一种管式PECVD设备进料检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种管式PECVD设备进料检测装置，包括进料槽，所述进料槽的左侧设置有进料管，且进料槽的底部设置有入料口，所述入料口内壁的一侧设置有红外发射管，且入料口内壁的另一侧设置有光敏信号接收器，所述进料槽的上方设置有钢化玻璃保护罩，所述钢化玻璃保护罩的外壁上设置有摄像头固定螺纹，且钢化玻璃保护罩的内部设置有红外线摄像头，所述红外线摄像头的上方设置有摄像头旋转把手；本实用新型专利技术当红外发射管开始依次发射信号后，工件随小车推至上料机械手下方待加工时刚好阻隔了发射器的红外线，触发上料机械手的启动开关，光敏信号接收器就能依次接收到信号，也就可以完成自动启动操作。

Feeding detection device for tube type PECVD equipment

The utility model provides a tube type PECVD feed detection device comprises a feed tank, the feed trough are arranged at the left side of the feed pipe, and the feeding groove bottom is provided with a material inlet, wherein the side outlet is arranged on the inner wall of the infrared transmitting tube, and the other side set the outlet wall with a signal receiver, a tempered glass protective cover is arranged above the feeding groove, the outer wall of the glass protective cover is provided with a fixed camera internal thread, and tempered glass protective cover is provided with an infrared camera, a camera rotating handle is arranged above the infrared camera; the the utility model when the infrared emission tube are emitting signals, with the first wheeled workpiece for processing material mechanical men just blocking the infrared transmitter, the trigger on the manipulator start switch, photosensitive The signal receiver can receive the signal in turn, and the automatic start operation can also be completed.

