亚胺薄膜沉积设备制造技术
【技术实现步骤摘要】
亚胺薄膜沉积设备
本技术属于一种薄膜沉积设备领域，具体涉及一种亚胺薄膜沉积设备领域。
技术介绍
热固性聚酰亚胺具有优异的热稳定性、耐化学腐蚀性和机械性能，通常为橘黄色。石墨或玻璃纤维增强的聚酰亚胺的抗弯强度可达到345MPa,抗弯模量达到20GPa.热固性聚酰亚胺蠕变很小，有较高的拉伸强度。聚酰亚胺的使用温度范围覆盖较广，从零下一百余度到两三百度。聚酰亚胺化学性质稳定。聚酰亚胺不需要加入阻燃剂就可以阻止燃烧。一般的聚酰亚胺都抗化学溶剂如烃类、酯类、醚类、醇类和氟氯烷。它们也抗弱酸但不推荐在较强的碱和无机酸环境中使用。某些聚酰亚胺如CP1和CORINXLS是可溶于溶剂，这一性质有助于发展他们在喷涂和低温交联上的应用。在机械产业、电子产业或半导体产业领域，为了对所使用的材料赋与某种特性在材料表面上以各种方法形成一层薄膜，而加以使用，假如此被膜经过原子层的过程所形成时，一般将此等薄膜沉积称为沉积处理。目前，蒸镀沉积是常用的沉积方法之一，然而，在亚胺薄膜蒸镀沉积过程中，往往由于蒸镀物质在蒸镀过程中离子会自由的在空气中扩散，所以会导致蒸镀物质在蒸镀过程中造成的浪费现象发生，怎样解决这一问题成为了重中之重。
技术实现思路
为解决上述技术性问题，本技术提供了一种亚胺薄膜沉积设备，能够有效的解决蒸镀过程中的浪费现象。一种亚胺薄膜沉积设备，包括真空泵、蒸发加热器、蒸发舟、底座、衬底、样品台、真空罩、样品台加热器。所述的真空泵与真空罩相连位于机器下部，所述的蒸发加热器与底座相连，所述的蒸发舟放置于蒸发加热器上部，所述的衬底与样品台相连，所述的样品台与样品台加热器相连，所述的样品台...
【技术保护点】
一种亚胺薄膜沉积设备，其特征在于：包括真空泵（1）、蒸发加热器（2）、蒸发舟（3）、底座（4）、衬底（5）、样品台（6）、样品台加热器（7）、真空罩（8），所述的真空泵（1）与真空罩（8）相连位于机器下部，所述的蒸发加热器（2）与底座（4）相连，所述的蒸发舟（3）放置于蒸发加热器（2）上部，所述的衬底（5）与样品台（6）相连，所述的样品台（6）与样品台加热器（7）相连，所述的样品台加热器（7）与底座（4）相连并位于蒸发舟（3）的正上方，所述的真空罩（8）与底座（4）紧密相连。
【技术特征摘要】
1.一种亚胺薄膜沉积设备，其特征在于：包括真空泵（1）、蒸发加热器（2）、蒸发舟（3）、底座（4）、衬底（5）、样品台（6）、样品台加热器（7）、真空罩（8），所述的真空泵（1）与真空罩（8）相连位于机器下部，所述的蒸发加热器（2）与底座（4）相连，所述的蒸发舟（3）放置于蒸发加热器（2）上部，所述的衬底（5）与样品台（6）相连，所述的样品台（6）与样品台加热器（7）相连，所述的样品台加热器（7）与底座（4）相连并位于蒸发舟（3）的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王跃淑，郭家川，
申请(专利权)人：江苏维尔电气有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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