磁控溅射装置用消磁片夹取工具及磁控溅射装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射装置用消磁片夹取工具及磁控溅射装置，属于磁控溅射装置技术领域，为解决现有技术安全性差、劳动强度大等问题而设计。本实用新型专利技术磁控溅射装置用消磁片夹取工具包括把手，把手的前端连接在伸入杆上，在伸入杆的前端设置有用于夹持消磁片的夹持部；伸入杆为长度可调节结构。本实用新型专利技术磁控溅射装置用消磁片夹取工具及磁控溅射装置解决现有技术中必须将阴极框和阴极板吊起导致人力成本高、工作效率低、具有一定危险性等问题，缩短了工时，增加了产能。

Degaussing disc clamping tool and magnetron sputtering device for magnetron sputtering device

The utility model discloses a magnetron sputtering device and magnetron sputtering apparatus for degaussing tool clamping, which belongs to the technical field of the magnetron sputtering device, designed to solve the problems of existing technology and poor safety and high labor intensity etc.. The utility model has the advantages of a magnetron sputtering device with clamping tools including degaussing handle, handle in the front end of the connecting rod, a clamping part for clamping piece is arranged at the front end of the degaussing rod extends into the rod into; adjustable length structure. The utility model has the advantages of a magnetron sputtering device with clamping tools and degaussing magnetron sputtering device solves the cathode and the cathode plate frame must be lifted to high labor costs, low working efficiency and has certain risk and other issues, shortening the working hours, the increase of production capacity.

