宽量程智能复合真空计制造技术

本实用新型专利技术公开了一种宽量程智能复合真空计，它包括顺序连接的测量部分、信号选择开关、A/D转换器和单片机，所述单片机连接有显示器、键盘和继电器输出端，还包括为整个系统供电的电源系统；所述测量部分包括相连接的热偶规传感器和热电势放大器、相连接的电离规传感器和离子流放大器，热电势放大器和离子流放大器均与信号选择开关连接。采用热偶规传感器和电离规传感器检测真空度，在不同的压强下，通过热偶规和电离规的搭配使用测量真空室的压强值，测量量程宽，且量程可自动切换。

Wide range intelligent compound vacuum gauge

The utility model discloses a wide range of intelligent composite vacuum gauge, it includes sequential measurement part, signal connection switch, A/D converter and microcontroller, the microcontroller is connected with a display, keyboard and relay output terminal also comprises a power supply system for the whole power supply system; the measuring part comprises a thermocouple gauge and thermoelectric power amplifier, phase connects the ionization gauge sensor and ion current amplifier, and the signal selection switch is connected with the thermoelectric power amplifier and ion current amplifier. The thermocouple gauge and vacuum ionization gauge sensor, under different pressure, the thermocouple gauge and ionization gauge pressure measurement using the collocation of vacuum chamber, wide measuring range, and the measuring range can be automatically switched.

【技术实现步骤摘要】
宽量程智能复合真空计
本技术属于真空计领域，具体涉及一种宽量程智能复合真空计。
技术介绍
目前，国内市场上的真空测量仪表品种较多，但由于各种真空测量方法的局限性，每种真空仪表都受其测量上限和下限的限制，可测量的真空范围窄。近年来也出现了较先进的智能复合真空计，即将两种或两种以上的测量方法结合起来以扩展测量范围并实现两种测量方法的自动切换，但多采用8位单片机实现自动调节与控制，采用串行口与外部设备通讯。随着单片机和网络技术的发展，16位、32位单片机在嵌入式系统中的应用呈迅速增长趋势，但真空计的整机性能有待进一步提高。
技术实现思路
为了克服现有
存在的上述缺陷，本技术的目的在于，提供一种宽量程智能复合真空计，提高复合真空计的整机性能。本技术提供的宽量程智能复合真空计，它包括顺序连接的测量部分、信号选择开关、A/D转换器和单片机，所述单片机连接有显示器、键盘和继电器输出端，还包括为整个系统供电的电源系统；所述测量部分包括相连接的热偶规传感器和热电势放大器、相连接的电离规传感器和离子流放大器，热电势放大器和离子流放大器均与信号选择开关连接；热偶规传感器和电离规传感器对真空室中的压强进行测量，将气体压强转换成电压信号或电流信号，采样值再经过模拟信号放大和调理，经A／D转换后送入单片机，经过数据处理得到相应的压强值并通过显示器直接显示出来。进一步的，它还包括放大倍数转换单元和用于对电离规传感器灵敏度进行控制的发射电路，所述放大倍数转换单元与离子流放大器和发射电路连接。进一步的，所述单片机为STM32。本技术提供的宽量程智能复合真空计，其有益效果在于，采用热偶规传感器和电离规传感器检测真空度，在不同的压强下，通过热偶规和电离规的搭配使用测量真空室的压强值，测量量程宽，且量程可自动切换。附图说明图1是本技术一个实施例的原理方框图。具体实施方式下面参照附图，结合一个实施例，对本技术提供的宽量程智能复合真空计进行详细的说明。实施例参照图1，本实施例的宽量程智能复合真空计，它包括顺序连接的测量部分、信号选择开关、A/D转换器和单片机，所述单片机连接有显示器、键盘和继电器输出端，还包括为整个系统供电的电源系统、放大倍数转换单元和发射电路；所述测量部分包括相连接的热偶规传感器和热电势放大器、相连接的电离规传感器和离子流放大器，热电势放大器和离子流放大器均与信号选择开关连接；所述放大倍数转换单元与离子流放大器和发射电路连接。热偶规传感器和电离规传感器对真空室中的压强进行测量，将气体压强转换成电压信号或电流信号，采样值再经过模拟信号放大和调理，经A／D转换后送入单片机，经过数据处理得到相应的压强值并通过显示器直接显示出来，所述单片机为STM32。最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术实施例技术方案的精神和范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种宽量程智能复合真空计，其特征在于：包括顺序连接的测量部分、信号选择开关、A/D转换器和单片机，所述单片机连接有显示器、键盘和继电器输出端，还包括为整个系统供电的电源系统；所述测量部分包括相连接的热偶规传感器和热电势放大器、相连接的电离规传感器和离子流放大器，热电势放大器和离子流放大器均与信号选择开关连接；热偶规传感器和电离规传感器对真空室中的压强进行测量，将气体压强转换成电压信号或电流信号，采样值再经过模拟信号放大和调理，经A／D转换后送入单片机，经过数据处理得到相应的压强值并通过显示器直接显示出来。

【技术特征摘要】
1.一种宽量程智能复合真空计，其特征在于：包括顺序连接的测量部分、信号选择开关、A/D转换器和单片机，所述单片机连接有显示器、键盘和继电器输出端，还包括为整个系统供电的电源系统；所述测量部分包括相连接的热偶规传感器和热电势放大器、相连接的电离规传感器和离子流放大器，热电势放大器和离子流放大器均与信号选择开关连接；热偶规传感器和电离规传感器对真空室中的压强进行测量，将气体压强转换成电压...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋永宾，王勇安，邱月，
申请(专利权)人：青岛优百宇真空设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37