一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置，一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置，其特征在于它包括上模板、下模板；通过该装置可一次性放置多个图形化蓝宝石衬底于刻蚀设备上进行刻蚀加工，同时上模板上的限位孔有效的防止图形化蓝宝石衬底加工时出现的位移现象，且提高生产率。

Clamping template device for patterned sapphire substrate etching

The utility model relates to a device for clamping plate patterned sapphire substrate by etching device, clamping plate device of a patterned sapphire substrate by etching device is characterized by comprising the upper template and the lower template; the device can place a plurality of patterned sapphire substrate by etching the etching processing equipment. At the same time on the template on the limit hole effectively prevent the displacement phenomenon of patterned sapphire substrate processing, and improve productivity.

【技术实现步骤摘要】
一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置
本技术涉及一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置。
技术介绍
蓝宝石晶体是目前半导体照明产业发展过程中使用最为广泛的衬底材料，蓝宝石具有高强度、高熔点、物理化学性能稳定等特性，在军事、航天航空、光学、生物、分析、半导体基片以及在高速信息处理、电子光子装置的微型化、智能化方面得到广泛的应用。蓝宝石衬底对于制作LED芯片来说，衬底材料的选用是首要考虑的问题。通常，GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗，因此大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。而现有的用于图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板结构复杂，设备成本高，且通过人工将图形化蓝宝石衬底放入刻蚀设备内，易出现位移的现象，影响蓝宝石衬底的后期加工和使用。
技术实现思路
本技术的目的是克服上述缺陷，提供的一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置。为实现上述目的，本技术采用如下方式进行。一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置，其特征在于它包括上模板、下模板；所述的上模板设有放置图形化蓝宝石衬底的限位孔；所述的下模板上设有定位块，定位块与上模板上的限位孔配合安装，定位块上设有密封垫，装模时图形化蓝宝石衬底底部与密封垫配合定位。优选的，所述的上模板设有若干个限位孔。优选的，所述的下模板上设有若干个定位块与密封垫。本技术的有益效果是：提供一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置，通过该装置可一次性放置多个图形化蓝宝石衬底于刻蚀设备上进行刻蚀加工，同时上模板上的限位孔有效的防止图形化蓝宝石衬底加工时出现的位移现象，且提高生产率。附图说明图1为本技术提出的一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置的结构示意图。图2为本技术提出的一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置的上模板结构示意图。图3为本技术提出的一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置的下模板结构示意图。图中：1上模板、2下模板、2-1定位块、3密封垫4、图形化蓝宝石衬底。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术的一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置作进一步的描述。如图所示，一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置，其特征在于它包括上模板1、下模板2；所述的上模板1设有放置图形化蓝宝石衬底4的限位孔；所述的下模板2上设有定位块2-1，定位块2-1与上模板1上的限位孔配合安装，定位块2-1上设有密封垫3，装模时图形化蓝宝石衬底4底部与密封垫3配合定位。工作原理：图形化蓝宝石衬底刻蚀加工时，先将上模板1与下模板2配合拼装，拼装好后，再将图形化蓝宝石衬底4放上模板1上的限位孔内，使图形化蓝宝石衬底4底部与定位块2-1上的密封垫3配合定位，再将装有图形化蓝宝石衬底4的装夹模板装置放于刻蚀设备上进行刻蚀加工，同时上模板上的限位孔有效的防止图形化蓝宝石衬底加工时出现的位移现象，且提高生产率。以上所述的实施例，只是本技术较典型的具体实施方式的一种，本领域的技术人员在本技术技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本技术的操作范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置，其特征在于它包括上模板（1）、下模板（2）；所述的上模板（1）设有放置图形化蓝宝石衬底（4）的限位孔；所述的下模板（2）上设有定位块（2‑1），定位块（2‑1）与上模板（1）上的限位孔配合安装，定位块（2‑1）上设有密封垫（3），装模时图形化蓝宝石衬底（4）底部与密封垫（3）配合定位。

【技术特征摘要】
1.一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的装夹模板装置，其特征在于它包括上模板（1）、下模板（2）；所述的上模板（1）设有放置图形化蓝宝石衬底（4）的限位孔；所述的下模板（2）上设有定位块（2-1），定位块（2-1）与上模板（1）上的限位孔配合安装，定位块（2-1）上设有密封垫（3），装模时图形化蓝...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐明金，侯想，谢礼增，
申请(专利权)人：福建中晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35