一种用于曝光装置的装载柔性线路板的载具制造方法及图纸

技术编号:15611544 阅读:211 留言:0更新日期:2017-06-14 02:10
本实用新型专利技术公开了一种用于曝光装置的装载柔性线路板的载具,包括透明的上玻璃板和透明的下玻璃板,所述上玻璃板下表面具有第一凹槽,下玻璃板上表面具有第二凹槽,所述第一、二凹槽之间形成密封的腔室,所述上玻璃板下表面具有一圈凸起,所述下玻璃板上表面具有与所述一圈凸起啮合的一圈凹槽,所述下玻璃板内还具有抽真空通道,所述抽真空通道的一端位于第二凹槽的底面,另一端位于下玻璃板的侧面,所述抽真空通道的另一端上连接有管路,所述管路上具有阀门,所述抽真空通道内还具有气压传感器。本实用新型专利技术的载具密封性好,且能够监测真空度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于曝光装置的装载柔性线路板的载具
本技术涉及柔性线路板制造领域,具体涉及一种用于曝光装置的装载柔性线路板的载具。
技术介绍
柔性线路板由于其柔性结构,在电子产品中装配的灵活性更加地大而受到广泛的应用,柔性线路板在制作过程中需要经过曝光步骤,现有的柔性线路板在曝光时需要抽真空,但是现有的柔性线路板的载具有时密封性不好,且漏气时难以及时发现。
技术实现思路
技术目的:本技术旨在克服现有技术的缺陷,提供一种用于曝光装置的装载柔性线路板的载具。技术方案:一种装载柔性线路板的载具,包括透明的上玻璃板和透明的下玻璃板,所述上玻璃板下表面具有第一凹槽,下玻璃板上表面具有第二凹槽,所述第一、二凹槽之间形成密封的腔室,所述上玻璃板下表面具有一圈凸起,所述下玻璃板上表面具有与所述一圈凸起啮合的一圈凹槽,所述下玻璃板内还具有抽真空通道,所述抽真空通道的一端位于第二凹槽的底面,另一端位于下玻璃板的侧面,所述抽真空通道的另一端上连接有管路,所述管路上具有阀门,所述抽真空通道内还具有气压传感器。进一步地,所述下玻璃板的上表面具有4个定位柱。进一步地,所述一圈凹槽内具有垫片。进一步地,所述上、下玻璃板均为矩形的玻璃板。进一步地,所述载具还包括夹持部,所述夹持部包括上臂和下臂,所述上臂的一端和下臂的一端铰接,所述上臂的另一端抵接上玻璃板的上表面,所述下臂的另一端抵接下玻璃板的下表面,所述上臂和下臂之间还具有拉伸弹簧。进一步地,所述载具还包括控制器和报警装置,所述气压传感器和报警装置与控制器相连。进一步地,所述夹持部大于等于2个。有益效果:本技术在载具使用方便,密封性好,且一旦漏气能够及时发现。附图说明图1为上玻璃板、下玻璃板截面示意图;图2为上玻璃板仰视图;图3为下玻璃板俯视图;图4为上、下玻璃板配合示意图。具体实施方式附图标记:1上玻璃板;1.1一圈凸起;1.6第一凹槽;2下玻璃板;2.1一圈凹槽;2.2垫片;2.3定位柱;2.4抽真空通道;2.5气压传感器;2.6第二凹槽;3夹持部;3.1上臂;3.2下臂;3.3铰接部;3.4拉伸弹簧。一种装载柔性线路板的载具,包括透明的上玻璃板1和透明的下玻璃板2,所述上玻璃板1下表面具有第一凹槽1.6,下玻璃板2上表面具有第二凹槽2.6,所述第一、二凹槽之间形成密封的腔室,所述上玻璃板下表面具有一圈凸起1.1,所述下玻璃板上表面具有与所述一圈凸起1.1啮合的一圈凹槽2.1,所述下玻璃板内还具有抽真空通道2.4,所述抽真空通道2.4的一端位于第二凹槽的底面,另一端位于下玻璃板的侧面,所述抽真空通道的另一端上连接有管路,所述管路上具有阀门,所述抽真空通道内还具有气压传感器2.5。所述下玻璃板的上表面具有4个定位柱2.3。所述一圈凹槽内具有垫片2.2。所述上、下玻璃板均为矩形的玻璃板。所述载具还包括夹持部3,所述夹持部包括上臂3.1和下臂3.2,所述上臂3.1的一端和下臂3.2的一端铰接,所述上臂3.1的另一端抵接上玻璃板的上表面,所述下臂3.2的另一端抵接下玻璃板的下表面,所述上臂和下臂之间还具有拉伸弹簧3.4。所述载具还包括控制器和报警装置,所述气压传感器和报警装置与控制器相连。所述夹持部大于等于2个。使用时,在腔室内依次放上底面菲林、柔性线路板、顶面菲林,底面菲林固定安装在所述定位柱上,之后将上、下玻璃板闭合,利用真空泵对所述腔室抽真空,之后关闭阀门。利用夹持部将上、下玻璃板进行夹持。再将载具放置在曝光装置内进行曝光。曝光装置可以设置上、下两层的曝光光源,对柔性线路板的两面同时进行曝光。当气压传感器的测量值超出设定阈值时,控制器控制报警装置报警。尽管本技术就优选实施方式进行了示意和描述,但本领域的技术人员应当理解,只要不超出本技术的权利要求所限定的范围,可以对本技术进行各种变化和修改。本文档来自技高网...
一种用于曝光装置的装载柔性线路板的载具

【技术保护点】
一种用于曝光装置的装载柔性线路板的载具,其特征在于,包括透明的上玻璃板和透明的下玻璃板,所述上玻璃板下表面具有第一凹槽,下玻璃板上表面具有第二凹槽,所述第一、二凹槽之间形成密封的腔室,所述上玻璃板下表面具有一圈凸起,所述下玻璃板上表面具有与所述一圈凸起啮合的一圈凹槽,所述下玻璃板内还具有抽真空通道,所述抽真空通道的一端位于第二凹槽的底面,另一端位于下玻璃板的侧面,所述抽真空通道的另一端上连接有管路,所述管路上具有阀门,所述抽真空通道内还具有气压传感器。

【技术特征摘要】
1.一种用于曝光装置的装载柔性线路板的载具,其特征在于,包括透明的上玻璃板和透明的下玻璃板,所述上玻璃板下表面具有第一凹槽,下玻璃板上表面具有第二凹槽,所述第一、二凹槽之间形成密封的腔室,所述上玻璃板下表面具有一圈凸起,所述下玻璃板上表面具有与所述一圈凸起啮合的一圈凹槽,所述下玻璃板内还具有抽真空通道,所述抽真空通道的一端位于第二凹槽的底面,另一端位于下玻璃板的侧面,所述抽真空通道的另一端上连接有管路,所述管路上具有阀门,所述抽真空通道内还具有气压传感器。2.根据权利要求1所述的用于曝光装置的装载柔性线路板的载...

【专利技术属性】
技术研发人员:王家宏王军张江惠
申请(专利权)人:扬州华盟电子有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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