平面的上平台和始终平行于所述上平台并且位于所述上平台的下方的一下平台，用于上载和下载物料；一导轨机构，其所在的直线与所述上平台和所述下平台所在的平面皆相交但不垂直，所述上平台和所述下平台沿着所述导轨机构能运动至曝光机上载和下载物料的物料口口部。2.如权利要求1所述的物料输送台结构，其特征在于，所述导轨机构包括上平台导轨和下平台导轨，所述上平台导轨所在直线为所述下平台导轨所在直线的异面直线。3.如权利要求2所述的物料输送台结构，其特征在于，在垂直方向上，所述下平台导轨位于所述下平台下方。4.如权利要求2所述的物料输送台结构，其特征在于，在垂直方向上，所述上平台导轨位于所述上平台上方。5.如权利要求2所述的物料输送台结构，其特征在于，在垂直方向上，所述上平台导轨位于所述上平台下方。6.如权利要求2所述的物料输送台结构，其特征在于，在水平方向上，所述上平台导轨位于所述上平台的两侧，所述上平台与所述上平台导轨之间连接有上移动机构使得所述上平台沿着所述上平台导轨移动，所述下平台导轨位于所述下平台的两侧，所述下平台与所述下平台导轨之间连接有下移动机构使得所述下平台沿着所述下平台导轨移动。7.如权利要求6所述的物料输送台结构，其特征在于，所述上移动机构和所述下移动机构皆为气浮结构或者滚轮结构。8.如权利要求6所述的物料输送台结构，其特征在于，所述导轨机构还包括导轨驱动器，分别为位于所述上平台导轨一侧的用于驱动所述上移动机构沿着所述上平台导轨移动的上平台驱动器和位于所述下平台导轨一侧的用于驱动所述下移动机构沿着所述下平台导轨移动的下平台驱动器。9.如权利要求8所述的物料输送台结构，其特征在于，所述上平台驱动器和所述下平台驱动器的驱动方式皆为电驱动或者气驱动或者液压驱动。10.如权利要求1所述的物料输送台结构，其特征在于，所述上平台包括上物料存储平台，所述上物料存储平台上还包括可在所述上物料存储平台上移动的上物料推送机构，所述下平台包括下物料存储平台，所述下物料存储平台上还包括可在所述下物料存储平台上移动的下物料推送机构。11.如权利要求10所述的物料输送台结构，其特征在于，所述上物料推送机构包括若干位于所述上物料存储平台上的且相互平行的上轨道以及在每个所述上轨道上滑行的上滑块，所述上滑块的滑行方向与所述上平台的运动方向一致，所述下物料推送机构包括若干位于所述下物料存储平台上的且相互平行的下轨道以及在每个所述下轨道上滑行的下滑块，所述下滑块的滑行方向与所述下平台的运动方向一致。12.如权利要求11所述的物料输送台结构，其特征在于，每个所述上滑块上还具有若干个能够吸附物料的上吸附气柱，每个所述下滑块上还具有若干个能够吸附物料的下吸附气柱。13.如权利要求12所述的物料输送台结构，其特征在于，每个所述上滑块上具有驱动所述上吸附气柱升降的上升降...

【专利技术属性】
技术研发人员：纪国友，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31