测试电路及其测试方法技术

本申请公开了一种测试电路及其测试方法。其中，该测试电路包括：D型触发器，用于接收第一使能信号和参考时钟信号，并根据第一使能信号和参考时钟信号生成第二使能信号；环形振荡器，与D型触发器的输出端相连接，用于根据第二使能信号输出振荡信号；计数单元，与环形振荡器的输出端相连接，用于对环形振荡器的输出频率进行计数。本申请解决了现有技术中在监测工艺的波动时效率低、占用体积大的技术问题。

Test circuit and testing method thereof

The present application discloses a test circuit and a test method thereof. Among them, the test circuit comprises a D type flip-flop, for receiving a first enable signal and a reference clock signal according to the first enable signal and a reference clock signal to generate a second enable signal; and the output end of ring oscillator, D type flip-flop connected to second output enable signal according to the oscillation signal; counting unit connection and the output end of the ring oscillator for the output frequency of the ring oscillator count. The utility model solves the technical problem that the efficiency is low and the volume is large when the monitoring process fluctuates in the prior art.

【技术实现步骤摘要】
测试电路及其测试方法
本申请涉及电路领域，具体而言，涉及一种测试电路及其测试方法。
技术介绍
在28nm以下的电子制造工艺中，工艺变化高度影响IC制造的成品率和产品性能。现有的监测制造工艺的波动通常是在器件外部添加监测设备，但是这样就增加了器件的体积，并且监测的频率并不准确且效率比较低。针对上述的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
本申请实施例提供了一种测试电路及其测试方法，以至少解决现有技术中在监测工艺的波动时效率低、占用体积大的技术问题。根据本申请实施例的一个方面，提供了一种测试电路，包括：D型触发器，用于接收第一使能信号和参考时钟信号，并根据所述第一使能信号和所述参考时钟信号生成第二使能信号；环形振荡器，与所述D型触发器的输出端相连接，用于根据所述第二使能信号输出振荡信号；计数单元，与所述环形振荡器的输出端相连接，用于对所述环形振荡器的输出频率进行计数。进一步地，上述计数单元为二进制计数器。进一步地，上述计数单元包括：D型触发器，信号输入端连接上述环形振荡器的输出端，用于接收上述振荡信号；反相器，输入端与上述D型触发器的输出端相连接，输出端与上述D型触发器的D端相连接。进一步地，上述计数单元包括n个依次首尾相连的计数器，第n-1个计数器中D型触发器的输出端与第n个上述D型触发器的信号输入端相连接，其中，n个上述计数器的RN端相连接。进一步地，n个上述计数器输出n位二进制编码。进一步地，上述环形振荡器包括多个依次首位相连的反相器，在上述环形振荡器的输出端还设置有与非门，其中，上述与非门的一个输入端与末端反相器的输出端相连接，另外一个输入端用于接收上述D型触发器生成的第二使能信号。根据本申请实施例的另一方面，还提供了一种测试电路的测试方法，包括：在触发器接收的参考时钟信号的触发沿到来时，控制环形振荡器的开始振荡或者停止振荡；在上述环形振荡器开始振荡时，控制计数器开始计数，在上述环形振荡器停止振荡时，控制上述计数器停止计数；输出上述开始计数到上述停止计数之间上述计数器的计数结果。进一步地，在触发器接收的参考时钟信号的触发沿到来时，控制环形振荡器的开始振荡或者停止振荡包括：在触发器接收的参考时钟信号的上升沿到来时，控制环形振荡器的开始振荡或者停止振荡；或者在触发器接收的参考时钟信号的下降沿到来时，控制环形振荡器的开始振荡或者停止振荡。进一步地，在触发器接收的参考时钟信号的上升沿到来时，控制环形振荡器的开始振荡或者停止振荡包括：在上述触发器的参考时钟信号的触发沿到来，且上述触发器的第一使能信号处于高电平时，控制上述环形振荡器开始震荡；在上述触发器的参考时钟信号的触发沿到来，且上述触发器的第一使能信号处于低电平时，控制上述环形振荡器停止振荡。进一步地，输出从上述开始计数到上述停止计数之间上述计数器的计数结果包括：计算上述开始计数的时刻至上述停止计数时刻之间上述环形振荡器的计数个数；将上述计数个数转换为二进制编码输出。在本申请实施例中，采用D型触发器用于接收第一使能信号和参考时钟信号，并根据第一使能信号和参考时钟信号生成第二使能信号；环形振荡器与D型触发器的输出端相连接，用于根据第二使能信号输出振荡信号；计数单元与环形振荡器的输出端相连接，用于对环形振荡器的输出频率进行计数，通过计数单元对环形振荡器输出的振荡频率进行计数，该测试电路可以直接与JTAG控制器连接进行测试，而不需要额外的测试电路。同时，与JTAG扫描程序相结合还能提高测试效率，达到了提高测试效率但是不增加器件面积的效果，进而解决了现有技术中在监测工艺的波动时效率低、占用体积大的技术问题。附图说明此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：图1是根据本申请实施例的一种测试电路的示意图；图2是根据本申请实施例的一种可选的计数单元的示意图；图3是根据本申请实施例的环形振荡器的示意图；图4是根据本申请实施例的D型触发器的示意图；图5是根据本申请实施例的测试电路的测试方法的流程图；以及图6是根据本申请实施例的多个时钟的波形图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。本申请实施例提供了一种测试电路。如图1所示，该测试电路包括D型触发器10、环形振荡器20和计数单元30。该测试电路可以通过计数单元30将环形振荡器20的振荡信号转换为数字信号进行输出，并且在D型触发器输入有参考时钟信号，在参考时钟信号的一个时钟周期内对环形振荡器的输出频率进行计数。具体地，D型触发器10用于接收第一使能信号和参考时钟信号，并根据第一使能信号和参考时钟信号生成第二使能信号；环形振荡器20与D型触发器10的输出端相连接，用于根据第二使能信号输出振荡信号；计数单元30与环形振荡器20的输出端相连接，用于对环形振荡器20的输出频率进行计数。D型触发器10根据接收到的第一使能信号和参考时钟信号生成的第二使能信号能够控制环形振荡器的振荡。当第一个第二使能信号的触发沿到达环形振荡器20后，控制环形振荡器20开始振荡并输出振荡频率，此时计数单元30开始对环形振荡器20的输出频率进行计数；当下一个第二使能信号的触发沿到达环形振荡器20后，控制环形振荡器20停止振荡，此时计数单元30不再有振荡频率的输入，停止对振荡信号的计数，则从计数单元30开始计数到停止计数之间的时间内计数单元30输出的数字则为环形振荡器的频率。本实施例通过计数单元对环形振荡器输出的振荡频率进行计数，利用计数单元的技术结果与工艺仿真的目标值进行比较，从而达到监视工艺的波动的目的。该测试电路可以直接与JTAG控制器连接进行测试，而不需要额外的测试电路。同时，与JTAG扫描程序相结合还能提高测试效率，达到了提高测试效率但是不增加器件面积的效果。优选地，为了增加输出的振荡频率的可读性，计数单元30为二进制计数器，将环形振荡器的振荡频率转换为二进制编码输出。如图2所示，计数单元30包括n个依次首尾相连的计数器，第n-1个计数器中D型触发器的输出端与第n个D型触发器的信号输入端相连接，其中，n个计数器的RN端相连接。其中，每个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试电路，其特征在于，包括：D型触发器，用于接收第一使能信号和参考时钟信号，并根据所述第一使能信号和所述参考时钟信号生成第二使能信号；环形振荡器，与所述D型触发器的输出端相连接，用于根据所述第二使能信号输出振荡信号；计数单元，与所述环形振荡器的输出端相连接，用于对所述环形振荡器的输出频率进行计数。

