曝光系统及曝光方法技术方案

本发明专利技术揭露一种曝光系统及曝光方法。曝光系统可对一物件进行一曝光工艺，并包括一移载装置及一光源装置。移载装置承载物件。光源装置可发出光线照射物件，并具有沿一第一方向并排配置的多个灯管组，该多个灯管组包含相邻的一第一灯管组与一第二灯管组，第一灯管组具有一第一灯管与一第二灯管，第一灯管与第二灯管分别沿与第一方向垂直的一第二方向延伸及拼接而具有一第一拼接处，第二灯管组具有一第三灯管与一第四灯管，第三灯管与第四灯管分别沿第二方向延伸及拼接而具有一第二拼接处，且第一拼接处与第二拼接处于第一方向上为错开设置。通过实施本发明专利技术，可令物件的曝光均齐度更低，藉此达到均匀化曝光的目的。

Exposure system and exposure method

The invention discloses an exposure system and an exposure method. The exposure system may carry out an exposure process for an object, and includes a carrier device and a light source device. Load carrying device. The light source device can emit light objects, and has a plurality of tubes along a first direction group disposed side by side, a plurality of lamp group comprises adjacent a first lamp group and a lamp group second, the first group has a first lamp tube and a lamp tube second, first and second tubes are respectively arranged in a direction perpendicular to the second the first direction with a first extension and stitching stitching, second lamp group is provided with a third lamp and a fourth lamp, third lamps and fourth tubes respectively extending along a second direction and a second stitching stitching, a first direction for a staggered and the stitching and stitching in second. By implementing the invention, the uniformity of the exposure of the object can be reduced, so as to achieve the purpose of homogenizing the exposure.

【技术实现步骤摘要】
曝光系统及曝光方法
本专利技术关于一种曝光系统及曝光方法。
技术介绍
随着科技的进步，平面显示装置已经广泛的被运用在各种领域，尤其是液晶显示装置，因具有体型轻薄、低功率消耗及无辐射等优越特性，已经渐渐地取代传统阴极射线管显示装置，而应用至许多种类的电子产品中，例如行动电话、可携式多媒体装置、笔记本电脑、液晶电视及液晶荧幕等等。于曝光工艺中，例如目前液晶显示装置的制造业者在提升薄膜晶体管液晶显示装置(TFTLCD)的广视角技术(Multi-domainVerticalAlignment,MVA)上，是利用一聚合物稳定配向(或称聚合物持续配向，PolymerSustainedAlignment,PSA)的工艺技术来提升开口率与对比等光学性能。其中，PSA技术是在面板的液晶滴入(OneDropFilling,ODF)工艺中，混合一光反应性单体(monomer)后通电，并进行紫外光曝光照射，使液晶分子内的光反应性单体硬化，并使硬化后的单体依据薄膜晶体管基板上的一图案化透明导电层的图案进行排列，以通过此硬化单体来达到使液晶配向的目的。一般业界常见的PSA曝光设备中，是使用固定光源与照度的紫外光，配合一反射板于一连续曝光时间下对固定距离面板的液晶层内的光反应单体持续照射，使其产生光聚合反应后而使液晶分子产生稳定配向而具有广视角的目的。不过，在进行大尺寸面板的曝光工艺时，由于面板的尺寸相当大，若曝光机使用长度太长的灯管，则会有灯管弯曲(bending)的问题，或是灯管内部涂层不均所造成的发光强度不均匀的现象，使得曝光的均匀度无法符合需求。
技术实现思路
本专利技术的目的为提供一种新颖的曝光系统及曝光方法。通过本专利技术的曝光系统及曝光方法，可达到均匀化曝光的目的。为达上述目的，依据本专利技术的一种曝光系统，可对一物件进行一曝光工艺，并包括一移载装置以及一光源装置。移载装置承载物件。光源装置设置于移载装置上，并可发出光线照射物件，光源装置具有沿一第一方向并排配置的多个灯管组，该多个灯管组包含相邻的一第一灯管组与一第二灯管组，第一灯管组具有一第一灯管与一第二灯管，第一灯管与第二灯管分别沿与第一方向垂直的一第二方向延伸及拼接而具有一第一拼接处，第二灯管组具有一第三灯管与一第四灯管，第三灯管与第四灯管分别沿第二方向延伸及拼接而具有一第二拼接处，且第一拼接处与第二拼接处于第一方向上为错开设置。为达上述目的，依据本专利技术的一种曝光方法，是通过一曝光系统对一物件进行曝光工艺，曝光系统具有一移载装置及一光源装置，移载装置承载物件，光源装置设置于移载装置上，并可发出光线照射物件，曝光方法包括以下步骤：使光源装置与物件相对移动，其中光源装置具有沿一第一方向并排配置的多个灯管组，该多个灯管组包含相邻的一第一灯管组与一第二灯管组，第一灯管组具有一第一灯管与一第二灯管，第一灯管与第二灯管分别沿与第一方向垂直的一第二方向延伸及拼接而具有一第一拼接处，第二灯管组具有一第三灯管与一第四灯管，第三灯管与第四灯管分别沿第二方向延伸及拼接而具有一第二拼接处，且第一拼接处与第二拼接处于第一方向上为错开设置；以及由该多个灯管组发射光线照射物件。在一实施例中，第一灯管具有一第一端，第三灯管具有与第一端同侧的一第二端，第一端沿第一方向上的一延伸线与第二端沿第一方向上的另一延伸线之间的最短距离介于光源装置任一支灯管沿第二方向长度的百分之二与百分之五十之间。在一实施例中，第一灯管与第二灯管沿第二方向的长度不相同。在一实施例中，该多个灯管组沿第二方向上具有相对的一第一侧边与一第二侧边，第一侧边与第二侧边为不齐平。在一实施例中，于分别与第一方向及第二方向垂直的一第三方向上，该多个灯管组完全覆盖物件。在一实施例中，该多个灯管组更包含与第一灯管组不相邻的一第三灯管组，第三灯管组具有一第五灯管与一第六灯管，第五灯管与第六灯管分别沿第二方向延伸及拼接而具有一第三拼接处，第三拼接处位于第一拼接处沿第一方向的延伸线上，且第一拼接处与第三拼接处之间具有至少一个灯管组。在一实施例中，物件是组立液晶面板或是具有配向膜层的透光基板。在一实施例中，于使光源装置与物件相对移动的步骤中，是使该多个灯管组与物件沿第一方向产生相对移动，或使该多个灯管组与物件沿第二方向产生相对移动，或使该多个灯管组与物件产生相对旋转移动。在一实施例中，该多个灯管组发射光线而具有一照射范围，且于使光源装置与物件相对移动的步骤中，物件位于照射范围内。承上所述，因本专利技术的曝光系统及曝光方法中，由于光源装置所具有的多个灯管组是分别由多支长条型灯管拼接而成，因此，两支灯管的拼接处对应的位置的照度相对较低。因而本专利技术利用光源装置的相邻灯管组的两拼接处于一方向上为错开设置，再配合光源装置与物件之间的相对移动，使在相同积光量的情况下，相较于已知技术而言，物件的曝光均齐度越低，藉此达到均匀化曝光的目的。附图说明图1A为本专利技术较佳实施例的一种曝光系统对一物件进行曝光工艺的示意图。图1B为图1A的曝光系统的俯视示意图。图2A为一种显示面板的剖视示意图。图2B为另一种显示面板的剖视示意图。图3为本专利技术较佳实施例的一种曝光方法的流程步骤图。图4A至图4E分别为配合图3的流程步骤的曝光系统的动作示意图。具体实施方式以下将参照相关图式，说明依本专利技术较佳实施例的曝光系统及曝光方法，其中相同的元件将以相同的参照符号加以说明。请参照图1A及图1B所示，其中，图1A为本专利技术较佳实施例的一种曝光系统1对一物件2进行曝光工艺的示意图，而图1B为图1A的曝光系统1的俯视示意图。于此，图1A未显示曝光系统1的移载装置11，而图1B为图1A的曝光系统1沿一第三方向D3的俯视示意图。曝光系统1可对一物件2进行一曝光工艺，并包括一移载装置11及一光源装置12。其中，物件2可为具有配向膜层的透光基板或是一组立液晶面板(assemblyliquidcrystalcell)，或是其他需利用曝光机(光源装置12)进行曝光工艺的面板、基板或物件。若物件2为具有配向膜层的透光基板时，则光源装置12的灯管所发出的紫外光为偏振光线，偏振光可使基板上的配向膜层(材料例如为聚亚酰胺，polyimide,PI)的分子结构发生不均匀性的光聚合、异构化或裂解反应，诱使配向膜层表面上的化学键结构产生特殊的方向性，以进一步诱导液晶分子可顺向排列而达到光配向的目的。若物件2为组立液晶面板时，则曝光系统1可对组立液晶面板进行的曝光工艺，可使混合于组立液晶面板的液晶中，或混合于配向膜层内，或混合于液晶中及配向膜层内的光反应单体聚合成可控制液晶排列的高分子配向层。其中，所谓的“组立液晶面板”是指已完成上、下基板及液晶层的填充及组装，但未进行切割而成为单一显示面板产品的面板。其中，一个组立液晶面板内可包含一个显示面板(包含一组上、下基板及一个液晶层)，或包含多组显示面板(包含多组上、下基板及多个液晶层，各上、下基板与一液晶层可组成一显示面板，但未经切割工艺)，本专利技术并不加以限定组立液晶面板内含有的显示面板的数量。请先参照图2A及图2B所示，以说明一个显示面板3、3a的结构。于此，图2A及图2B是显示一个切割完成的显示面板3、3a的结构，并非显示一个组立液晶面板的结构(组立液晶面板可包含一个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光系统，用于对一物件进行一曝光工艺，其特征在于，该曝光系统包括：移载装置，承载该物件；以及一光源装置，设置于该移载装置上，并发出光线照射该物件，该光源装置具有沿一第一方向并排配置的多个灯管组，该多个灯管组包含相邻的一第一灯管组与一第二灯管组，该第一灯管组具有一第一灯管与一第二灯管，该第一灯管与该第二灯管分别沿与该第一方向垂直的一第二方向延伸及拼接而具有一第一拼接处，该第二灯管组具有一第三灯管与一第四灯管，该第三灯管与该第四灯管分别沿该第二方向延伸及拼接而具有一第二拼接处，且该第一拼接处与该第二拼接处于该第一方向上为错开设置。

