金属掩模材料和金属掩模制造技术

[课题]提供能够提高蚀刻加工精度、且能够以良好的精度检测自身缺陷的金属掩模材料和金属掩模。[解决手段]金属掩模材料，其由Fe‑Ni系合金的轧制板形成，所述Fe‑Ni系合金的轧制板包含总计30~45质量%的Ni和Co，其中含有0~6质量%的Co，且剩余部分由Fe和无法避免的杂质构成，厚度t大于0.08mm，沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS‑B0601测定的算术平均粗糙度Ra为0.01~0.20μm，并且，沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS‑Z8741测定的60度光泽度G60为200~600。

Metal mask material and metal mask

[subject] to provide metal mask materials and metal masks that can improve etching accuracy and can detect their defects with good accuracy. [means] to solve the metal mask material, formed by rolling plate Fe Ni alloy plate rolling, the Fe Ni alloy containing the total 30~45 mass% Ni and Co, which contains 0~6 mass% Co, and the remaining part of the impurity by Fe and cannot be avoided, the thickness of greater than t 0.08mm, along the vertical direction parallel to the direction of rolling and rolling according to the JIS B0601 determination of the arithmetic average roughness Ra is 0.01~0.20 m, and along the rolling direction and the vertical direction parallel rolling 60 degrees according to the G60 JIS Z8741 gloss is measured by 200~600.