【技术特征摘要】
1.一种测试电路，其特征在于，包括：D型触发器，用于接收第一使能信号和参考时钟信号，并根据所述第一使能信号和所述参考时钟信号生成第二使能信号；环形振荡器，与所述D型触发器的输出端相连接，用于根据所述第二使能信号输出振荡信号；计数单元，与所述环形振荡器的输出端相连接，用于对所述环形振荡器的输出频率进行计数。2.根据权利要求1所述的测试电路，其特征在于，所述计数单元为二进制计数器。3.根据权利要求1或2所述的测试电路，其特征在于，所述计数单元包括：D型触发器，信号输入端连接所述环形振荡器的输出端，用于接收所述振荡信号；反相器，输入端与所述D型触发器的输出端相连接，输出端与所述D型触发器的D端相连接。4.根据权利要求3所述的测试电路，其特征在于，所述计数单元包括n个依次首尾相连的计数器，第n-1个计数器中D型触发器的输出端与第n个所述D型触发器的信号输入端相连接，其中，n个所述计数器的RN端相连接。5.根据权利要求4所述的测试电路，其特征在于，n个所述计数器输出n位二进制编码。6.根据权利要求1所述的测试电路，其特征在于，所述环形振荡器包括多个依次首位相连的反相器，在所述环形振荡器的输出端还设置有与非门，其中，所述与非门的一个输入端与末端反相器的输出端相连接，另外一个输入端用于接收所述D型触发器生成的第二使能信号。7....

【专利技术属性】
技术研发人员：李智，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31