一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机技术方案

本实用新型专利技术提出一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，包括：外置磁带机；SCSI接口、68针转50针接头和50针SCSI数据线，连接于所述外置磁带机；开关模块，设置于所述外置磁带机上。本实用新型专利技术提出的应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，采用外置磁带机并通过转接头连接于光刻机主电脑，可兼容DDS2，DDS3和DDS4磁带，同时在外置磁带机上设置开关模块，通过不同的开关设置兼容多型号光刻机主电脑，使得特种光刻机系统或其他DEC小型机中所需的磁带机可以兼容使用。

A compatible, replaceable tape drive for lithography systems

The utility model provides a compatible application in lithography system can replace the tape recorder, which comprises: an external tape machine; SCSI interface, 68 pin 50 pin connector and 50 pin SCSI data cable connected to the external tape machine; switch module is arranged on the external tape machine. The utility model provides a compatible application in lithography system can replace the tape recorder, the external tape machine and connected to the main computer through photoetching machine adapter, compatible with DDS2, DDS3 and DDS4 tape, simultaneous switching module is arranged on the external tape machine, through different switch settings compatible with multiple types of lithography the main computer, making special lithography system or other needed in small DEC tape can be compatible with.

【技术实现步骤摘要】
一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机
本技术涉及半导体集成电路制造领域，且特别涉及一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机。
技术介绍
光刻机系统中的磁带机主要用于机台重要数据的大量复制和备份，对设备的安装、调试、使用和维护管理起着重要作用，而且操作使用简便易行。但一旦光刻机使用年久，磁带机常会故障和损坏，而备件经常停产和缺货，维修的零件也稀缺，价高且供货周期很长。因此使用现有兼容替代备件就是一个必须课题。
技术实现思路
本技术提出一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，使得特种光刻机系统或其他DEC小型机中所需的磁带机可以兼容使用。为了达到上述目的，本技术提出一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，包括：外置磁带机；SCSI接口、68针转50针接头和50针SCSI数据线，连接于所述外置磁带机；开关模块，设置于所述外置磁带机上。进一步的，所述外置磁带机兼容DDS2，DDS3和DDS4磁带。进一步的，所述外置磁带机为兼容型DDS4外置磁带机。进一步的，所述50针SCSI数据线连接于光刻机主电脑。进一步的，所述开关模块具有多个开关，所述多个开关通过设置兼容多型号光刻机主电脑。本技术提出的应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，采用外置磁带机并通过转接头连接于光刻机主电脑，可兼容DDS2，DDS3和DDS4磁带，同时在外置磁带机上设置开关模块，通过不同的开关设置兼容多型号光刻机主电脑，使得特种光刻机系统或其他DEC小型机中所需的磁带机可以兼容使用。附图说明图1所示为本技术较佳实施例的兼容可替代型磁带机结构示意图。具体实施方式以下结合附图给出本技术的具体实施方式，但本技术不限于以下的实施方式。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参考图1，图1所示为本技术较佳实施例的兼容可替代型磁带机结构示意图。本技术提出一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，包括：外置磁带机100；SCSI接口210、68针转50针接头220和50针SCSI数据线230，连接于所述外置磁带机100；开关模块300，设置于所述外置磁带机100上。根据本技术较佳实施例，所述外置磁带机100兼容DDS2，DDS3和DDS4磁带。所述外置磁带机100为兼容型DDS4外置磁带机。选用HPSureStoreDAT40eC5687C外置磁带机更换原机CompaqDECTLZ09-VA内置磁带机。所述50针SCSI数据线230连接于光刻机主电脑。所述开关模块300具有多个开关，所述多个开关通过设置兼容多型号光刻机主电脑，采用新的开关设置还可以提升磁带机存储性能。综上所述，本技术提出的应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，采用外置磁带机并通过转接头连接于光刻机主电脑，可兼容DDS2，DDS3和DDS4磁带，同时在外置磁带机上设置开关模块，通过不同的开关设置兼容多型号光刻机主电脑，使得特种光刻机系统或其他DEC小型机中所需的磁带机可以兼容使用。虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本技术。本技术所属
中具有通常知识者，在不脱离本技术的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本技术的保护范围当视权利要求书所界定者为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，其特征在于，包括：外置磁带机；SCSI接口、68针转50针接头和50针SCSI数据线，连接于所述外置磁带机；开关模块，设置于所述外置磁带机上。

【技术特征摘要】
1.一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，其特征在于，包括：外置磁带机；SCSI接口、68针转50针接头和50针SCSI数据线，连接于所述外置磁带机；开关模块，设置于所述外置磁带机上。2.根据权利要求1所述的应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，其特征在于，所述外置磁带机兼容DDS2，DDS3和DDS4磁带。3.根据权利要求1所述的应用于光...

【专利技术属性】
技术研发人员：张泳，
申请(专利权)人：上海精典电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31