【技术实现步骤摘要】
磁控溅射装置用消磁片夹取工具及磁控溅射装置
本技术涉及磁控溅射装置
，尤其涉及一种磁控溅射装置用消磁片夹取工具以及使用该夹取工具加减消磁片的磁控溅射装置。
技术介绍
磁控溅射装置通过加减阴极磁铁上消磁片的数量来改变磁场，从而调整所镀膜的厚薄问题。如图1所示，现有加减消磁片的方法是将阴极磁铁10上方的阴极框20和阴极板30分别吊起，将阴极磁铁10敞开来，从阴极板30和阴极磁铁10之间的间隙40处加减消磁片。这种工作方式过程复杂繁重，消耗人力和工时较多；使用天车吊起阴极框20和阴极板30，具有一定危险性；频繁拆装阴极框20和阴极板30，有可能会造成漏气，导致溅射装置发生故障。
技术实现思路
本技术的一个目的在于提出一种使用方便、工作安全性高的磁控溅射装置用消磁片夹取工具。本技术的另一个目的在于提出一种工作效率高的磁控溅射装置。为达此目的，一方面，本技术采用以下技术方案：一种磁控溅射装置用消磁片夹取工具，包括把手，所述把手的前端连接在伸入杆上，在所述伸入杆的前端设置有用于夹持消磁片的夹持部；所述伸入杆为长度可调节结构。特别是，所述把手上铰接有Z形的压杆；所述伸入杆为中空结构，其中设置有驱动杆；所述驱动杆一端凸出于所述伸入杆且位于所述压杆的按压范围内，另一端连接至所述夹持部并能驱动所述夹持部开合。进一步，在所述伸入杆内设置有摆杆，所述摆杆的中部铰接在支架上；所述夹持部包括固定的第一夹持片和活动的第二夹持片；所述驱动杆下压时能抵靠在所述摆杆的一端，所述摆杆的另一端能推动所述第二夹持片移动；当施加在所述驱动杆上的下压力被撤除后，所述摆杆的另一端能在弹性件的带动下复位。特别是，所述驱动杆的端头铰接在所述压杆上或所述驱动杆的端头与所述压杆相分离。特别是，所述夹持部包括第一夹持片和第二夹持片，在所述第一夹持片上靠近所述第二夹持片的面为斜面，在所述第二夹持片上靠近所述第一夹持片的面为斜面，所述第一夹持片的斜面与所述第二夹持片的斜面倾斜方向相同。特别是，在所述伸入杆的前端和所述夹持部之间设置有转动盘，所述转动盘能带动所述夹持部转动。特别是，所述伸入杆包括至少两段，其中至少一段所述伸入杆可以绕其轴线转动。特别是，在所述伸入杆的前端设置有凹槽，所述夹持部的端头设置在所述凹槽内，且所述夹持部能在所述凹槽所在平面内转动。另一方面，本技术采用以下技术方案：一种磁控溅射装置，包括依次设置的阴极磁铁、阴极板和阴极框，在所述阴极磁铁的背面设置有视窗，在所述阴极磁铁上开设有至少一个用于加减消磁片的窗口或在所述阴极磁铁和所述阴极板之间开设有用于加减消磁片的窗口；如上述磁控溅射装置用消磁片夹取工具通过所述窗口加减消磁片；或，如上述磁控溅射装置用消磁片夹取工具通过所述视窗加减消磁片。特别是，所述窗口位于所述阴极磁铁的边角处。本技术磁控溅射装置用消磁片夹取工具包括长度可调节的伸入杆、在伸入杆的前端设置有用于夹持消磁片的夹持部，使用该夹取工具能伸入到待加减消磁片的磁控溅射装置中，解决现有技术中必须将阴极框和阴极板吊起导致人力成本高、工作效率低、具有一定危险性等问题，缩短了工时，增加了产能。本技术磁控溅射装置的阴极磁铁上开设有窗口或在阴极磁铁和阴极板之间开设有窗口、通过该窗口加减消磁片，或通过现有的视窗加减消磁片，操作方便，工作效率高，安全性高。附图说明图1是现有磁控溅射装置部分结构的爆炸图；图2是本技术优选实施例一提供的夹取工具的第一种结构示意图；图3是本技术优选实施例一提供的夹持部的驱动结构示意图；图4是本技术优选实施例一提供的夹取工具的第二种结构示意图；图5是本技术优选实施例一提供的夹取工具的第三种结构示意图；图6是本技术优选实施例二提供的阴极磁铁的结构示意图；图7是本技术优选实施例二提供的阴极磁铁的后视图。图中：1、把手；2、伸入杆；3、夹持部；4、压杆；5、驱动杆；6、转动盘；10、阴极磁铁；11、视窗；20、阴极框；30、阴极板；31、第一夹持片；32、第二夹持片；40、间隙；50、窗口；51、摆杆；52、支架；53、弹性件。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。优选实施例一：本优选实施例公开一种磁控溅射装置用消磁片夹取工具。如图2至图5所示，该消磁片夹取工具包括把手1，把手1的前端连接在伸入杆2上，在伸入杆2的前端设置有用于夹持消磁片的夹持部3；伸入杆2为长度可调节结构。该消磁片夹取工具具有伸入杆2、且伸入杆2的长度可调节，能伸入到待加减消磁片的磁控溅射装置中，解决了现有技术中必须将阴极框20和阴极板30吊起、从阴极板30和阴极磁铁10之间的间隙40处加减消磁片导致人力成本高、工作效率低、具有一定危险性等问题，缩短了工时，增加了产能。为了避免在夹取工具夹持消磁片靠近目标磁铁时夹取工具被目标磁铁吸住，夹取工具优选使用非磁性材料制成。夹取工具夹持消磁片的具体方式不限，优选地，在把手1上铰接有Z形的压杆4；伸入杆2为中空结构，其中设置有驱动杆5；驱动杆5一端凸出于伸入杆2且位于压杆4的按压范围内，另一端连接至夹持部3并能驱动夹持部3开合。如图3所示，在伸入杆2内设置有摆杆51，摆杆51的中部铰接在支架52上；夹持部3包括固定的第一夹持片31和活动的第二夹持片32；驱动杆5下压时能抵靠在摆杆51的一端，摆杆51的另一端能推动第二夹持片32移动；当施加在驱动杆5上的下压力被撤除后，摆杆51的另一端能在弹性件53的带动下复位。其中，驱动杆5的端头可以铰接在压杆4上，驱动杆5的端头也可以与压杆4相分离，这两种结构均不会影响夹取工具的使用。使用时，手握把手1和压杆4的尾部，压杆4的头部下压，驱动杆5受压向下移动，摆杆51左端下压、右端抬起，第二夹持片32向第一夹持片31靠拢，夹紧消磁片；待消磁片运送到位后松开压杆4的尾部，驱动杆5和摆杆51的左端相继失去压力，摆杆51的右端在弹性件53的带动下复位，第二夹持片32远离第一夹持片31，松开消磁片。为了保证对消磁片的夹紧效果更好、为了保证被夹紧时消磁片的空间状态更利于其贴附在目标磁铁上，夹持部3包括第一夹持片31和第二夹持片32，在第一夹持片31上靠近第二夹持片32的面为斜面，在第二夹持片32上靠近第一夹持片31的面为斜面，第一夹持片31的斜面与第二夹持片32的斜面倾斜方向相同。为了进一步保证夹持的稳定性，斜面上可以形成多条凸棱。如图4所示，在伸入杆2的前端和夹持部3之间设置有转动盘6，转动盘6能带动夹持部3转动。当目标磁铁的位置或形状较为特殊时，可以通过转动盘6的转动来调整夹持部3上消磁片的空间状态，以令消磁片能更好地贴附在目标磁铁上。在上述结构的基础上，伸入杆2包括至少两段，其中至少一段伸入杆2可以绕其轴线转动，通过这段伸入杆2的转动来调整夹持部3上消磁片的位置，以令消磁片能更好地对准目标磁铁。如图5所示，可以在伸入杆2的前端设置凹槽，夹持部3的端头设置在凹槽内，且夹持部3能在凹槽所在平面内转动。当目标磁铁所在位置的周围空间较为拥挤或周围障碍物较多时，夹持部3的转动能调整消磁片的位置，以令其能更靠近目标磁铁。优选实施例二：本优选实施例公开一种磁控溅射装置。如图6和图7所示，该磁控溅射装置包括依次设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁控溅射装置用消磁片夹取工具，其特征在于，包括把手(1)，所述把手(1)的前端连接在伸入杆(2)上，在所述伸入杆(2)的前端设置有用于夹持消磁片的夹持部(3)；所述伸入杆(2)为长度可调节结构。

