物品输送设备制造技术

物品输送设备具备在输送物品的第1区中控制物品输送车的第1控制装置、和在进行物品输送车的调整的第2区中控制物品输送车的第2控制装置。基于来自第1控制装置的脱离指令，需要调整的物品输送车的动作控制部使物品输送车向第2区进入，能够与第1控制装置及第2控制装置排他地进行无线通信的通信控制部将通信对象目的地变更为第2控制装置。动作控制部对来自第2控制装置的调整指令进行应答，使用调整用装置进行调整动作，并将简档存储部的输送用简档信息更新，在更新后，通信控制部将通信对象目的地变更为第1控制装置。

Article handling equipment

The article delivery device has a first control device for controlling an article delivery vehicle in a first zone for conveying articles, and a second control device for controlling an article delivery vehicle in a second zone where an adjustment of an article delivery vehicle is carried out. From the first control device from the instruction based on the need to adjust the goods transport vehicle motion control to transport goods to second vehicles to enter the area, and can change the first control device and a control device 2 exclusive wireless communication communication control unit communication object destination control device second. In response to the motion control department from second adjust instruction control device, using the adjusted motion device, and sending the profile of the storage unit with profile information update, after the update, the communication control unit communication object change of destination first control device.

【技术实现步骤摘要】
物品输送设备
本专利技术涉及物品输送设备，该物品输送设备具备物品输送车和多个载置台，所述多个载置台设在地面侧，所述物品输送车悬挂支承在设置于顶棚的行进轨道上并行进，从作为输送源的载置台向作为输送目的地的载置台输送物品。
技术介绍
利用悬挂在设于顶棚的轨道上的物品输送车来自动运送物品的物品输送设备已实用化。为了将物品以较高的精度移载，具体而言，为了将物品在输送源上精度良好地保持并输送，并精度良好地载置到输送目的地的既定位置，希望精度良好地调整物品输送车的停止位置及支承物品的支承部进行支承动作的位置。在日本特开2005－170544号公报（专利文献1）中，公开了对这样的停止位置及动作位置进行修正的技术。在专利文献1中，使用位置修正器和修正薄片，所述位置修正器与输送对象的物品形状相同且在内部具备照相机及图像处理装置，所述修正薄片载置在载置物品的载置台上。保持着位置修正器的物品输送车在相对于载置有修正薄片的载置台移载该位置修正器时，用装备在位置修正器上的照相机对修正薄片进行摄影。将摄影结果经过由图像处理装置进行的处理而向物品输送车提供。物品输送车存储有作为基准的图像信息，检测从位置修正器提供的修正薄片的摄影信息与作为基准的图像信息的差异作为位置偏差量。将检测出的位置偏差量作为修正数据存储。在以后的输送时，能够使用该修正数据将停止位置修正，并精度良好地输送移载物品（专利文献1：［0022］～［0045］等）。在专利文献1中，记载有作业者使位置修正器降下来固定到基准架台的正规位置那样的方法，作业者需要参与调整作业（［0039］等）。通常由人力进行的调整作业有前置时间变长的趋向。由于在调整中不能进行由调整对象的物品输送车进行的物品的输送，所以物品输送设备的运行率下降。此外，如果单纯地使调整自动化，则例如在专利文献1中控制系统整体的系统控制器（专利文献1：［0027］，参照图4等）还控制调整对象的物品输送车，由此系统控制器的负荷增大，也有可能带来运行率的下降。
技术实现思路
鉴于上述背景，希望提供一种在抑制物品输送设备整体的运行率的下降的同时、能够有效率地进行物品输送车的调整的技术。作为1个技术方案，鉴于上述情况的物品输送设备具备：行进轨道，其设置在顶棚上；多个载置台，其沿着前述行进轨道设在地面侧；物品输送车，其被前述行进轨道悬挂支承，沿着由前述行进轨道形成的行进路径行进，从作为输送源的前述载置台向作为输送目的地的前述载置台输送物品；该物品输送设备具备：第1区，在该第1区中由前述物品输送车输送前述物品；第2区，该第2区设在与前述第1区不同的区域中，在其中进行前述物品输送车的调整；调整用装置，其设置在前述第2区中；第1控制装置，其控制前述第1区中的前述物品输送车的动作；第2控制装置，其控制前述第2区中的前述物品输送车的动作；前述行进路径包括设在前述第1区中的第1路径、和相对于前述第1路径分支及合流并设在前述第2区中的第2路径；前述物品输送车具备：通信控制部，其至少能够与前述第1控制装置及前述第2控制装置排他地进行无线通信；动作控制部，其基于来自前述第1控制装置及前述第2控制装置的指令，借助自律控制使前述物品输送车动作；和简档存储部，其存储至少包括用来在各载置台上移载前述物品的位置信息的输送用简档信息；前述第1控制装置向前述物品输送车给出用来使前述物品输送车动作的动作指令；在前述动作指令中，至少包括使前述物品输送的物品输送指令、和使前述物品输送车从前述第1区向前述第2区脱离的脱离指令；基于前述脱离指令，作为需要调整的前述物品输送车的调整对象车的前述动作控制部基于前述脱离指令使该物品输送车向前述第2路径进入，前述调整对象车的前述通信控制部将通信对象目的地从前述第1控制装置变更为前述第2控制装置；前述调整对象车的前述动作控制部对来自前述第2控制装置的调整指令进行应答，使用前述调整用装置进行调整动作，并将前述输送用简档信息更新；前述调整对象车的前述通信控制部在前述输送用简档信息被更新后，将通信对象目的地从前述第2控制装置变更为前述第1控制装置。根据该方案，物品输送设备的区域被划分为输送物品的第1区和进行物品输送车的调整的第2区，并且在各个区中独立地设置控制物品输送车的第1控制装置和第2控制装置。由此，能够在不给物品的输送带来影响的情况下独立且有效率地进行物品输送车的调整。此外，在第1控制装置与物品输送车之间、以及第2控制装置与物品输送车之间进行无线通信，所以能够在不考虑通信配线等的连接的情况下在两个区中控制物品输送车的动作。此外，物品输送车与第1控制装置及第2控制装置排他地进行无线通信，所以即使不具有多个通信机构或通信渠道，也能抑制通信干扰。此外，在接收到脱离指令后，调整对象车的通信对象目的地被从第1控制装置切换为第2控制装置，所以也不会妨碍第1区中的物品的输送。另外，通信控制部也可以仅基于脱离指令来切换通信对象目的地，也可以是在动作控制部使调整对象车进入第2路径后切换通信对象目的地。在后者的情况下，不再是由第1控制装置控制的控制对象的物品输送车不会留在第1区中。因而，更切实地抑制妨碍第1区中的物品的输送的情况。在第2区中，调整对象车按照第2控制装置的调整指令进行调整动作，将输送用简档信息更新。由于作业者不参与调整作业，所以调整的前置时间被缩短，作业者的工作量也被削减。如果调整完成的调整对象车将通信对象目的地从第2控制装置变更为第1控制装置，则该调整对象车能够作为通常的物品输送车，按照由第1控制装置进行的控制迅速地返回第1区来输送物品。这样，根据本方案，能够在抑制物品输送设备整体的运行率的下降的同时，有效率地进行物品输送车的调整。物品输送设备的进一步的特征和优点根据参照附图说明的关于实施方式的以下的记载会变得明确。附图说明图1是示意地表示物品输送设备的结构的图。图2是分支部的放大图。图3是表示顶棚输送车的侧视图。图4是示意地表示物品输送设备及顶棚输送车的系统结构的块图。图5是表示顶棚输送车及支承台的侧视图。图6是表示顶棚输送车及支承台的侧视图。图7是示意地表示物品输送设备的系统结构的说明图。图8是表示检查台的配置例的侧视图。图9是表示载置在检查台上的调整用单元与顶棚输送车的关系的侧视图。图10是表示悬挂支承的调整用单元与支承台的关系的侧视图。图11是表示调整实施时的调整用载置面与调整用单元的位置关系的放大图。图12是输送用简档的生成及更新的示意性的状态变迁图。图13是表示检查台的另一例的侧视图。具体实施方式以下，基于附图说明物品输送设备的实施方式。如图1所示，在本实施方式中，以下述这样的物品输送设备为例进行说明：其在相对于半导体基板进行薄膜形成、光刻、蚀刻等各种各样的处理的多个半导体处理装置（以下称作处理装置2）之间沿着行进路径L输送物品。如图1所示，行进路径L不是仅由1条连续的路径形成的路径，而是将多个路径并联连接形成的路径。因此，在行进路径L中，具有路径分支的分支部J1及路径合流的合流部J2。图2表示行进路径L分支的分支部J1的放大图。行进路径L由设置在顶棚上的行进轨道R（参照图2及图3）形成。在本实施方式中，如图3所示，例示悬挂支承在行进轨道R上的顶棚输送车1作为物品输送车。图3表示顶棚输送车1的侧视图（在与行进方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物品输送设备，具备：行进轨道，所述行进轨道设置在顶棚上；多个载置台，所述多个载置台沿着前述行进轨道设在地面侧；物品输送车，所述物品输送车被前述行进轨道悬挂支承，沿着由前述行进轨道形成的行进路径行进，从作为输送源的前述载置台向作为输送目的地的前述载置台输送物品；其特征在于，具有：第1区，在所述第1区中，由前述物品输送车输送前述物品；第2区，所述第2区设在与前述第1区不同的区域中，在其中进行前述物品输送车的调整；调整用装置，所述调整用装置设置在前述第2区中；第1控制装置，所述第1控制装置控制前述第1区中的前述物品输送车的动作；第2控制装置，所述第2控制装置控制前述第2区中的前述物品输送车的动作；这里，前述行进路径包括设在前述第1区中的第1路径、和相对于前述第1路径分支及合流并且设在前述第2区中的第2路径；前述物品输送车具备：通信控制部，所述通信控制部至少能够与前述第1控制装置及前述第2控制装置排他地进行无线通信；动作控制部，所述动作控制部基于来自前述第1控制装置及前述第2控制装置的指令，借助自律控制使前述物品输送车动作；和简档存储部，所述简档存储部存储至少包括用来在各载置台上移载前述物品的位置信息的输送用简档信息；前述第1控制装置向前述物品输送车给出用来使前述物品输送车动作的动作指令；在前述动作指令中，至少包括使前述物品输送的物品输送指令、和使前述物品输送车从前述第1区向前述第2区脱离的脱离指令；基于前述脱离指令，作为需要调整的前述物品输送车的调整对象车的前述动作控制部基于前述脱离指令使该物品输送车向前述第2路径进入，前述调整对象车的前述通信控制部将通信对象目的地从前述第1控制装置变更为前述第2控制装置；前述调整对象车的前述动作控制部对来自前述第2控制装置的调整指令进行应答，使用前述调整用装置进行调整动作并将前述输送用简档信息更新；前述调整对象车的前述通信控制部在前述输送用简档信息被更新后，将通信对象目的地从前述第2控制装置变更为前述第1控制装置。...

【技术特征摘要】
2015.12.09 JP 2015-2404581.一种物品输送设备，具备：行进轨道，所述行进轨道设置在顶棚上；多个载置台，所述多个载置台沿着前述行进轨道设在地面侧；物品输送车，所述物品输送车被前述行进轨道悬挂支承，沿着由前述行进轨道形成的行进路径行进，从作为输送源的前述载置台向作为输送目的地的前述载置台输送物品；其特征在于，具有：第1区，在所述第1区中，由前述物品输送车输送前述物品；第2区，所述第2区设在与前述第1区不同的区域中，在其中进行前述物品输送车的调整；调整用装置，所述调整用装置设置在前述第2区中；第1控制装置，所述第1控制装置控制前述第1区中的前述物品输送车的动作；第2控制装置，所述第2控制装置控制前述第2区中的前述物品输送车的动作；这里，前述行进路径包括设在前述第1区中的第1路径、和相对于前述第1路径分支及合流并且设在前述第2区中的第2路径；前述物品输送车具备：通信控制部，所述通信控制部至少能够与前述第1控制装置及前述第2控制装置排他地进行无线通信；动作控制部，所述动作控制部基于来自前述第1控制装置及前述第2控制装置的指令，借助自律控制使前述物品输送车动作；和简档存储部，所述简档存储部存储至少包括用来在各载置台上移载前述物品的位置信息的输送用简档信息；前述第1控制装置向前述物品输送车给出用来使前述物品输送车动作的动作指令；在前述动作指令中，至少包括使前述物品输送的物品输送指令、和使前述物品输送车从前述第1区向前述第2区脱离的脱离指令；基于前述脱离指令，作为需要调整的前述物品输送车的调整对象车的前述动作控制部基于前述脱离指令使该物品输送车向前述第2路径进入，前述调整对象车的前述通信控制部将通信对象目的地从前述第1控制装置变更为前述第2控制装置；前述调整对象车的前述动作控制部对来自前述第2控制装置的调整指令进行应答，使用前述调整用装置进行调整动作并将前述输送用简档信息更新；前述调整对象车的前述通信控制部在前述输送用简档信息...

【专利技术属性】
技术研发人员：堀井高宏，藤田心裕，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本,JP