【技术实现步骤摘要】
金属掩模材料和金属掩模
本专利技术涉及有机EL显示器的制造等中使用的金属掩模材料和金属掩模。
技术介绍
平板显示器中，与现在主流的液晶显示器相比，有机EL显示器具有下述特征：由于结构简单，因此可以使得产品更薄；快速变化的影像的显示流畅；还有视野角宽等。该有机EL显示器已在便携终端等小型设备中量产化，作为下一代显示器的主力，在大型显示器中的实用化得以推进。作为制作有机EL显示器的EL(发光)层的方法，大致分为蒸镀法和印刷法。蒸镀法是使在真空中加热、蒸发的EL物质以薄层的形式附着于基板的表面的方法。此外，印刷法是通过在基板的表面上印刷EL层从而进行制作的方法。蒸镀法中进一步存在发出RGB(红绿蓝)三色光的类型和使EL层发出白色光的类型。蒸镀法中，为了以规定的图案在基板的规定位置处制作EL层，存在在蒸镀源与基板之间设置金属掩模的彩色图案形成(colorpatterning)工序。金属掩模由具有与EL层的图案相对应的开口部的金属制的板或箔形成。从蒸镀源蒸发而脱离至真空中的EL物质到达金属掩模，穿过金属掩模的开口部的EL物质附着于基板，从而形成具有规定图案的EL层。然而，在彩色图案形成工序中，由于从蒸镀源发出的辐射热、进而温度高的有机材料附着在金属掩模表面上，从而导致存在金属掩模的温度上升至100℃左右的情况，为了保持基板上的成型位置的精度，对于金属掩模而言需要使用具有与基板相比同等程度以下的热膨胀的材料。特别地，对于发出RGB三色光的类型中的EL层的图案，需要分别形成RGB的三色，因此重要的是抑制因金属掩模的膨胀而导致的成型位置的偏离。对于金属掩模的厚度，在发出RGB三色光的类型中主要使用0.02~0.08mm的箔，在使EL层发出白色光的类型中主要使用0.08~0.25mm的板。然而，如果金属掩模的图案形成变得微细，则掩模的开口部所夹持的掩模部分变细，从而强度降低，存在弯曲而导致开口部形状变形的风险。因此，作为兼顾金属掩模的强度和开孔部的形状精度的方法，公开了部分设置加固金属线从而防止厚度薄的金属掩模的弯曲的技术(专利文献1)、使开孔形成层变薄并将其与另外的支持层相接合从而制作一片金属掩模的技术(专利文献2、3)。此外，公开了控制表面粗糙度从而提高蚀刻加工精度的技术(专利文献4)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平10-50478号公报专利文献2：日本专利第4126648号公报专利文献3：日本特开2004-039628号公报专利文献4：日本特开2010-214447号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在专利文献1中公开的技术的情况中，由于有机材料不会附着于成为加固金属线的阴影的部分，因此发生与阴影效应类似的现象，形成于基板上的有机材料的形状精度变差。此外，在专利文献2、3中公开的技术的情况中，为了制造一片金属掩模而需要两片金属箔，进一步需要以良好的精度将这些金属箔接合，因此金属掩模的成型工序变得复杂，制造成本上升。另一方面，在通过蚀刻等方法由金属掩模材料制造金属掩模的工序中，通过目视或CCD照相机等监测金属掩模材料的表面有无缺陷，将有缺陷的金属掩模材料从工序中剔除。此外，对于金属掩模的开口部以外的部位，虽然未到达基板上的被遮蔽的蒸镀物质会沉积，但通过洗涤从而可以作为金属掩模重复使用。针对这样的重复使用的金属掩模的表面有无缺陷，也通过目视或CCD照相机等进行监测，将有缺陷的金属掩模从工序中剔除。作为金属掩模的缺陷，可以举出在表面上附着的异物、局部的变色和光泽不良，对于这些缺陷中无法通过目视确认的微小缺陷，通过利用CCD照相机等对表面进行放大拍摄而得到的图像来进行检查。可以容易地检测缺陷之中色调与金属掩模材料不同的异物和局部变色。此外，对于色调与金属掩模材料相同的异物、例如金属片，与色调不同的异物、局部变色相比变得难以检测。进一步，对于局部的光泽不良，由于轮廓不清晰、且色调与金属掩模材料相同，因此变得更难以在CCD照相机图像上进行识别。因此，金属掩模材料的表面的凹凸和纹理明显时，通过目视检查难以检测上述局部的光泽不良等轻微且微弱的缺陷，进一步，即使是CCD照相机图像，也存在也无法检测的风险，对于这一点，专利文献4记载的技术尽管通过使表面粗糙度适度变粗糙从而提高蚀刻加工精度，但由于表面的凹凸而导致在通过CCD照相机图像以良好的精度检测上述局部的光泽不良方面不充分。因此，本专利技术的课题在于，提供能够提高蚀刻加工精度、且能够以良好的精度检测自身缺陷的金属掩模材料和金属掩模。用于解决课题的手段本专利技术人等反复进行了深入研究，结果发现，通过将60度光泽度G60控制在规定的范围，可以具有能够提高蚀刻加工精度、且能够以良好的精度检测自身缺陷的适度的表面凹凸。即，本专利技术的金属掩模材料由Fe-Ni系合金的轧制板形成，所述Fe-Ni系合金的轧制板包含总计30~45质量%的Ni和Co，其中含有0~6质量%的Co，且剩余部分由Fe和无法避免的杂质构成，厚度t大于0.08mm，沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS-B0601测定的算术平均粗糙度Ra为0.01~0.20μm，并且，沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS-Z8741测定的60度光泽度G60为200~600。此外，本专利技术的金属掩模为使用前述金属掩模材料而成。专利技术的效果根据本专利技术，可以提供能够提高蚀刻加工精度、且能够以良好的精度检测自身缺陷的金属掩模材料和金属掩模。附图说明图1是显示精轧后的因晶粒截断而形成的纹理的光学显微镜图像的图。具体实施方式以下，对本专利技术的实施方式所涉及的金属掩模材料进行说明。应予说明，在没有特别说明的情况下，“%”表示“质量%”。(合金成分)对于有机EL的基板，使用玻璃，需要调整合金成分以使得设置于基板上的金属掩模的热膨胀系数达到玻璃的热膨胀系数10×10-6/℃以下。热膨胀系数可以通过在Fe中添加规定浓度的Ni和/或Co来进行调整，形成Ni和Co总计为30~45%、且Co为0~6%的Fe-Ni系合金。如果Ni和Co的总计浓度和Co的浓度偏离该范围，则金属掩模的热膨胀系数变得大于玻璃的热膨胀系数，因此是不合适的。优选Ni和Co总计为34~38%、且Co为0~6%。(厚度)本专利技术的金属掩模材料的厚度大于0.08mm，优选为0.08~0.25mm，更优选为0.10~0.20mm。如果金属掩模材料的厚度为0.08mm以下，则因有机材料的沉积而导致在金属掩模中容易产生应变或变形，因此存在形成于基板上的有机材料的位置精度差的情况。如果金属掩模材料的厚度大于0.25mm，则存在显著地发生下述所谓阴影效应的情况：在远离蒸镀源的位置，有机材料的入射角变浅时开孔部壁成为阴影，从而使有机材料的图案形状成型为与开孔部不同的形状，变得难以保持形状精度。(算术平均粗糙度Ra)对本专利技术的金属掩模材料的表面沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS-B0601测定的算术平均粗糙度Ra为0.01~0.20μm，优选为0.01~0.08μm。如果Ra小于0.01μm从而过度地降低表面粗糙度，则由于表面平滑，因此容易在通过蚀刻而由金属掩模材料制造金属掩模的生产线的材料导引辊(送箔辊、送板辊)处发生滑动从而产生损伤。此外，如果Ra大于0.20μm从而过度增大表面粗糙度，则变得本文档来自技高网...

【技术保护点】
金属掩模材料，其由Fe‑Ni系合金的轧制板形成，所述Fe‑Ni系合金的轧制板包含总计30~45质量%的Ni和Co，其中含有0~6质量%的Co，且剩余部分由Fe和无法避免的杂质构成，厚度t大于0.08mm，沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS‑B0601测定的算术平均粗糙度Ra为0.01~0.20μm，并且，沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS‑Z8741测定的60度光泽度G60为200~600。

【技术特征摘要】
2015.11.04 JP 2015-2168491.金属掩模材料，其由Fe-Ni系合金的轧制板形成，所述Fe-Ni系合金的轧制板包含总计30~45质量%的Ni和Co，其中含有0~6质量%的Co，且剩余部分由Fe和无法避免的杂质构...

【专利技术属性】
技术研发人员：近藤祐幸，
申请(专利权)人：JX金属株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP