The invention discloses a mask and method of manufacturing the OLED device, evaporation method, wherein, the mask includes a metal mask and a supporting plate, a first surface of the metal mask is provided with a plurality of grooves containing organic materials, the support plate is arranged on the second surface of the metal mask. The groove for placing an organic light emitting material, wherein the support board in support at the same time can be heated, so that the organic light emitting material is formed in the groove of the steam. Compared with the prior art, a supporting role in the heating plate, the mask will not deform during the evaporation process at the same time, unlike existing techniques, the structure of the mask in the evaporation process without the use of additional equipment such as crucible, mask and metal mask has a corresponding groove die, which can be directly placed in organic light-emitting materials, and heating of the heating plate, by evaporation.
【技术实现步骤摘要】
掩模板及其制造方法、OLED器件蒸镀方法
本专利技术涉及OLED制备
,尤其涉及一种掩模板及其制造方法、OLED器件蒸镀方法。
技术介绍
OLED器件为一种新型的显示器件,其利用有机半导体材料制成的、用直流电压驱动的薄膜发光器件。OLED器件具有高对比度、广视角、低功耗、体积更薄等优点,有望成为下一代主流平板显示技术,是目前平板显示技术中受到关注最多的技术之一。OLED的发光原理基于其中的有机发光材料涂层,当有电流通过时,该有机发光材料涂层发光。现有技术中,通常采用蒸镀工艺将有机发光材料蒸镀在OLED器件上相应的像素区域。具体而言:如图1所示,OLED器件10上固定设置有用于发出三原色光的像素区:蓝光(Blue,B)像素区101、绿光(Green,G)像素区102、红光(Red,R)像素区103,采用高精度对位技术,在基板的表面设有金属掩模板20(也称为mask板),位于OLED器件10和mask板20下方设有坩埚(并未在图1中示出),用于加热相应的有机发光材料形成蒸镀气流,蒸镀气流通过mask板20的开口将有机发光材料镀到相应的像素区表面(其中,有机发光材料共包含三原色的有机发光材料,也即,红光有机发光材料、绿光有机发光材料、蓝光有机发光材料,每次蒸镀不同颜色的有机发光材料),形成相应的像素。但是,基于如图1所示的结构,mask板为金属薄膜,随着OLED器件尺寸的不断增加,mask板的尺寸也会相应增加,显然,mask板自身的重量也将增加,由于重力作用可能在mask板的某些位置发生形变,形变处并不能与OLED器件紧密贴合,从而会形成间隙,那么,蒸镀气 ...
【技术保护点】
一种掩模板,其特征在于,所述掩模板包含金属掩模、支撑板及隔热层,所述金属掩膜包括第一表面及与第一表面相对的第二表面,所述隔热层覆盖于金属掩膜第一表面,所述支撑板设置于所述金属掩模的第二表面,所述第一表面还间隔设有若干凹槽。
【技术特征摘要】
1.一种掩模板,其特征在于,所述掩模板包含金属掩模、支撑板及隔热层,所述金属掩膜包括第一表面及与第一表面相对的第二表面,所述隔热层覆盖于金属掩膜第一表面,所述支撑板设置于所述金属掩模的第二表面,所述第一表面还间隔设有若干凹槽。2.如权利要求1所述的掩模板,其特征在于,所述支撑板为加热板,使得收容在所述凹槽中的有机材料蒸发。3.如权利要求2所述的掩模板,其特征在于,所述凹槽通过刻蚀方式形成。4.如权利要求1所述的掩模板,其特征在于,所述隔热材料包括:氧化硅、氧化铝中的至少一种。5.一种掩模板的制造方法,其特征在于:所述方法包括:提供金属掩模,所述金属掩模具设有第一表面及第二表面;在所述金属掩模的第一表面溅射形成有一层隔热材料;在所述金属掩模的第一表面进行刻蚀处理,使第一表面形成若干凹槽;在所述金属掩模的第二表面固定设置支撑板而形成掩膜板。6.如权利要求5所述的掩模板的制造方法,其特征在于,所述隔热材料包括氧化硅、氧化铝中的至少一种。7.一种OLED器件蒸镀方法,其特征在于,所述方法包括:提供一种掩模板...
【专利技术属性】
技术研发人员:李瑶,周茂清,
申请(专利权)人:昆山国显光电有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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