【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片的全自动检测机
本专利技术涉及电子元件的加工设备领域,尤其涉及一种半导体芯片的全自动检测机。
技术介绍
随着电子化工程的高速发展,各种电子元器件的应用越来越广,芯片是一种常用的电子元器件,其中芯片中又以半导体芯片的应用最为广泛。在半导体芯片的加工过程中,需要对加工好的芯片进行检测,检测的项目比较多,包括光电检测(产品的光电转换效率)、电阻检测、电阻率检测(需要多次检测求平均值)、视觉检测(CCD摄像机进行外观检测)和各种条件下(如高温、辐射、强光等条件)的导电检测,而现有的半导体芯片检测大多都采用多台设备分工序检测的,其中电阻率检测是在一台设备上进行多次检测求平均值,总体检测效率低下,耗时长。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种半导体芯片的全自动检测机,通过中部转盘检测装置和侧部转盘检测装置相互配合,实现半导体芯片的多个检测工序一体化进行,极大的提高了检测的效率,降低了检测工时。为了实现以上目的,本专利技术采用的技术方案为:一种半导体芯片的全自动检测机,它包括机架(1)、配电控制箱(2)和操作显示屏(3),所述的机架(1)上设置有相互配合的中部转盘检测装置(6)和侧部转盘检测装置(7),所述的中部转盘检测装置(6)包括与中部转动电机连接的逆时针转动的中部转轴(11),所述的中部转轴(11)从下至上上依次套接有中部检测转盘(12)和中部安装转盘(13),所述的中部检测转盘(12)上均匀的开设有检测孔,且中部安装转盘(13)上安装有穿出检测孔的取料装置(14),所述的中部检测转盘(12)的下方依次设置有与取料装置(14)上的半导体芯片配合的光电 ...
【技术保护点】
一种半导体芯片的全自动检测机,它包括机架(1)、配电控制箱(2)和操作显示屏(3),其特征在于,所述的机架(1)上设置有相互配合的中部转盘检测装置(6)和侧部转盘检测装置(7),所述的中部转盘检测装置(6)包括与中部转动电机连接的逆时针转动的中部转轴(11),所述的中部转轴(11)从下至上上依次套接有中部检测转盘(12)和中部安装转盘(13),所述的中部检测转盘(12)上均匀的开设有检测孔,且中部安装转盘(13)上安装有穿出检测孔的取料装置(14),所述的中部检测转盘(12)的下方依次设置有与取料装置(14)上的半导体芯片配合的光电检测装置(15)、电阻检测装置(16)、电阻率检测装置(17)和上部视觉检测装置(18),所述的电阻率检测装置(17)的个数不少于三个,所述的侧部转盘检测装置(7)包括与侧部转动电机连接的侧部转轴(33),所述的侧部转轴(33)上套接有侧部转盘(34),所述的侧部转盘(34)上设置有与半导体芯片配合的载具,所述的侧部转盘(34)位于中部转盘(12)的下部,且侧部转盘(34)与中部转盘(12)配合时,侧部转盘(34)上的一个载具与穿过中部转盘(12)的一个取料 ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片的全自动检测机,它包括机架(1)、配电控制箱(2)和操作显示屏(3),其特征在于,所述的机架(1)上设置有相互配合的中部转盘检测装置(6)和侧部转盘检测装置(7),所述的中部转盘检测装置(6)包括与中部转动电机连接的逆时针转动的中部转轴(11),所述的中部转轴(11)从下至上上依次套接有中部检测转盘(12)和中部安装转盘(13),所述的中部检测转盘(12)上均匀的开设有检测孔,且中部安装转盘(13)上安装有穿出检测孔的取料装置(14),所述的中部检测转盘(12)的下方依次设置有与取料装置(14)上的半导体芯片配合的光电检测装置(15)、电阻检测装置(16)、电阻率检测装置(17)和上部视觉检测装置(18),所述的电阻率检测装置(17)的个数不少于三个,所述的侧部转盘检测装置(7)包括与侧部转动电机连接的侧部转轴(33),所述的侧部转轴(33)上套接有侧部转盘(34),所述的侧部转盘(34)上设置有与半导体芯片配合的载具,所述的侧部转盘(34)位于中部转盘(12)的下部,且侧部转盘(34)与中部转盘(12)配合时,侧部转盘(34)上的一个载具与穿过中部转盘(12)的一个取料装置(14)对接,所述的侧部转盘(34)的上方外围设置有与载具上的半导体芯片配合的导电检测器(36)和下部视觉检测装置(37),所述的导线检测器的个数不少于三个,且每个导电检测器(36)配合有一个条件调节装置(35),所述的中部转动电机、侧部转动电机、取料装置(14)、光电检测装置(15)、电阻检测装置(16)、电阻率检测装置(17)、上部视觉检测装置(18)、导电检测器(36)、条件调节装置(35)和下部视觉检测装置(37)连接到配电控制箱(2)。2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的全自动检测机,其特征在于,所述的取料装置包括设置在中部安装转盘(13)上的取料安装座(19)和取料升降气缸(20),所述的取料升降气缸(20)与取料安装座(19)内安装的取料升降杆(21)连接,所述的取料升降杆(21)穿出中部检测转盘(12)内的检测孔,且取料升降杆(21)的下方设置有与半导体产品配合的取料吸盘(22),所述的取料升降气缸(20)和取料吸盘(22)连接到配电控制箱(2)。3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片的全自动检测机,其特征在于,所述的中部检测转盘(12)位于检测孔的位置设置有与取料升降杆(21)配合的取料限位块(23),所述的取料升降杆(21)上设置有取料减震弹簧(24)。4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的全自动检测机,其特征在于,所述的光电检测装置(15)包括设置在机架(1)上的光电检测座(25),所述的光电检测座(25)上设置有相互配...
【专利技术属性】
技术研发人员:邓君,黄红梅,邓凯,李培,
申请(专利权)人:东莞市蓉工自动化科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。