【技术实现步骤摘要】
一种管式PECVD设备进料检测装置
本技术是一种管式PECVD设备进料检测装置，属于PECVD设备领域。
技术介绍
现有技术中，PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD),实验机理：是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。位置检测装置主要用于闭环和半闭环系统，检测装置通过直接或间接测量检测出执行部件的实际的位移量，然后反馈到数控装置，并与指令位移进行比较，如果有差值，就发出运动控制信号，控制数控机床移动部件向消除该差值的方向移动。不断比较指令信号与反馈信号，然后进行控制，直到差值为0，运动停止，增量式检测方式只测量位移增量，每移动一个测量单位就发出一个测量信号。其优点是检测装置比较简单，任何一个对中点都可以作为测量起点。移动距离是靠对测量信号计数后读出的，一旦计数有误，此后的测量结果将全错。另外在发生故障时(如断电等)不能再找到事故前的正确位置，事故排除后，必须将工作台移至起点重新计数才能找到事故前的正确位置。然而现有的管式PECVD设备进料口在使用过程中仍然存在一些不合理的因素，现有的进料口没有检测装置，而且进料口的进料环节是手动控制的，需要人工干预，不能够做到自动化，降低了生产的效率。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种管式PECVD设备进料检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的进料口没有检测装置，而且进料口的进料环节是手动控制的，需要人工干预，不能够做到自动化，降低了生产的效率的问题，本技术使用方便，便于操作，稳定性好，可靠性高。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种管式PECVD设备进料检测装置，包括进料槽，所述进料槽的左侧设置有进料管，且进料槽的底部设置有入料口，所述入料口内壁的一侧设置有红外发射管，且入料口内壁的另一侧设置有光敏信号接收器，所述进料槽的上方设置有钢化玻璃保护罩，所述钢化玻璃保护罩的外壁上设置有摄像头固定螺纹，且钢化玻璃保护罩的内部设置有红外线摄像头，所述红外线摄像头的上方设置有摄像头旋转把手，所述红外发射管、光敏信号接收器和红外线摄像头均与外部控制器电性连接。进一步地，所述进料槽与钢化玻璃保护罩通过摄像头固定螺纹旋合连接。进一步地，所述红外发射管与光敏信号接收器电性连接。进一步地，所述进料槽为密封结构，且进料槽与钢化玻璃保护罩的连接处设置有密封胶圈。进一步地，所述进料管为圆柱形结构。进一步地，所述进料槽的内壁拐角处为平滑曲面结构。本技术的有益效果：本技术的一种管式PECVD设备进料检测装置，进料槽与钢化玻璃保护罩通过摄像头固定螺纹旋合连接之后，钢化玻璃保护罩的拆卸清洗与安装就会更加的方便，而且设置有密封胶圈之后，增加了进料槽与钢化玻璃保护罩的接触面的密封性，使用起来更加的安全放心；当红外发射管开始依次发射信号后，工件随小车推至上料机械手下方待加工时刚好阻隔了发射器的红外线，触发上料机械手的启动开关，光敏信号接收器就能依次接收到信号，也就可以完成自动启动操作；进料槽的内壁拐角处设计为平滑曲面结构，这样的机构在进料时，物料就不会卡在拐角处，使用起来更加的方便快速；红外线摄像头可以时刻的监测到物料的进入情况，使用起来更加的方便。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种管式PECVD设备进料检测装置的结构示意图；图2为本技术一种管式PECVD设备进料检测装置的正视图；图3为本技术一种管式PECVD设备进料检测装置的俯视图；图中：1-进料管、2-红外发射管、3-入料口、4-光敏信号接收器、5-进料槽、6-钢化玻璃保护罩、7-红外线摄像头、8-摄像头旋转把手、9-摄像头固定螺纹。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1、图2和图3，本技术提供一种技术方案：一种管式PECVD设备进料检测装置，包括进料槽5，进料槽5的左侧设置有进料管1，且进料槽5的底部设置有入料口3，入料口3内壁的一侧设置有红外发射管2，且入料口3内壁的另一侧设置有光敏信号接收器4，进料槽5的上方设置有钢化玻璃保护罩6，钢化玻璃保护罩6的外壁上设置有摄像头固定螺纹9，且钢化玻璃保护罩6的内部设置有红外线摄像头7，红外线摄像头7的上方设置有摄像头旋转把手8，红外发射管2、光敏信号接收器4和红外线摄像头7均与外部控制器电性连接。进料槽5与钢化玻璃保护罩6通过摄像头固定螺纹9旋合连接；进料槽5为密封结构，且进料槽5与钢化玻璃保护罩6的连接处设置有密封胶圈，进料槽5与钢化玻璃保护罩6通过摄像头固定螺纹9旋合连接之后，钢化玻璃保护罩6的拆卸清洗与安装就会更加的方便，而且设置有密封胶圈之后，增加了进料槽5与钢化玻璃保护罩6的接触面的密封性，使用起来更加的安全放心。红外发射管2与光敏信号接收器4电性连接，且红外发射管2发出的信号，光敏信号接收器4能够接收到，并且反馈给外部控制器，当红外发射管2开始依次发射信号后，工件随小车推至上料机械手下方待加工时刚好阻隔了发射器的红外线，触发上料机械手的启动开关，光敏信号接收器4就能依次接收到信号，也就可以完成自动启动操作。进料槽5的内壁拐角处为平滑曲面结构，进料槽5的内壁拐角处设计为平滑曲面结构，这样的机构在进料时，物料就不会卡在拐角处，使用起来更加的方便快速。本技术中的红外发射管2是由红外发光二极管组成发光体，用红外辐射效率高的材料（常用砷化镓）制成PN结，正向偏压向PN结注入电流激发红外光，其光谱功率分布为中心波长830～950nm。发光二极管表现是正温度系数，电流越大温度越高，温度越高电流越大，LED红外二极管的功率和电流大小有关，但正向电流超过最大额定值时，红外二极管发射功率反而下降。本技术中的红外线摄像头7中在光谱中波长自0.76至400微米的一段称为红外线，红外线是不可见光线。所有高于绝对零度（-273.15℃）的物质都可以产生红外线。现代物理学称之为热射线，因此在物料进入到入料口3时，就可以被红外线摄像头7所检测到，也就完成了对进料的检测。具体实施方式：在进行使用时，首先工作人员对本技术进行检查，检查是否存在缺陷，如果存在缺陷的话就无法进行使用了，此时需要通知维修人员进行维修，如果不存在问题的话就可以进行使用，经过工件的上料等待位置，红外发射管2发出的信号，光敏信号接收器4能够接收到，并且反馈给外部控制器，当红外发射管2开始依次发射信号后，工件随小车推至上料机械手下方待加工时刚好阻隔了发射器的红外线，触发上料机械手的启动开关，光敏信号接收器4就能依次接收到信号，也就可以完成自动启动操作，而红外线摄像头7的作用是可以时刻的监测到物料的进入情况，使用起来更加的方便。以上显示和描述了本实用新本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种管式PECVD设备进料检测装置，包括进料槽（5），其特征在于：所述进料槽（5）的左侧设置有进料管（1），且进料槽（5）的底部设置有入料口（3），所述入料口（3）内壁的一侧设置有红外发射管（2），且入料口（3）内壁的另一侧设置有光敏信号接收器（4），所述进料槽（5）的上方设置有钢化玻璃保护罩（6），所述钢化玻璃保护罩（6）的外壁上设置有摄像头固定螺纹（9），且钢化玻璃保护罩（6）的内部设置有红外线摄像头（7），所述红外线摄像头（7）的上方设置有摄像头旋转把手（8），所述红外发射管（2）、光敏信号接收器（4）和红外线摄像头（7）均与外部控制器电性连接。

【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD设备进料检测装置，包括进料槽（5），其特征在于：所述进料槽（5）的左侧设置有进料管（1），且进料槽（5）的底部设置有入料口（3），所述入料口（3）内壁的一侧设置有红外发射管（2），且入料口（3）内壁的另一侧设置有光敏信号接收器（4），所述进料槽（5）的上方设置有钢化玻璃保护罩（6），所述钢化玻璃保护罩（6）的外壁上设置有摄像头固定螺纹（9），且钢化玻璃保护罩（6）的内部设置有红外线摄像头（7），所述红外线摄像头（7）的上方设置有摄像头旋转把手（8），所述红外发射管（2）、光敏信号接收器（4）和红外线摄像头（7）均与外部控制器电性连接。2.根据权利要求1所述的一种管式PECVD...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓丽，景欢旺，吕海军，高超，项望，
申请(专利权)人：江苏晶鼎电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32