彩色滤光片巨观检查机设备制造技术

本发明专利技术为一种彩色滤光片巨观检查机设备，主要用于检查彩色滤光片基板的目视巨观异常，包括：一巨观检查机台，具有一可移动的平台；一双屏蔽设备位于巨观检查机台内以进行光源的开关；一外部搬运设备，主要为搬运彩色滤光片基板；一玻璃基板流动设备，与一外部搬运设备结合以实现巨观检查设备于曝光前玻璃基板、曝光后玻璃基板以及结合彩膜色度计检查结果的多项检出应用。

Color filter, macro inspection machine, equipment

The invention relates to a color filter macro inspection machine equipment, mainly used for visual inspection of giant color filter substrate includes: a view of abnormal, macroscopic inspection machine, with a mobile platform; a double shielding device located in the macroscopic inspection machine to switch in an external light source; handling equipment, mainly for handling the color filter substrate; a glass substrate flow device, combined with an external handling equipment to achieve the macroscopic inspection equipment on the front glass substrate after exposure, exposure of glass substrate as well as a number of combined color film colorimeter test results detected by.

【技术实现步骤摘要】
彩色滤光片巨观检查机设备
本专利技术涉及一种彩色滤光片巨观检查机设备，主要用于检查显示器用的彩色滤光片基板的目视巨观异常，包括彩色滤光片的彩色上的不均匀(Mura)、背刮、背污、膜面刮伤、脏污、亮点、暗点等。
技术介绍
TFT-LCD面板之所以能够显示出彩色的影像，其关键因素在于彩色滤光片(彩色滤光片)，因彩色滤光片上涂布着红(Red)、绿(Green)、蓝(Blue)，此三种颜色的颜料光阻，光源再透过彩色滤光后，立即形成红、绿、蓝色光，最后在人眼中混合形成彩色的影像。彩色滤光片主要是由光阻涂布、预烤、曝光、显影、烘烤等数道制程所形成，但其过程中可能会因为制程上的参数设定错误或是机械设备发生故障、运作异常甚至是空气中的粉尘、毛屑等所导致彩色滤光片上出现瑕疵(Defect)，包括Mura、背刮、背污、膜面刮伤、脏污、亮点、暗点等。彩色滤光片上的瑕疵种类及瑕疵的大小都有可能影响到彩色滤光片是否可以判定通过检测或是必须进行修复甚至是丢弃等结果，若瑕疵检测的部分没有确实做好而影响到后段制程的进度，或是交货成品上的品管不良，这些都有可能增加厂商在成本上的负担，更有可能会造成公司在商誉上的负面影响。因此，在彩色滤光片制程上的瑕疵检测是厂商降低成本及提高市场竞争力不可或缺的一项重要的步骤。彩色滤光片中的瑕疵检测方面，可分为微观瑕疵(MicroDefect)检测及巨观瑕疵(巨观Defect)检测两大类，其微观瑕疵主要是指较不明显或不易用人眼观察的瑕疵，必须藉由显微镜头进行检测。而巨观瑕疵则是指较大区域或是较明显的瑕疵。彩色滤光片的瑕疵检测作业多以人工方式来进行检测，然而，每一位技术人员对于瑕疵种类的判定水平都不太相同，且技术人员经过一段时间的目视检查，会因为眼睛疲劳及生理疲惫而造成检测速度变慢，甚至是造成误判的情形发生。于是，近年来逐渐朝着自动化检测系统来发展，并且逐渐取代人工辨识，以达到提升生产效率及降低人力成本。本专利技术希望经由发展一套彩色滤光片的巨观检测系统，以达到巨观瑕疵检测及分类瑕疵种类，以方便技术人员后续的处理，其主要目的为使彩色滤光片的巨观检测系统能有效地加快瑕疵检测速度及提升厂商的在市场上竞争力。巨观瑕疵相对微观瑕疵于尺寸上来说是较大且可由人眼辨识。彩色滤光片中人眼不易观察的瑕疵包括：白缺陷、黑缺陷、透明电极膜缺陷、膜面伤、金属残留、滤光层缺陷、铬(Cr)蚀刻不良、玻璃气泡、异物残留、Mura、背刮、背污、膜面刮伤、脏污、亮点、暗点等等。巨观检测是在不同方位及角度时，以不同灯源来检查玻璃是否有Mura、磨刮及膜污等；于检测玻璃时是以缺陷规格，由专门人员来判定玻璃的良品或不良品，尤其，在面板成品/半成品(Cell)的后段检验中，时常会发现由待检测彩色滤光片不均匀所造成色不均(Mura)现象；常见的色不均现象，又可分为云状色不均(CloudMura)与线状色不均(LineMura)等各式各样的瑕疵，此类瑕疵由于会严重影响使用者的视觉感受，故为判别液晶显示器品质的重要依据。目前彩色滤光片业界所开发出来的光阻涂饰后、显影前的相关检查机制，例如：SamplingNa巨观、Auto-ThicknessMeasure与VirtualImageCheck等等，仅局限于检验出显影前的巨观瑕疵，对于显影后至彩色滤光片出货前，其终端巨观瑕疵检验，并无法提供有效的帮助。