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射装置用消磁片夹取工具，其特征在于，包括把手(1)，所述把手(1)的前端连接在伸入杆(2)上，在所述伸入杆(2)的前端设置有用于夹持消磁片的夹持部(3)；所述伸入杆(2)为长度可调节结构。2.根据权利要求1所述的磁控溅射装置用消磁片夹取工具，其特征在于，所述把手(1)上铰接有Z形的压杆(4)；所述伸入杆(2)为中空结构，其中设置有驱动杆(5)；所述驱动杆(5)一端凸出于所述伸入杆(2)且位于所述压杆(4)的按压范围内，另一端连接至所述夹持部(3)并能驱动所述夹持部(3)开合。3.根据权利要求2所述的磁控溅射装置用消磁片夹取工具，其特征在于，在所述伸入杆(2)内设置有摆杆(51)，所述摆杆(51)的中部铰接在支架(52)上；所述夹持部(3)包括固定的第一夹持片(31)和活动的第二夹持片(32)；所述驱动杆(5)下压时能抵靠在所述摆杆(51)的一端，所述摆杆(51)的另一端能推动所述第二夹持片(32)移动；当施加在所述驱动杆(5)上的下压力被撤除后，所述摆杆(51)的另一端能在弹性件(53)的带动下复位。4.根据权利要求2所述的磁控溅射装置用消磁片夹取工具，其特征在于，所述驱动杆(5)的端头铰接在所述压杆(4)上或所述驱动杆(5)的端头与所述压杆(4)相分离。5.根据权利要求1至4任一项所述的磁控溅射装置用消磁片夹取工具，其特征在于，所述夹持部(3)包括第一夹持片(31)和第二夹持片(32)，在所述第一夹持片(31)上靠近所述第二夹持片...

【专利技术属性】
技术研发人员：方筱，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32