一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括硅片清洗机机顶前板，所述硅片清洗机机顶前板的上方设置有硅片清洗机排风管分管，所述硅片清洗机机顶前板与硅片清洗机排风管分管的连接处设置有排风管安装垫片，所述排风管安装垫片上设置有排风管分管固定螺栓，所述硅片清洗机排风管分管的上方中间位置处设置有硅片清洗机排风管汇流管，所述硅片清洗机机顶前板的两侧设置有冷凝回流器滑板，所述两个冷凝回流器滑板之间设置有冷凝回流器安装板，所述冷凝回流器安装板的前方设置有与冷凝回流器安装板垂直的水刮板，本实用新型专利技术的集水槽为凹槽型结构，通过集水槽收集水刮板刮下来的水珠，并通过冷凝回流器排水管集中排出。

Exhaust air condensation return device of silicon wafer cleaning machine

The utility model provides an outlet exhaust condensation reflux device wafer cleaning machine, including wafer cleaning machine top front plate, a silicon wafer cleaning machine is arranged above the exhaust pipe is in charge of the wafer cleaning machine before the top plate, the front plate and the silicon cleaning machine top silicon cleaning machine exhaust pipe connection tube set exhaust pipe installation gasket, the exhaust pipe mounting pad is arranged on the exhaust pipe in charge of fixed bolts, the middle position of the upper part of the wafer cleaning machine exhaust pipe is arranged in charge of the wafer cleaning machine exhaust manifold, on both sides of the silicon wafer cleaning machine is arranged on the front plate top reflux condenser skateboard, provided with a reflux condenser plate installed between the two reflux condenser and reflux condenser skateboard, install water scraper vertical plate mounting plate of the reflux condenser in front of the utility model. The groove is a groove type structure, and the water drops scraped by the water scraper are collected through a water collecting tank, and the drain pipe is condensed and discharged through a condensing reflux device.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置
本技术是一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，属于硅片清洗机