目前彩色滤光片业界是采用透过光，进行终端巨观瑕疵检验，其中，待检测彩色滤光片座落在光源与检验者之间，其上配置有红色光阻、绿色光阻、蓝色光阻与黑色矩阵等各式光阻；检验者是藉由目视的方式，观察光源自待检测彩色滤光片后方所穿透的光线，检验是否有巨观瑕疵的问题；然而，在待检测彩色滤光片的制造过程中，要对显影后的成品/半成品，进行色不均的检验，要透过单独地透过肉眼判定，是非常困难的，因此，上述的检验，仍然无法有效地检验出巨观瑕疵。另外，过去在彩色滤光片为小片出货时，虽然会利用屏蔽检验(MaskView)的方式，确认R/G/B三个颜色是否有色不均的现象，成效也相当良好。但是到了整片(FullSheet)出货以及负型树脂黑色矩阵导入以后，由于治具制作与处理上的困难，便无法再应用了，以致于造成出货时的巨观瑕疵检出能力低落。屏蔽配置在光源与待检测彩色滤光片之间，其遮光区域对应于待检测彩色滤光片的红色光阻与蓝色光阻，透光区域则对应于绿色光阻；如此，透过屏蔽与待检测彩色滤光片的作用，便可将光源所发射出的白光转换为绿光，检验者便可根据所过滤后绿光状况，即单一绿色画面，以便于检验巨观瑕疵，判断是否有绿色的色不均问题。同理，如欲检验红色或蓝色画面时，只需将待检测彩色滤光片或屏蔽，作左右一个次画素的位移即可，使得透光区域得以分别对应至红色光阻或蓝色光阻。在完成R/G/B单色画面的检验后，即可对色不均的巨观瑕疵，作出综合性的判断。综合上述，仍需要彩色滤光片巨观检查机台的改良对象与方法，以提高液晶显示器面板的生产效率、产量及质量。
技术实现思路
为了解决上述技术问题以及在不同制程阶段中可以快速地检测出巨观瑕疵，本专利技术的目的在于提供一种检测彩色滤光片的检验方法，以达到在制程的不同阶段提供不同针对性的检查。本专利技术是有关于一种彩色滤光片巨观(Macro)检查机，彩色滤光片巨观检查机是TFT-LCD产业中彩色滤光片(CF彩色滤光片)制程中重要的检查设备。主要用于检查CF基板的目视巨观异常，包括mura、背刮、背污、膜面刮伤、脏污、亮点、暗点等。在CF产线制程中为主生产线内(Inline)彩色滤光片巨观检查机设计装置，于制程中的不同阶段提供不同针对性的检查。本专利技术的特点为：(1)将巨观检查至于涂布(Coater)之后曝光机(曝光)之前并且配合彩膜色度计(EIT)设备，主要针对涂布后所产生的膜厚异常进行检出。其优点为可及时发现涂布后出现的异常，后续制程可针对异常进行处理以及可对彩膜色度计检出的mura(色不均色斑)进行人员确认。其缺点为检出的异常会存在假性异常(false异常)。(2)将巨观检测机台至于曝光机(曝光)后而在显影(Developer)前，主要针对涂布及曝光后产生的异常进行检出。其优点为可及时发现涂布及曝光后出现的异常，后续制程可针对异常进行处理及可以消除部分false异常。其缺点为与彩膜色度计配合情况不佳。(3)将巨观检测机台至于显影后烤箱(Oven)前，主要针对显影后出现的异常进行检出。其优点为可及时发现显影后出现的异常，后续可以针对异常进行处理。其缺点为不能与彩膜色度计配合，检出频度及拦截能力有限及异常品处理过程复杂。(4)将巨观检测机台至于烤箱后，对所述layer所有制程完成之后进行检出。其优点为检出准确，可最大限度的排除false异常。其优点为检出异常无法进行后续处理，只能重工(Rework)，发生异常损失极大。上述之外，本专利技术的效益更包括可实现四种主要检查设计：正常抽检涂布机后玻璃基板；正常抽检曝光后玻璃基板；与彩膜色度计配合，对彩膜色度计检出的异常玻璃基板进行人员复判；对彩膜突起检查机(INS)所检查出的异物在巨观进行检查，因此可不需要额外增加额外占地面积，以节省成本。在本专利技术的一实施例中，巨观机台需增加一个屏蔽(Shutter)，在巨观机台原本传输通道屏蔽的上方或者下方合适本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种彩色滤光片巨观检查机设备，主要用于检查彩色滤光片基板的目视巨观异常，包括：一彩膜巨观检查机台，具有一可移动的平台；一双屏蔽设备位于彩膜巨观检查机台内以进行光源的开关；一外部搬运设备，主要为搬运彩色滤光片基板；一玻璃基板流动设备，与一外部搬运设备结合以实现彩膜巨观检查设备。

【技术特征摘要】
1.一种彩色滤光片巨观检查机设备，主要用于检查彩色滤光片基板的目视巨观异常，包括：一彩膜巨观检查机台，具有一可移动的平台；一双屏蔽设备位于彩膜巨观检查机台内以进行光源的开关；一外部搬运设备，主要为搬运彩色滤光片基板；一玻璃基板流动设备，与一外部搬运设备结合以实现彩膜巨观检查设备。2.如权利要求1所述的巨观检查设备，其特征在于可结合玻璃基板流动设备以实现曝光前玻璃基板、曝光后玻璃基板以及结合彩膜色度计检查结果的多项检出应用。3.如权利要求1所述的彩色滤光片巨观检查机台，其特征在于，未曝光玻璃基板或彩膜色度计检出标记玻璃基板由上方屏蔽进入机台。4.如权利要求1所述的彩色滤光片巨观检查机台，其特征在于，曝光后玻璃基板由下方屏蔽进入机台；所有玻璃基板均由下方屏蔽流往下游。5.一种彩色滤光片巨观检查玻璃基板的流片方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱厚毅，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，重庆惠科金渝光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44