一种九点供电式蓝宝石单晶生长炉鸟笼式发热体制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种九点供电式蓝宝石单晶生长炉鸟笼式发热体
本技术涉及一种制备人造宝石的电阻炉，特别是它的发热体。
技术介绍
目前，人造蓝宝石单晶的制备方法主要有:直拉法(Czochralskimethod)、凯氏长晶法(Kyropoulosmethod)(也称:泡生法)、导膜法及热交换法等,这些方法都需要在真空和高温条件下将高纯氧化铝原料熔化，而获得高温的手段都是采用电阻炉加热，电阻炉内具有加热作用的部分为发热体，该发热体的结构形式有网片式和鸟笼式两种，其中，鸟笼式发热体是由24-54根直径5-10mm呈倒门字形的钨杆并联而成，每根钨杆的两端分别与两个半圆形的汇流排相连，每个汇流排各有一个引出端，由此2点向发热体供电。这种供电方式的主要缺陷是：发热体每根钨杆相对于供电端的等效电阻偏差大，径向温场分布不均匀，容易产生粘锅现象，更主要的是在晶体生长方向的选择上，只能选择对径向温场分布要求不高的A向或M向生长方式，若直接生长C向蓝宝石，则工艺成功率偏低，难以大批量生产。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种径向温场分布均匀且能直接大批量生长C向蓝宝石的9点供电的蓝宝石单晶生长炉鸟笼式发热体。鸟笼式发热体主要包括：钨杆、汇流排和引出电极。其中，发热体有24-54根直径5-10mm呈倒门字形的钨杆，其分为6组，每组4-9根合为一束，两束钨杆又并列成一对钨杆束，每对钨杆束一端分别与相邻的两个单汇流排(所述单汇流排仅连有一束钨杆)相连，另一端又与同一个双汇流排(所述双汇流排上连有两束钨杆)相连，所述3个双汇流排与6个单汇流排构成一个彼此不相连且在同一个平面上的环形结构，其内径大于电阻炉...
【技术保护点】
一种九点供电式蓝宝石单晶生长炉鸟笼式发热体，发热体有24‑54根直径5‑10mm呈倒门字形的钨杆，其特征在于：所述钨杆分为6组，每组4‑9根合为一束，两束钨杆又并列成一对钨杆束，每对钨杆束一端分别与相邻的两个单汇流排相连，另一端又与同一个双汇流排相连，所述3个双汇流排与6个单汇流排构成一个彼此不相连且在同一个平面上的环形结构，其内径大于电阻炉内坩埚外径，其外径小于炉内隔热保温体内径，在上述单、双汇流排上各设一根下端与其垂直相连的短柱即引出电极，它们与供电电源输出端相连。
【技术特征摘要】
1.一种九点供电式蓝宝石单晶生长炉鸟笼式发热体，发热体有24-54根直径5-10mm呈倒门字形的钨杆，其特征在于：所述钨杆分为6组，每组4-9根合为一束，两束钨杆又并列成一对钨杆束，每对钨杆束一端分别与相邻的两个单汇流排相连，另一端又与同一个双汇流排相连，所述3个双汇流排与6个单汇流排构成一个彼此...
【专利技术属性】
技术研发人员：裴智，李希炜，李欣，裴广波，
申请(专利权)人：大连晶达德光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21
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