一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备制造技术

本申请提供了一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备，用以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，本申请提供的一种导向管，用于薄膜厚度传感器，所述导向管中空，包括：蒸镀物入口和蒸镀物出口；其中，所述蒸镀物入口的截面积大于所述蒸镀物出口的截面积。

Guiding tube, film thickness sensor and evaporation equipment

This application provides a guide pipe, film thickness sensor and coating equipment, in order to decrease due to evaporation accumulation at the entrance of the guide tube affects the film thickness detection accuracy, a guide tube is provided, for film thickness sensor, the guide pipe is hollow, including: steam plating material outlet the entrance and steaming; among them, the cross-sectional area of the evaporant entrance sectional area is larger than that of the evaporant export.

【技术实现步骤摘要】
一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备
本申请涉及蒸镀工艺
，特别是涉及一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备。
技术介绍
目前，蒸镀工艺广泛应用于各种产品的制造中，蒸镀是在真空中将待成膜的物质进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出形成薄膜的过程。例如，有机电致发光显示器件(OrganicElectroluminesenceDisplay,OLED)的制作过程中，需要蒸镀多层有机材料薄膜。在蒸镀的过程中，需要使用薄膜厚度传感器实时检测薄膜的厚度，从而对蒸发进行控制。具体地，薄膜厚度传感器中设置有晶体振子，由于晶体振子具有谐振频率随其质量变化的特性，在蒸镀过程中晶体振子谐振频率的变化反映了晶体振子上薄膜厚度的变化，因此检测晶体振子的谐振频率即可得到薄膜厚度。如图1所示，通常薄膜厚度传感器包括：导向管1、晶体振子2和用于检测晶体振子2谐振频率的检测装置3；其中，导向管1通常为中空圆柱形，包括：蒸镀物入口11和蒸镀物出口12，晶体振子2设置在导向管1的蒸镀物出口12处。在OLED蒸镀工艺中，当使用薄膜厚度传感器长时间检测薄膜厚度，蒸镀物容易堆积在导向管1的蒸镀物入口处(简称导向管入口处)，使得晶体振子可以感应的蒸镀物减少，从而造成检测的薄膜厚度不准确。基于此，如何减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本申请实施例提供了一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备，用以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响。本申请实施例提供的一种导向管，用于薄膜厚度传感器，所述导向管中空，包括：蒸镀物入口和蒸镀物出口；其中，所述蒸镀物入口的截面积大于所述蒸镀物出口的截面积。本申请实施例提供的导向管，由于导向管的蒸镀物入口的截面积大于该导向管的蒸镀物出口的截面积，这样，使用该导向管的薄膜厚度传感器在检测薄膜厚度时，可以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对晶体振子可以感应的蒸镀物的影响，从而减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，提高了薄膜厚度检测的准确度。较佳地，从所述蒸镀物入口到所述蒸镀物出口，所述导向管的截面积逐渐减小。较佳地，所述导向管分为两段，从所述蒸镀物入口到所述蒸镀物出口，靠近所述蒸镀物入口的一段导向管的截面积与所述蒸镀物入口的截面积相同，另一段导向管的截面积逐渐减小。较佳地，所述导向管分为两段，从所述蒸镀物入口到所述蒸镀物出口，靠近所述蒸镀物入口的一段导向管的截面积逐渐减小到与所述蒸镀物出口的截面积相同，另一段导向管的截面积与所述蒸镀物出口的截面积相同。较佳地，所述导向管分为两段，从所述蒸镀物入口到所述蒸镀物出口，靠近所述蒸镀物入口的一段导向管的截面积逐渐增大，另一段导向管的截面积逐渐减小。较佳地，所述导向管沿所述蒸镀物入口的中心点与所述蒸镀物出口的中心点连线呈轴对称。由于导向管沿蒸镀物入口的中心点与蒸镀物出口的中心点连线呈轴对称，这样便于生产。较佳地，所述导向管的截面为圆形、椭圆形或方形。本申请实施例还提供了一种薄膜厚度传感器，包括：本申请任意实施例提供的导向管，设置在所述导向管的蒸镀物出口处的晶体振子，以及与所述晶体振子连接的用于检测所述晶体振子谐振频率的检测装置。