自携式空气净化装置及半导体生产车间制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种自携式空气净化装置及半导体生产车间，该自携式空气净化装置装设在设备上，其出风口与设备的入风口对接安装，外部空气经过自携式空气净化装置中的过滤网过滤后向设备的入风口输入。本实用新型专利技术提供的自携式空气净化装置结构简单，拆卸方便，可将净化车间的空气二次过滤，以防止含有杂质的空气进入设备内部影响产品质量。

【技术实现步骤摘要】
自携式空气净化装置及半导体生产车间
本技术涉及空气净化
，特别是涉及一种自携式空气净化装置及半导体生产车间。
技术介绍
随着半导体行业的日益发展，对空气环境中的悬浮微粒的尺寸和数量的控制日趋严格。例如，芯片倒装工序，是将芯片从圆片中吸取并贴装到基板上，芯片倒装工序的设备内部空气直接接触基板和芯片的正面，将直接影响到基板和芯片的连接问题，一旦设备内部空气受到污染，将会导致整颗产品失效。目前半导体行业的空气质量控制是通过要求进出生产车间的工作人员必须穿戴净化服、定期清洁工作设备、车间内设置空气净化设备等方式来减少车间内空气环境的污染。但是，目前的处理方式，设备内部的空气与整个净化车间内的空气是一致的，一旦净化车间内的空气受到污染，那么进入到设备内部的空气也是受了污染的，从而容易导致产品失效。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种自携式空气净化装置及半导体生产车间，可单独过滤进入设备内部的空气，并且结构简单、装卸方便，可有效的提高产品质量。为解决以上技术问题，本技术提供一种自携式空气净化装置，该自携式空气净化装置用于装设在设备上以向所述设备内部输入洁净的空气，所述设备设有入风口，所述自携式空气净化装置设有出风口，所述出风口与所述入风口对接安装。其中，所述自携式空气净化装置包括过滤网，外部空气经所述过滤网过滤后再经所述出风口输向所述入风口。其中，所述过滤网的网孔的直径为0.03微米。其中，所述自携式空气净化装置包括强力鼓风机，所述强力鼓风机用于将外部空气输向所述过滤网。其中，所述自携式空气净化装置包括壳体，所述强力鼓风机与所述壳体固定连接，所述过滤网安装于所述壳体内，所述壳体设有法兰盘，所述法兰盘用于与所述入风口紧密装配。其中，所述自携式空气净化装置还包括密封圈，所述密封圈用于装设在所述法兰盘与所述入风口之间以使所述法兰盘与所述入风口密封紧配。其中，所述法兰盘与所述入风口通过螺钉装配。其中，所述法兰盘与所述入风口通过卡扣装配。其中，所述法兰盘与所述入风口通过焊接装配。本技术还提供一种半导体生产车间，包括多个设备，设备上配设有上述自携式空气净化装置。通过上述方案，本技术的有益效果是：区别于现有技术，本技术的自携式空气净化装置，通过将自携式空气净化装置的入风口对接安装于设备的出风口，外部空气经过自携式空气净化装置的过滤网过滤后向设备的入风口输入，以向设备内部输入洁净的空气，从而可以实现简单快捷的过滤向设备内部输入的空气，并且该自携式空气净化装置的结构简单、装卸简易，可有效改善设备内部的空气质量，提高产品质量。附图说明图1是本技术一实施例的自携式空气净化装置的结构示意图；图2是图1中法兰盘的结构示意图。具体实施方式请参阅图1，图1是技术一实施例的自携式空气净化装置的结构示意图。如图1所示，该自携式空气净化装置100装设于设备200上，自携式空气净化装置100设有出风口106，设备200设有入风口201，自携式空气净化装置100上的出风口106与设备200的入风口201对接安装，以向设备200内部输入洁净的空气，即外部空气经过自携式空气净化装置100的出风口106输向设备200的入风口201，从而实现向设备200内部输入洁净的空气。其中，该设备200为待输入洁净空气的生产设备200，设备200的类型在此不作限制。例如设备200可以为半导体生产设备，由于半导体生产制程需要人为参与，而当生产车间的空气受到污染时，进入到半导体生产设备内部的空气同样也是受了污染的，因此，通过在半导体生产设备上安装自携式空气净化装置100，使得输入半导体生产设备内部的空气经过二次过滤，从而可以极大程度地改善半导体生产设备内部的空气质量。本实施例中，每台设备200可以根据机型的选择不同尺寸的自携式空气净化装置100，实现每台设备200单独控制，避免因车间环境，其他设备200或人为等的交叉污染，实现使用独立的自携式空气净化装置100分别控制不同的设备200的内部空气质量，有效改善产品质量。其中，自携式空气净化装置100包括过滤网103、强力鼓风机101及壳体102。