【技术特征摘要】
1.一种曝光系统，用于对一物件进行一曝光工艺，其特征在于，该曝光系统包括：移载装置，承载该物件；以及一光源装置，设置于该移载装置上，并发出光线照射该物件，该光源装置具有沿一第一方向并排配置的多个灯管组，该多个灯管组包含相邻的一第一灯管组与一第二灯管组，该第一灯管组具有一第一灯管与一第二灯管，该第一灯管与该第二灯管分别沿与该第一方向垂直的一第二方向延伸及拼接而具有一第一拼接处，该第二灯管组具有一第三灯管与一第四灯管，该第三灯管与该第四灯管分别沿该第二方向延伸及拼接而具有一第二拼接处，且该第一拼接处与该第二拼接处于该第一方向上为错开设置。2.如权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，该第一灯管具有一第一端，该第三灯管具有与该第一端同侧的一第二端，该第一端沿该第一方向上的一延伸线与该第二端沿该第一方向上的另一延伸线之间的最短距离大于或等于该光源装置任一支灯管沿该第二方向长度的百分之二，且小于或等于该光源装置任一支灯管沿该第二方向长度的百分之五十。3.如权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，该第一灯管与该第二灯管沿该第二方向的长度不相同。4.如权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，该多个灯管组沿该第二方向上具有相对的一第一侧边与一第二侧边，该第一侧边与该第二侧边为不齐平。5.如权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，于分别与该第一方向及该第二方向垂直的一第三方向上，该多个灯管组完全覆盖该物件。6.如权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，该多个灯管组更包含与该第一灯管组不相邻的一第三灯管组，该第三灯管组具有一第五...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈右儒，陈骏腾，曾耀腾，高振宽，
申请(专利权)人：群创光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71