工件的平面磨削方法和平面磨床技术

本发明专利技术的课题在于，能以适度的高负荷有效地对硬脆材料、难削材料、其它工件进行磨削。在通过砂轮而对工件进行平面磨削时，在监视磨削负荷的同时，在磨削负荷上升时，降低砂轮的切入速度，在磨削负荷降低时，增加切入速度。对应于磨削负荷的多个中的各负荷阈值，设定磨削负荷越大，砂轮的切入速度越慢的各切入速度，在以规定速度而开始磨削后，每当磨削负荷上升、下降到规定的负荷阈值时，使砂轮减速、增速到相应的切入速度。

Plane grinding method of workpiece and surface grinder

The object of the invention is to effectively grind hard and brittle materials, hard cutting materials and other workpieces at moderate high load. While grinding the workpiece by grinding wheel, the cutting speed of the grinding wheel is reduced and the cutting speed is increased when the grinding load is increased while the grinding load is monitored. The multiple load threshold corresponding to the grinding load, set higher grinding load, cutting speed of the grinding wheel the slower the starting speed, in the prescribed speed began after grinding, when grinding load rise and fall to the load threshold specified when the grinding wheel speed, and the speed of growth to cut.

【技术实现步骤摘要】
工件的平面磨削方法和平面磨床
本专利技术涉及对工件进行平面磨削的工件的平面磨削方法和平面磨床。
技术介绍
在具有杯型的砂轮的平面磨床中，在磨削用于半导体元件的制造的硅晶片等的硬脆材料的工件时，在监视砂轮轴驱动电动机的负荷电流的同时，以规定的切入速度使砂轮轴的前端的砂轮进行切削，进行旋转台上的工件的横向进给磨削，在因砂轮的孔眼的堵塞使砂轮轴驱动电动机的负荷电流超过规定阈值时，在使砂轮退避、中断磨削后，再次使砂轮进行切削，与工件接触，由此促进砂轮的自动磨锐作用(专利文献1)。已有技术文献专利文献专利文献1：JP特开2006—35406号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在这样的过去的磨削方法中，以规定的切入速度而使砂轮进行切入，另一方面，在磨削中的砂轮中产生孔眼堵塞时，暂时使砂轮退避以中断磨削，然后，再次使砂轮进行切入，促进砂轮的自动磨锐作用。由此，不能够在砂轮的磨削效率高的高负荷状态对工件进行磨削，另外磨削周期变长，难以在短时间以良好的效率对工件进行磨削。另外，同样在专利文献1的磨削法以外的过去的磨削法中，具有在磨削时，使砂轮相对工件以一定的切入速度进行切入的磨削法；对应于砂轮的切入运送量，在依次减速方向改变粗磨削进给、中磨削进给，精磨削进给与进给速度关系的同时，进行磨削的磨削法(在下面称为“普通磨削法”)。但是，在前者的磨削法中，在磨削中，砂轮的磨损量与工件的去除量以及砂轮的切入量之间的平衡遭到破坏，磨削负荷急剧地上升，或仅仅砂轮发生磨损，导致难以以良好的效率稳定地在砂轮的磨削效率良好的高负荷状态对工件进行磨削。此外，在后者的磨削法中，因下述那样的理由，无法以良好的效率，稳定地在砂轮的磨削效率良好的高负荷状态对工件进行磨削。特别是在对硬度高、且脆硬脆材料的工件进行磨削时，由于按照根据砂轮的切入而不处于过负荷状态的方式改变砂轮的进给速度并对工件进行磨削，故必须使砂轮的切入速度减慢，耗费长的时间进行磨削。然而，在这样的硬脆材料的场合，于磨削中多次产生砂轮表面的自动磨锐作用(孔眼替换)，磨削负荷大大地上下变化。其原因在于：相对在自动磨锐作用前，砂轮的切入感差的情况，如果一旦产生砂轮的自动磨锐作用，则砂轮的切刃增加，切入感突然地变得良好。其结果是，由于砂轮和工件的摩擦系数变化，磨削负荷大大地上下变化，故无法以磨削效率良好的高负荷，在短时间，以良好的效率稳定地进行磨削。另外，因在自动磨锐作用中，摩擦热的增加造成的砂轮、工件、机械的急剧的热位移，在许多场合，砂轮轴与旋转台的轴向的距离变小。这一点与砂轮的切入速度上升的场合相同，是磨削负荷剧烈地上升的主要原因。另外，如果磨削负荷过度上升，则具有检测异常的磨削负荷，机械结束加工，或在最差的场合，砂轮、工件损伤，或机械损伤等的危险。本专利技术的目的在于，针对这样的过去的问题，提供工件的平面磨削方法和平面磨床，其中，能以适合的高负荷有效地对硬脆材料、其它工件进行磨削，并且可防止磨削负荷的急剧上升等造成的工件、砂轮以及机械的损伤，另外，可减少砂轮的磨损。用于解决课题的技术方案本专利技术的工件的平面磨削方法涉及下述的方法，在该方法中，在通过砂轮而对工件进行平面磨削时，在监视磨削负荷的同时，伴随磨削负荷的上升，降低砂轮的切入速度。另外，另一本专利技术的工件的平面磨削方法涉及下述的方法，在该方法中，在通过砂轮对工件进行平面磨削时，在监视磨削负荷的同时，在磨削负荷上升时，降低砂轮的切入速度，在磨削负荷下降时，增加砂轮的切入速度。此外，也可对应于磨削负荷的多个负荷阈值的每个，事先设定磨削负荷越大、砂轮的切入速度越慢的各切入速度，在以规定速度而开始磨削后，每次在磨削负荷上升、下降到规定的负荷阈值时，将砂轮降低、增加到对应的切入速度。还有，可事先设定高于砂轮的切入时的最大的负荷阈值的退回负荷阈值，在磨削负荷超过退回负荷阈值时，在以规定的退回速度使砂轮退回的同时，进行磨削。也可在无火花磨削前反复进行砂轮的切入与退回。再有，也可在磨削负荷超过速度限制执行用的负荷阈值时，即使在之后，磨削负荷降低到规定的切入速度的负荷阈值的情况下，仍以慢于规定的切入速度的限制切入速度使砂轮进行切入，不加速到限制切入速度以上的程度。本专利技术的平面磨床涉及下述的平面磨床，该平面磨床通过砂轮对工件进行横向给进磨削，该平面磨床包括：磨削负荷测定机构，该磨削负荷测定机构测定磨削中的砂轮的磨削负荷；速度设定机构，该速度设定机构对应于多个负荷阈值设定多个砂轮的切入速度；速度控制机构，该速度控制机构按照下述方式以各负荷阈值为基准，以与各负荷阈值相对应的切入速度对砂轮的速度进行增减，该方式为：在比较磨削中的磨削负荷与负荷阈值的同时，伴随磨削负荷的上升、下降，砂轮的切入速度进行增速、减速。专利技术的效果按照本专利技术，具有下述的优点，即，能以适合的高负荷有效地对硬脆材料、其它工件进行磨削，并且可防止磨削负荷的急剧上升等造成的工件、砂轮以及机械的损伤，另外，可减少砂轮的磨损。附图说明图1为表示本专利技术的第1实施方式的平面磨床的主视图；图2为该主要部分的立体图；图3为该控制系统的方框图；图4为其速度表格；图5为表示该磨削动作的流程图；图6为表示该磨削负荷的变化等的图；图7为表示本专利技术的第2实施方式的控制系统的方框图；图8为该磨削动作的流程图；图9为其速度表格；图10为表示该磨削负荷的变化的图；图11为表示本专利技术的第3实施方式的控制系统的方框图；图12为其第1速度表格；图13为其第2速度表格；图14为表示本专利技术的第4实施方式的速度表格；图15为表示本专利技术的第5实施方式的方框图；图16为该速度变更的波形图。具体实施方式下面根据附图，对本专利技术的实施方式进行具体描述。图1～图6表示本申请专利技术的第1实施方式的例子。在通过杯型的砂轮1对蓝宝石晶片等的硬脆材料的工件W进行横向给进磨削时，采用像图1、图2所示的那样的平面磨床2。该平面磨床2像图1、图2所示的那样，包括：旋转台3，在该旋转台3的顶面上自由装卸地安装有工件W；电动机等的工件驱动机构4，该工件驱动机构4围绕上下方向的轴心，于a箭头方向而旋转驱动该旋转台3；砂轮轴5，该砂轮轴5以可自由上下运动地设置于旋转台3上；电动机等的砂轮驱动机构6，该砂轮驱动机构6围绕上下方向的轴线，于b箭头方向旋转驱动砂轮轴5；砂轮1，该砂轮1自由装卸地安装于砂轮轴5的底端，并且通过b箭头方向的旋转，对旋转台3上的工件W进行平面磨削；砂轮进给机构7，该砂轮进给机构7经由砂轮轴5，沿上下方向的切入方向c和退回方向d进给砂轮1。另外，旋转台3、砂轮1的旋转方向是任意的。图3表示控制平面磨床2的磨削动作的控制系统。该控制系统包括NC控制机构9，以及比如恒定尺寸控制机构10和砂轮切入退回控制机构11，该NC控制机构9控制与平面磨床2的横向进给磨削有关的普通的磨削动作。恒定尺寸控制机构10通过尺寸测定机构12，测定磨削中的工件W的尺寸，在处于规定的无火花磨削时期时，将无火花磨削指令输出给砂轮进给机构7，按照通过无火花磨削，将工件W精加工到规定尺寸精度的方式进行控制。另外，如果砂轮进给机构7具有无火花磨削指令，则按照在该位置，砂轮1连续进行工件W的加工的方式停止砂轮轴5的进给。在没有恒定尺寸控制机构10的场合，也可从工件W的磨削开始，到达规定的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工件的平面磨削方法，其特征在于，在通过砂轮对工件进行平面磨削时，在监视磨削负荷的同时，伴随磨削负荷的上升，降低砂轮的切入速度。

