阵列基板以及显示装置制造方法及图纸

一种阵列基板以及显示装置。该阵列基板通过对绝缘层刻蚀出多个第一孔隙结构，可以减小了绝缘层与平坦层的接触面积并使平坦层可在孔隙结构对应的位置释放其内部应力，从而使得绝缘层和平坦层的形变量差异减小，进而可降低发生膜层断裂的几率；另外，多个第一孔隙结构还可以缓冲断裂应力，在断裂时能够利用孔隙结构终止断裂进程，最终将断裂影响降到最低，提高良率。

Array substrate and display device

Array substrate and display device. The array substrate through the insulating layer is etched with a plurality of first pore structure, can reduce the contact area of the insulating layer and the planarization layer and the planarization layer can release the internal pore structure at the position corresponding to the stress, so that the deformation difference insulating layer, smooth layer decreases, and can reduce the probability of coating fracture in addition, a plurality of first; pore structure can buffer the fracture stress, the pore structure can terminate the fracture process in the fracture, the fracture will minimize the impact, improve the yield rate.

【技术实现步骤摘要】
阵列基板以及显示装置
本技术至少一实施例涉及一种阵列基板以及显示装置。
技术介绍
随着显示技术的不断发展，液晶显示器(LiquidCrystalDisplay,LCD)因其响应速度快、集成度高、功耗小等优点，已成为主流的显示装置。液晶显示面板通常包括对盒设置的阵列基板和对置基板以及设置在阵列基板与对置基板之间的液晶层组成。通常，阵列基板包括呈阵列排布的薄膜晶体管、设置在薄膜晶体管上的平坦层、设置在平坦层上的电极结构以及设置在平坦层和电极结构上的绝缘层。平坦层可采用有机膜制作，并且当平坦层为有机膜时，相对于采用无机材料制作的膜层，有机膜可以制作得更加平坦并且成本较低、工艺简单。
技术实现思路
本技术的至少一个实施例提供一种阵列基板以及显示装置。该阵列基板通过对绝缘层刻蚀出孔隙结构，可以减小绝缘层与平坦层的接触面积并使平坦层可在孔隙结构对应的位置释放其内部应力，从而使得绝缘层和平坦层的形变量差异减小，进而可降低发生膜层断裂的几率；另外，孔隙结构还可以缓冲断裂应力，在断裂时能够利用孔隙结构终止断裂进程，最终将断裂影响降到最低，提高良率。本技术的至少一个实施例提供一种阵列基板，其包括衬底基板、平坦层、第一电极层和绝缘层。平坦层，设置在衬底基板上；第一电极层，设置在平坦层远离衬底基板的一侧；绝缘层，设置在平坦层和第一电极层远离衬底基板的一侧，并且，绝缘层包括多个第一孔隙结构。本技术的至少一个实施例提供一种显示装置，包括上述任一项阵列基板。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制。图1a为一种阵列基板中部分膜层示意图；图1b为一种阵列基板中绝缘层断裂示意图；图1c为一种阵列基板中平坦层断裂示意图；图2为本技术一实施例提供的一种阵列基板截面示意图；图3a为本技术一实施例提供的一种阵列基板防止膜层断裂原理示意图；图3b为本技术一实施例提供的一种阵列基板防止膜层断裂原理示意图；图4为本技术一实施例提供的一种阵列基板终止膜层断裂原理示意图；图5为本技术一实施例提供的一种阵列基板截面示意图；图6为本技术一实施例提供的一种阵列基板防止膜层断裂原理示意图；图7为本技术一实施例提供的一种阵列基板终止膜层断裂原理示意图；图8为本技术一实施例提供的一种阵列基板制作方法的流程图；以及图9为本技术一实施例提供的一种阵列基板的结构示意图。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另外定义，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。在研究中，本申请的专利技术人发现：阵列基板上的平坦层(例如有机膜层)和平坦层上绝缘层(例如无机膜层)由于具有不同的膨胀系数，在高温和低温的环境中，两者的形变量差异较大，从而导致平坦层和绝缘层会在外力的影响下容易发生断裂，进而导致严重不良。图1a为一种阵列基板中的部分膜层示意图，如图1a所示，阵列基板包括平坦层101、第一电极层102和绝缘层103。由于平坦层101和绝缘层103具有不同的膨胀系数，例如，平坦层101的材料包括有机材料，例如聚酰亚胺等材料；而绝缘层103的材料包括氧化物、氮化物或氮氧化合物等材料。也就是说，有机膜层与无机膜层具有不同的膨胀系数。在高温以及低温环境中平坦层101和绝缘层103的形变量差异大，例如，温度变化较大时，平坦层101膨胀产生的形变量大于绝缘层103产生的形变量，在平坦层101内部应力作用的影响下，绝缘层103容易产生断裂现象。图1b为一种阵列基板中绝缘层断裂示意图，如图1b所示，在阵列基板受到外界轻微力以及平坦层101膨胀产生的内部应力的共同作用下，绝缘层103会很容易出现断裂现象，导致严重不良。图1c为一种阵列基板中平坦层断裂示意图，如图1c所示，当绝缘层103在底部平坦层101的内应力作用下断裂后，一方面，由于应力会以此裂痕作为释放口使裂痕继续延伸；另一方面，外界的震动和玻璃衬底基板的弯曲也会使裂痕进一步出现延伸现象，最终导致平坦层101彻底断裂，导致严重不良，从而影响显示区域的显示效果。本技术实施例提供一种阵列基板及其制作方法以及显示装置。该阵列基板包括衬底基板、设置在衬底基板上的平坦层、设置在平坦层上远离衬底基板一侧的第一电极层、以及设置在平坦层和第一电极层远离衬底基板一侧的绝缘层。绝缘层包括多个第一孔隙结构。由此，该阵列基板通过在绝缘层上设置多个第一孔隙结构可以减小绝缘层与平坦层的接触面积并使平坦层可在孔隙结构对应的位置释放其内部应力，从而使得绝缘层和平坦层的形变量差异减小，进而可降低发生膜层断裂的几率；另外，多个第一孔隙结构还可以缓冲断裂应力，在断裂时能够利用孔隙结构终止断裂进程，最终将断裂影响降到最低，并提高良率。下面结合附图对本技术实施例提供的阵列基板及其制作方法以及显示装置进行说明。实施例一本实施例提供一种阵列基板，如图2所示，该阵列基板包括衬底基板100、平坦层101、第一电极层102和绝缘层103。平坦层101设置在衬底基板100上；第一电极层102设置在平坦层101远离衬底基板100的一侧；绝缘层103设置在平坦层101和第一电极层102远离衬底基板100的一侧。并且，如图2所示，绝缘层103包括多个第一孔隙结构210。例如，可通过对绝缘层130进行图案化工艺以形成多个第一孔隙结构210。由此，在本实施例提供的阵列基板中，在绝缘层130上形成的多个第一孔隙结构210可整体减小绝缘层103与平坦层101的接触面积，即，绝缘层103和平坦层101在具有第一孔隙结构210的位置处不接触，多个第一孔隙结构210可暴露出部分平坦层101或平坦层101和第一电极层102，从而使得平坦层101在温度变化较大时产生的应力可以在多个第一孔隙结构210的位置处释放，使得平坦层101和绝缘层103的形变量差异减小，进而可降低发生膜层断裂的几率。另外，多个第一孔隙结构210还可以缓冲断裂应力，当绝缘层103发生局部断裂时，当断裂的裂缝延伸到多个第一孔隙结构210中的一个或多个时，该一个或多个第一孔隙结构210可使该裂缝停止继续延伸，扩散，从而可利用多个第一孔隙本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底基板；平坦层，设置在所述衬底基板上；第一电极层，设置在所述平坦层远离所述衬底基板的一侧；绝缘层，设置在所述平坦层和所述第一电极层远离所述衬底基板的一侧，其中，所述绝缘层包括多个第一孔隙结构。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底基板；平坦层，设置在所述衬底基板上；第一电极层，设置在所述平坦层远离所述衬底基板的一侧；绝缘层，设置在所述平坦层和所述第一电极层远离所述衬底基板的一侧，其中，所述绝缘层包括多个第一孔隙结构。2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述平坦层和所述绝缘层的热膨胀系数不同。3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述平坦层的材料包括有机材料，所述绝缘层的材料包括无机材料。4.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，还包括：第二电极层，设置在所述绝缘层的远离所述第一电极层的一侧，且包括多个开口，其中，在所述第一电极层和所述第二电极层彼此重叠的区域，所述第一孔隙结构在所述衬底基板上的正投影完全落入所述开口在所述衬底基板上的正投影。...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹可，杨成绍，马骏，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34