由于本申请实施例提供的薄膜厚度传感器采用上述的导向管，而导向管的蒸镀物入口的截面积大于该导向管的蒸镀物出口的截面积，这样，在检测薄膜厚度时，可以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对晶体振子可以感应的蒸镀物的影响，从而减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，提高了薄膜厚度检测的准确度。本申请实施例还提供了一种蒸镀设备，包括：至少一个蒸发源和本申请任意实施例提供的薄膜厚度传感器；其中，所述薄膜厚度传感器的一根导向管的蒸镀物入口朝向一个所述蒸发源的蒸发面。由于本申请实施例提供的蒸镀设备采用上述的薄膜厚度传感器，同时薄膜厚度传感器采用上述的导向管，而导向管的蒸镀物入口的截面积大于该导向管的蒸镀物出口的截面积，这样，在检测薄膜厚度时，可以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对晶体振子可以感应的蒸镀物的影响，从而减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，提高了薄膜厚度检测的准确度。较佳地，所述蒸发源为多个且排列成排，所述导向管的截面为椭圆形，所述导向管的蒸镀物入口的短轴的长度不大于该导向管的蒸镀物入口所朝向的蒸发源的蒸发面沿所述多个蒸发源的排列方向的最大长度。上述蒸镀设备，由于导向管的蒸镀物入口的短轴的长度不大于该导向管的蒸镀物入口所朝向的蒸发源的蒸发面沿所述多个蒸发源的排列方向的最大长度，这样，使用该导向管的薄膜厚度传感器在检测薄膜厚度时，可以避免邻近蒸发源的蒸镀物对该薄膜厚度传感器产生影响，因此，可以提高薄膜厚度检测的准确度。附图说明图1为现有技术中薄膜厚度传感器的结构示意图；图2为本申请实施例一提供的导向管的结构示意图；图3为本申请实施例二提供的导向管的结构示意图；图4为本申请实施例三提供的导向管的结构示意图；图5为本申请实施例四提供的导向管的结构示意图；图6为本申请实施例提供的一种薄膜厚度传感器的结构示意图；图7为本申请实施例提供的一种蒸镀设备的结构示意图；图8为本申请实施例提供的一种蒸镀设备中蒸发源与导向管的蒸镀物入口的俯视图；图9为本申请实施例提供的另一种蒸镀设备中蒸发源与导向管的蒸镀物入口的俯视图。具体实施方式本申请实施例提供了一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备，用以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响。下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。需要说明的是，本申请附图中各器件的厚度和形状不反映真实比例，目的只是示意说明本申请内容。实施例一：参见图2，本申请实施例一提供的一种导向管，用于薄膜厚度传感器，导向管中空，包括：蒸镀物入口11和蒸镀物出口12；其中，蒸镀物入口11的截面积大于蒸镀物出口12的截面积，从蒸镀物入口11到蒸镀物出口12，该导向管的截面积逐渐减小。由于导向管的蒸镀物入口11的截面积大于该导向管的蒸镀物出口12的截面积，这样，使用该导向管的薄膜厚度传感器在检测薄膜厚度时，可以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对晶体振子可以感应的蒸镀物的影响，从而减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，提高了薄膜厚度检测的准确度。其中，导向管的截面可以为圆形、椭圆形或方形等，本申请实施例对此并不进行限定。若导向管的截面为圆形，上述蒸镀物入口11的截面积大于蒸镀物出口12的截面积，从蒸镀物入口11到蒸镀物出口12，该导向管的截面积逐渐减小，即蒸镀物入口11的口径大于蒸镀物出口12的口径，从蒸镀物入口11到蒸镀物出口12，该导向管的口径逐渐减小，如图2所示。在一较佳实施方式中，如图2所示，导向管沿蒸镀物入口11的中心点与蒸镀物出口12的中心点连线13呈轴对称。由于导向管沿蒸镀物入口11的中心点与蒸镀物出口12的中心点连线13呈轴对称，这样便于生产。实施例二：本申请实施例二提供的导向管与本申请实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种导向管，用于薄膜厚度传感器，其特征在于，所述导向管中空，包括：蒸镀物入口和蒸镀物出口；其中，所述蒸镀物入口的截面积大于所述蒸镀物出口的截面积。

【技术特征摘要】
1.一种导向管，用于薄膜厚度传感器，其特征在于，所述导向管中空，包括：蒸镀物入口和蒸镀物出口；其中，所述蒸镀物入口的截面积大于所述蒸镀物出口的截面积。2.根据权利要求1所述的导向管，其特征在于，从所述蒸镀物入口到所述蒸镀物出口，所述导向管的截面积逐渐减小。3.根据权利要求1所述的导向管，其特征在于，所述导向管分为两段，从所述蒸镀物入口到所述蒸镀物出口，靠近所述蒸镀物入口的一段导向管的截面积与所述蒸镀物入口的截面积相同，另一段导向管的截面积逐渐减小。4.根据权利要求1所述的导向管，其特征在于，所述导向管分为两段，从所述蒸镀物入口到所述蒸镀物出口，靠近所述蒸镀物入口的一段导向管的截面积逐渐减小到与所述蒸镀物出口的截面积相同，另一段导向管的截面积与所述蒸镀物出口的截面积相同。5.根据权利要求1所述的导向管，其特征在于，所述导向管分为两段，从所述蒸镀物入口到所述蒸镀物出口，靠近所述蒸镀物入口的一段导向管的截面积...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁志凡，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11