技术介绍
半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。现有技术中，没有设置水刮板和集水槽，不能将硅片清洗机机顶上盖板上凝聚的水刮落，收集在集水槽内，在水汽抽排过程中，少量的水汽会凝结在硅片清洗机机顶上盖板上，凝结成水珠就容易滴落在硅片上，导致硅片损坏。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，以解决上述
技术介绍
中提出的没有设置水刮板和集水槽，不能将硅片清洗机机顶上盖板上凝聚的水刮落，收集在集水槽内，在水汽抽排过程中，少量的水汽会凝结在硅片清洗机机顶上盖板上，凝结成水珠就容易滴落在硅片上，导致硅片损坏的问题，本技术使用方便，便于操作，稳定性好，可靠性高。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括硅片清洗机机顶前板，所述硅片清洗机机顶前板的上方设置有硅片清洗机排风管分管，所述硅片清洗机机顶前板与硅片清洗机排风管分管的连接处设置有排风管安装垫片，所述排风管安装垫片上设置有排风管分管固定螺栓，所述硅片清洗机排风管分管的上方中间位置处设置有硅片清洗机排风管汇流管，所述硅片清洗机机顶前板的两侧设置有冷凝回流器滑板，所述两个冷凝回流器滑板之间设置有冷凝回流器安装板，所述冷凝回流器安装板的前方设置有与冷凝回流器安装板垂直的水刮板，所述水刮板的前方设置有集水槽，所述集水槽与水刮板的连接处设置有集水槽安装螺栓，所述集水槽的一侧设置有冷凝回流器排水管，所述冷凝回流器排水管与集水槽的连接处设置有密封胶圈，所述冷凝回流器排水管远离密封胶圈的一端设置有双通管。进一步地，所述水刮板与集水槽通过集水槽安装螺栓固定连接。进一步地，所述集水槽的前表面上设置有把手。进一步地，所述排风管安装垫片与硅片清洗机机顶顶盖通过排风管分管固定螺栓固定连接。进一步地，所述冷凝回流器安装板与硅片清洗机机顶侧板通过冷凝回流器滑板滑动连接。进一步地，所述集水槽为凹槽型结构。本技术的有益效果：本技术的一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，集水槽的前表面上设置有把手，操作人员手握把手即可拉动水刮板进行刮水工作，防止水汽聚集滴落在清洗机上的硅片上，对硅片造成损坏；排风管安装垫片与硅片清洗机机顶顶盖通过排风管分管固定螺栓固定连接，排风管安装垫片与硅片清洗机排风管分管为一体式结构，排风管安装垫片与硅片清洗机机顶顶盖通过排风管分管固定螺栓固定连接，即是将硅片清洗机排风管分管与硅片清洗机机顶顶盖固定连接，可通过硅片清洗机排风管分管抽排清洗机产生的水汽；冷凝回流器安装板与硅片清洗机机顶侧板通过冷凝回流器滑板滑动连接，冷凝回流器滑板在硅片清洗机机顶侧板上滑动，使冷凝回流器安装板和水刮板滑动，从而进行刮水排水工作；集水槽为凹槽型结构，通过集水槽收集水刮板刮下来的水珠，并通过冷凝回流器排水管集中排出。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置的结构示意图；图2为本技术一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置的集水槽的结构示意图；图中：1-排风管分管固定螺栓、2-硅片清洗机排风管汇流管、3-硅片清洗机排风管分管、4-排风管安装垫片、5-硅片清洗机机顶前板、6-冷凝回流器安装板、7-水刮板、8-密封胶圈、9-冷凝回流器排水管、10-双通管、11-把手、12-集水槽、13-集水槽安装螺栓、14-冷凝回流器滑板。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1和图2，本技术提供一种技术方案：一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括硅片清洗机机顶前板5，硅片清洗机机顶前板5的上方设置有硅片清洗机排风管分管3，硅片清洗机机顶前板5与硅片清洗机排风管分管3的连接处设置有排风管安装垫片4，排风管安装垫片4上设置有排风管分管固定螺栓1，硅片清洗机排风管分管3的上方中间位置处设置有硅片清洗机排风管汇流管2，硅片清洗机机顶前板5的两侧设置有冷凝回流器滑板14，两个冷凝回流器滑板14之间设置有冷凝回流器安装板6，冷凝回流器安装板6的前方设置有与冷凝回流器安装板6垂直的水刮板7，水刮板7的前方设置有集水槽12，集水槽12与水刮板7的连接处设置有集水槽安装螺栓13，集水槽12的一侧设置有冷凝回流器排水管9，冷凝回流器排水管9与集水槽12的连接处设置有密封胶圈8，冷凝回流器排水管9远离密封胶圈8的一端设置有双通管10。本实施例中，优选的，水刮板7与集水槽12通过集水槽安装螺栓13固定连接，能够通过拆卸集水槽安装螺栓13完成集水槽12的拆卸和更换，使用方便快捷。本实施例中，优选的，集水槽12的前表面上设置有把手11，操作人员手握把手11即可拉动水刮板7进行刮水工作，防止水汽聚集滴落在清洗机上的硅片上，对硅片造成损坏。本实施例中，优选的，排风管安装垫片4与硅片清洗机机顶顶盖通过排风管分管固定螺栓1固定连接，排风管安装垫片4与硅片清洗机排风管分管3为一体式结构，排风管安装垫片4与硅片清洗机机顶顶盖通过排风管分管固定螺栓1固定连接，即是将硅片清洗机排风管分管3与硅片清洗机机顶顶盖固定连接，可通过硅片清洗机排风管分管3抽排清洗机产生的水汽。本实施例中，优选的，冷凝回流器安装板6与硅片清洗机机顶侧板通过冷凝回流器滑板14滑动连接，冷凝回流器滑板14在硅片清洗机机顶侧板上滑动，使冷凝回流器安装板6和水刮板7滑动，从而进行刮水排水工作。本实施例中，优选的，集水槽12为凹槽型结构，通过集水槽12收集水刮板7刮下来的水珠，并通过冷凝回流器排水管9集中排出。本技术中的双通管10有两个个开口的管接头。双通管广泛用于输送液体、气体的管网中。因输送介质不同，双通管的材质分为:铸铁、铸钢、铸铜、铸铝、塑料、玻璃等。具体实施方式：在进行使用时，首先工作人员对本技术进行检查，检查是否存在缺陷，如果存在缺陷的话就无法进行使用了，此时需要通知维修人员进行维修，如果不存在问题的话就可以进行使用，通过排风管分管固定螺栓1将排风管安装垫片4与硅片清洗机机顶固定，将集水槽12与水刮板7通过集水槽安装螺栓13固定，将两个冷凝回流器滑板14分别架在两个硅片清洗机机顶侧板上，清洗机清洗硅片时，大部分的水蒸气从硅片清洗机排风管分管3处集中至硅片清洗机排风管汇流管2处，由硅片清洗机排风管汇流管2的出口排出，水汽抽排的过程中，一部分的水汽被隔离在硅片清洗机机顶上盖板上，凝结形成细密的水珠，长时间抽排时，水珠越来本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括硅片清洗机机顶前板（5），其特征在于：所述硅片清洗机机顶前板（5）的上方设置有硅片清洗机排风管分管（3），所述硅片清洗机机顶前板（5）与硅片清洗机排风管分管（3）的连接处设置有排风管安装垫片（4），所述排风管安装垫片（4）上设置有排风管分管固定螺栓（1），所述硅片清洗机排风管分管（3）的上方中间位置处设置有硅片清洗机排风管汇流管（2），所述硅片清洗机机顶前板（5）的两侧设置有冷凝回流器滑板（14），所述两个冷凝回流器滑板（14）之间设置有冷凝回流器安装板（6），所述冷凝回流器安装板（6）的前方设置有与冷凝回流器安装板（6）垂直的水刮板（7），所述水刮板（7）的前方设置有集水槽（12），所述集水槽（12）与水刮板（7）的连接处设置有集水槽安装螺栓（13），所述集水槽（12）的一侧设置有冷凝回流器排水管（9），所述冷凝回流器排水管（9）与集水槽（12）的连接处设置有密封胶圈（8），所述冷凝回流器排水管（9）远离密封胶圈（8）的一端设置有双通管（10）。

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括硅片清洗机机顶前板（5），其特征在于：所述硅片清洗机机顶前板（5）的上方设置有硅片清洗机排风管分管（3），所述硅片清洗机机顶前板（5）与硅片清洗机排风管分管（3）的连接处设置有排风管安装垫片（4），所述排风管安装垫片（4）上设置有排风管分管固定螺栓（1），所述硅片清洗机排风管分管（3）的上方中间位置处设置有硅片清洗机排风管汇流管（2），所述硅片清洗机机顶前板（5）的两侧设置有冷凝回流器滑板（14），所述两个冷凝回流器滑板（14）之间设置有冷凝回流器安装板（6），所述冷凝回流器安装板（6）的前方设置有与冷凝回流器安装板（6）垂直的水刮板（7），所述水刮板（7）的前方设置有集水槽（12），所述集水槽（12）与水刮板（7）的连接处设置有集水槽安装螺栓（13），所述集水槽（12）的一侧设置有冷凝回流器排水管（9），所述冷凝回流器排水管（9...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓丽，景欢旺，吕海军，高超，项望，
申请(专利权)人：江苏晶鼎电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32