预抽阀通真空室口内嵌套金属管制造技术

本实用新型专利技术公开了一种预抽阀通真空室口内嵌套金属管，包括金属管体，所述金属管体的一端设置有环形的外延部，其另一端设置有向金属管体轴心延伸的封闭部，该封闭部的中心设置有通孔；所述通孔的直径为L，10mm≤L≤15mm。本实用新型专利技术的内嵌套金属管设置于预抽管道通往真空室入口处，可使预抽时产生空气旋流由大变小，不至于让真空室气体产生漩涡，使真空室在相对比较平静的状态下慢慢抽到一定真空度，使光学镜片表面保持清洁状态，保证了镜片的外观质量。

【技术实现步骤摘要】
预抽阀通真空室口内嵌套金属管
本技术涉及真空镀膜机设备
，特别是一种预抽阀通真空室口内嵌套金属管。
技术介绍
光学薄膜技术的实现是依靠光学真空镀膜设备来实现，真空镀膜设备抽真空系统通常都是由机械泵和扩散泵及各抽气阀门管道组成，预抽阀和低抽阀都是和机械泵一起对真空室抽低真空作用，预抽阀作用是对真空室进行慢抽，防止真空大抽时产生的空气旋流，旋流带动空气中灰尘最终会粘在镜片表面影响光学镜片外观。传统真空镀膜设备在产品镀膜后镜片表面依然有很多细点，通过对产品外观的细致分析，发现细点是在预抽阀工作中产生，经过对设备结构详细考察，发现预抽管道依然比较粗，为了提高镜片外观质量，提高产品合格率，必须改进预抽阀系统结构。
技术实现思路
基于此，针对上述问题，有必要提出一种预抽阀通真空室口内嵌套金属管，该内嵌套金属管设置于预抽管道通往真空室入口处，可使预抽时产生空气旋流由大变小，不至于让真空室气体产生漩涡，使真空室在相对比较平静的状态下慢慢抽到一定真空度，使光学镜片表面保持清洁状态，保证了镜片的外观质量。本技术的技术方案是：一种预抽阀通真空室口内嵌套金属管，包括设置于预抽管道通往真空室入口处的金属管体，所述金属管体的一端设置有环形的外延部，其另一端设置有向金属管体轴心延伸的封闭部，该封闭部的中心设置有通孔；所述通孔的直径为L，10mm≤L≤15mm。通过对现有真空镀膜设备预抽阀管道结构详细考察，预抽阀管道的口径有30毫米，在关闭真空室门瞬间打开预抽阀时气流声音比较大，为了说明问题，先用高温胶带把预阀通真空室口堵小到大概10mm-15mm大小，放入样片，进行正常抽真空，正常镀膜，连续三次试验，结果外观有很大改观，说明发现问题明确。优选地，所述通孔的直径L=10mm。测量预抽阀通真空室口径，设计内嵌套金属管，内口径为10mm，固定要预抽管道通往真空室入口处，结果使预抽时产生空气旋流由大变小，不至于真空室气体产生漩涡，使真空室的真空在相对比较平静的状态下慢慢抽到一定真空度，使光学镜片表面保持清洁状态，保证了镜片的外观质量。本技术的有益效果是：通过内嵌套金属管对预抽阀管道口径的改制，使真空室在相对比较平静的状态下慢慢抽到一定真空度，使预抽时产生空气旋流由大变小，不至于让真空室气体产生漩涡，经过改进过的镀膜设备镀膜后使光学镜片表面保持清洁状态，保证了镜片的外观质量。附图说明图1为本技术实施例的结构示意图。附图标记：10-金属管体，11-外延部，12-封闭部，13-通孔。具体实施方式下面结合附图对本技术的实施例进行详细说明。实施例如图1所示，一种预抽阀通真空室口内嵌套金属管，包括设置于预抽管道通往真空室入口处的金属管体10，所述金属管体10的一端设置有环形的外延部11，其另一端设置有向金属管体轴心延伸的封闭部12，该封闭部12的中心设置有通孔13；所述通孔13的直径为L，10mm≤L≤15mm。在其中一个实施例中，所述通孔13的直径L=10mm。以上所述实施例仅表达了本技术的具体实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种预抽阀通真空室口内嵌套金属管，其特征在于，包括金属管体，所述金属管体的一端设置有环形的外延部，其另一端设置有向金属管体轴心延伸的封闭部，该封闭部的中心设置有通孔；所述通孔的直径为L，10mm≤L≤15mm。

【技术特征摘要】
1.一种预抽阀通真空室口内嵌套金属管，其特征在于，包括金属管体，所述金属管体的一端设置有环形的外延部，其另一端设置有向金属管体轴心延伸的封闭部，该封闭部的...

【专利技术属性】
技术研发人员：付小燕，林喜锋，聂旭光，
申请(专利权)人：上海域申光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31