【技术特征摘要】
2015.09.16 JP 2015-1831341.一种工件的平面磨削方法，其特征在于，在通过砂轮对工件进行平面磨削时，在监视磨削负荷的同时，伴随磨削负荷的上升，降低砂轮的切入速度。2.一种工件的平面磨削方法，其特征在于，在通过砂轮对工件进行平面磨削时，在监视磨削负荷的同时，在磨削负荷上升时，降低砂轮的切入速度，在磨削负荷下降时，增加砂轮的切入速度。3.根据权利要求1或2所述的工件的平面磨削方法，其特征在于，对应于磨削负荷的多个负荷阈值的每个，事先设定磨削负荷越大、砂轮的切入速度越慢的各切入速度，在以规定速度开始磨削后，每次在磨削负荷上升、下降到规定的负荷阈值时，将砂轮降低、增加到对应的切入速度。4.根据权利要求1或2所述的工件的平面磨削方法，其特征在于，事先设定高于砂轮的切削时的最大的负荷阈值的退回负荷阈值，在磨削负荷超过退回负荷阈值时，在以规定的退回速度使砂轮退回的同时，进行磨削。5.根据权利要求1或2所述的工件的平面磨削方法，其特征在于，在无火花磨削前，反复进行砂轮的切入与退回。6.根据权利要求1或2所述的工件的平面磨削方法，其特征在于，在磨削负荷超过速度限制执行用的负荷阈值时，即使在之后，磨削负荷降低...

【专利技术属性】
技术研发人员：勇惣一裕，栗冈佳弘，
申请(专利权)人：光洋机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP