【技术实现步骤摘要】
一种图形化蓝宝石衬底检验用的除静电装置
本技术涉及蓝宝石晶体
,尤其涉及一种图形化蓝宝石衬底检验用的除静电装置。
技术介绍
蓝宝石晶体是目前半导体照明产业发展过程中使用最为广泛的衬底材料,蓝宝石具有高强度、高熔点、物理化学性能稳定等特性,在军事、航天航空、光学、生物、分析、半导体基片以及在高速信息处理、电子光子装置的微型化、智能化方面得到广泛的应用。蓝宝石衬底对于制作LED芯片来说,衬底材料的选用是首要考虑的问题。通常,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点:首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗,因此大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。而在图形化蓝宝石衬底检验时,蓝宝石衬底表面附带的静电影响检测的结果,因此需要设置除静电机构消除静电。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种图形化蓝宝石衬底检验用的除静电装置。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案。一种图形化蓝宝石衬底检验用的除静电装置,包括固定座,所述固定座的一侧开设有进料口,所述固定座的另一侧开设有出料口,所述固定座的顶端设有开口,所述固定座上还设有放置腔,且放置腔、进料口、开口和出料口相连通,所述放置腔内设有支撑架,所述支撑架上设有传送机构,其中传送机构包括传送带、转轴和转动电机,转轴转动连接于支撑架的内壁之间,传送带套设于转轴上,且转轴与转动电机的输出轴连接,所述固定座的底端两侧均设有支撑柱,所述固定座的顶端一侧设有竖直设置的固定板, ...
【技术保护点】
一种图形化蓝宝石衬底检验用的除静电装置,包括固定座(1),其特征在于,所述固定座(1)的一侧开设有进料口(2),所述固定座(1)的另一侧开设有出料口(13),所述固定座(1)的顶端设有开口(10),所述固定座(1)上还设有放置腔,且放置腔、进料口(2)、开口(10)和出料口(13)相连通,所述放置腔内设有支撑架(11),所述支撑架(11)上设有传送机构(12),其中传送机构(12)包括传送带、转轴和转动电机,转轴转动连接于支撑架(11)的内壁之间,传送带套设于转轴上,且转轴与转动电机的输出轴连接,所述固定座(1)的底端两侧均设有支撑柱(3),所述固定座(1)的顶端一侧设有竖直设置的固定板(4),所述固定板(4)靠近固定座(1)的一侧设有水平设置的支撑板(7),所述支撑板(7)的顶端安装有高压发生器(5),所述支撑板(7)的底端分别安装有红外线传感器(6)和防护套(8),所述防护套(8)内套设有静电棒(9),所述静电棒(9)与高压发生器(5)的接地线相通接大地地线。
【技术特征摘要】
1.一种图形化蓝宝石衬底检验用的除静电装置,包括固定座(1),其特征在于,所述固定座(1)的一侧开设有进料口(2),所述固定座(1)的另一侧开设有出料口(13),所述固定座(1)的顶端设有开口(10),所述固定座(1)上还设有放置腔,且放置腔、进料口(2)、开口(10)和出料口(13)相连通,所述放置腔内设有支撑架(11),所述支撑架(11)上设有传送机构(12),其中传送机构(12)包括传送带、转轴和转动电机,转轴转动连接于支撑架(11)的内壁之间,传送带套设于转轴上,且转轴与转动电机的输出轴连接,所述固定座(1)的底端两侧均设有支撑柱(3),所述固定座(1)的顶端一侧设有竖直设置的固定板(4),所述固定板(4)靠近固定座(1)的一侧设有水平设置的支撑板(7),所述支撑板(7)的顶端安装有高压发生器(5),所述支撑板(7)的底端分别安装有红外线传感器(6)和防护套(8),所述防护套(8)内套设有静电棒(9),所述静电棒(9)与高压发生器(5)的接地线相通接大地地线。2.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:许珂,刘靓萍,付勇林,
申请(专利权)人:福建中晶科技有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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