一种硅片真空堆垛机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅片真空堆垛机，包括支架、伺服电机、移动定位车、悬臂、悬架、提取夹钩、提取吸盘、控制器、液压缸和真空泵，所述移动定位车通过所述伺服电机可移动地设于所述支架上，所述悬架通过所述悬臂设于所述移动定位车上，所述液压缸和所述真空泵设于所述移动定位车上，所述提取夹钩和所述提取吸盘设于所述悬架上，所述提取夹钩连接所述液压缸，所述真空泵连接所述提取吸盘，所述支架上设有若干接近开关。与已有技术相比，本实用新型专利技术的有益效果在于：吸盘损耗小，效率高，支持自动运行，堆放整齐，出错率低。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片真空堆垛机
本技术涉及一种真空堆垛机，尤其涉及一种硅片真空堆垛机。
技术介绍
现有技术中硅片堆垛一般使用人工堆垛机，吸盘损耗过大(吸盘与硅片接触时间大约在80～100s)，生产效率低(人工控制一件硅片需要120s)，容易出错(人工控制堆垛误差在30mm左右)，堆放不齐造成入库困难。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的是提供一种硅片真空堆垛机，以解决现有技术中的不足。为了达到上述目的，本技术的目的是通过下述技术方案实现的：提供一种硅片真空堆垛机，包括支架、伺服电机、移动定位车、悬臂、悬架、提取夹钩、提取吸盘、控制器、液压缸和真空泵，所述移动定位车通过所述伺服电机可移动地设于所述支架上，所述悬架通过所述悬臂设于所述移动定位车上，所述液压缸和所述真空泵设于所述移动定位车上，所述提取夹钩和所述提取吸盘设于所述悬架上，所述提取夹钩连接所述液压缸，所述真空泵连接所述提取吸盘，所述支架上设有若干接近开关。上述技术方案中，所述提取夹钩分布于所述提取吸盘的周边位置。与已有技术相比，本技术的有益效果在于：吸盘损耗小，效率高，支持自动运行，堆放整齐，出错率低。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1示出了本技术硅片真空堆垛机的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。参考图1所示，本技术硅片真空堆垛机包括支架1、伺服电机、移动定位车2、悬臂3、悬架4、提取夹钩5、提取吸盘6、控制器、液压缸和真空泵，移动定位车2通过伺服电机可移动地设于支架1上，悬架4通过悬臂3设于移动定位车2上，液压缸和真空泵设于移动定位车2上，提取夹钩5和提取吸盘6设于悬架4上，提取夹钩5连接液压缸，真空泵连接提取吸盘6，支架1上设有若干接近开关。本技术方案中，提取夹钩5分布于提取吸盘6的周边位置。提取夹钩5的主要作用是在热轧侧取硅片，移送过程中抱紧硅片，驱动方式：a.上升下降，液压缸驱动；b.夹紧释放，液压缸驱动，位置检测：a.取硅片下降，固定位置，接近开关检测；b.取硅片夹紧，接近开关四点检测；c.上升，固定位置，接近开关检测；d.夹钩释放，固定位置，接近开关检测；e.堆垛硅片下降，计算机运算目标位置，编码器检测(部分升级为激光检测)。提取吸盘6的主要作用为硅片堆垛，驱动方式：a.上升下降，液压缸驱动；b.吸硅片，真空吸盘；c.放硅片，压缩空气反吹吸盘，位置检测：接近开关两点检测。本硅片真空堆垛机采用伺服精确定位，堆垛排列整齐误差在0.5mm，自动模式下一个循环65～70s，在取料移动过程中使用夹钩方式，只在堆垛时吸盘与硅片接触，时间小于10s。从上述实施例可以看出，本技术的优势在于：吸盘损耗小，效率高，支持自动运行，堆放整齐，出错率低。以上对本技术的具体实施例进行了详细描述，但本技术并不限制于以上描述的具体实施例，其只是作为范例。对于本领域技术人员而言，任何等同修改和替代也都在本技术的范畴之中。因此，在不脱离本技术的精神和范围下所作出的均等变换和修改，都应涵盖在本技术的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片真空堆垛机，其特征在于，包括支架、伺服电机、移动定位车、悬臂、悬架、提取夹钩、提取吸盘、控制器、液压缸和真空泵，所述移动定位车通过所述伺服电机可移动地设于所述支架上，所述悬架通过所述悬臂设于所述移动定位车上，所述液压缸和所述真空泵设于所述移动定位车上，所述提取夹钩和所述提取吸盘设于所述悬架上，所述提取夹钩连接所述液压缸，所述真空泵连接所述提取吸盘，所述支架上设有若干接近开关。

【技术特征摘要】
1.一种硅片真空堆垛机，其特征在于，包括支架、伺服电机、移动定位车、悬臂、悬架、提取夹钩、提取吸盘、控制器、液压缸和真空泵，所述移动定位车通过所述伺服电机可移动地设于所述支架上，所述悬架通过所述悬臂设于所述移动定位车上，所述液压缸和所述真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：王燃，纪加飞，
申请(专利权)人：上海龙鉴自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31