壳体102围设于过滤网103的四周，在本实施例中，过滤网103以可拆卸的方式安装于壳体102内，以方便更换，强力鼓风机101与壳体102固定连接。在其他实施例中，强力鼓风机101还可与壳体102以可拆卸的方式连接。壳体102上设有法兰盘20，法兰盘20用于与设备200的入风口201紧密装配。其中，法兰盘20的结构如图2所示，法兰盘20的两端分别设有开口部，并且在开口部的四周设有多个螺纹孔203，开口部用于分别对接自携式空气净化装置100的出风口106及设备200的入风口201，本实施例中，法兰盘20的第一开口部202与设备200的入风口201对接，设备200的入风口201侧边边缘设置有对应的螺栓(图未示)，第二开口部(图未示)与自携式空气净化装置100的出风口106对接，法兰盘20通过螺纹孔203与螺栓固定在设备200上。其中，螺纹孔203的数据不作限制，可以为2个、3个或4个等。本实施例中，强力鼓风机101对应装设于自携式空气净化装置100的入风口104位置，用于将外部空气抽到过滤网103中。过滤网103安装于自携式空气净化装置100靠近出风口106的位置，以使得外部空气经过过滤网103过滤后再经过出风口106输入设备200的入风口201，过滤网103的网孔(图未示)直径约为0.01～0.07微米，优选为0.03微米，从而使得空气的过滤效率达到99.90％以上。其中，过滤网103的数量不作限制，可以在自携式空气净化装置100中设置一层过滤网103，也可以设置二层、三层或以上数量的过滤网103，例如，当在自携式空气净化装置100中设置一层过滤网103时，过滤网103优选为高效过滤网，以使得空气的过滤效率达到99.90％以上，而当在自携式空气净化装置100中设置二层过滤网103时，过滤网103可选择高效过滤网及粗效过滤网两种，其中，高效过滤网的网孔尺寸小于粗效过滤网的网孔尺寸，高效过滤网设置于相对靠近出风口106的一侧，使得外部空气先经过粗效过滤网过滤较大尺寸的颗粒，然后进一步经高效过滤网过滤较小尺寸的颗粒，从而可将外部空气的微粒杂质105按尺寸进行分类过滤处理。自携式空气净化装置100还包括密封圈(图未示)，密封圈装设在法兰盘20与设备200的入风口201之间，以使得法兰盘与设备200的入风口201密封紧配。此外，法兰盘20还可以通过卡扣装配、焊接装配等方式将自携式空气净化装置100与设备200密封结合。例如，当法兰盘20与设备200的入风口201通过卡扣装配结合时，法兰盘20上装设有卡扣(图未示)或卡位(图未示)，设备200的入风口201侧边边缘对应设置有卡位或卡扣，法兰盘20上的卡扣可以扣合在设备200的卡位上，从而使自携式空气净化装置100密封固定在设备200的入风口201处。又如，直接将法兰盘20焊接装配在设备200的入风口201侧边边缘。在其他实施例中，自携式空气净化装置100还包括有杂质出口(图未示)、人工操作系统(图未示)、计时器(图未示)及UV灯(Ultra-VioletRay；紫外线灯管)(图未示)等。其中，杂质本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自携式空气净化装置，其特征在于，所述自携式空气净化装置用于装设在设备上以向所述设备内部输入洁净的空气，所述设备设有入风口，所述自携式空气净化装置设有出风口，所述出风口与所述入风口对接安装，所述自携式空气净化装置包括过滤网，外部空气经所述过滤网过滤后再经所述出风口输向所述入风口。

【技术特征摘要】
1.一种自携式空气净化装置，其特征在于，所述自携式空气净化装置用于装设在设备上以向所述设备内部输入洁净的空气，所述设备设有入风口，所述自携式空气净化装置设有出风口，所述出风口与所述入风口对接安装，所述自携式空气净化装置包括过滤网，外部空气经所述过滤网过滤后再经所述出风口输向所述入风口。2.根据权利要求1所述的自携式空气净化装置，其特征在于，所述过滤网的网孔的直径为0.03微米。3.根据权利要求1所述的自携式空气净化装置，其特征在于，所述自携式空气净化装置包括强力鼓风机，所述强力鼓风机用于将外部空气输向所述过滤网。4.根据权利要求3所述的自携式空气净化装置，其特征在于，所述自携式空气净化装置包括壳体，所述强力鼓风机与所述壳体固定连接，所述过滤网安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢海伦，
申请(专利权)人：通富微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32