一种金属软管连接结构制造技术

本发明专利技术涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种金属软管连接结构，既可以通过于金属软管结构的软管接头上设置定位销，并于进出歧管的歧管接头上设置于该定位销相适配的缺口；以在旋转螺帽的过程中通过定位销限制软管接头在螺帽旋转方向上的摩擦移动，从而消除了金属软管本体在螺帽旋转方向上的移动；也可以通过于金属软管结构的金属直管上加装一平面轴承，以在旋转螺帽的过程中，通过该平面轴承减少软管接头在螺帽旋转方向上的移动，从而减少了金属软管本体在螺帽旋转方向上的移动；该连接结构不仅降低了金属软管由于旋转形变发生破裂漏损的风险，提高了金属软管本体的使用寿命，而且避免了软管接头与歧管接头无法固定紧的现象。

Metal hose connecting structure

The invention relates to the technical field of semiconductor devices, and particularly relates to a metal hose connection structure, either through to the hose joint metal hose structure is arranged on the positioning pin, the positioning pin is matched with the gap and set to import manifold manifold joint; in the process of rotary screw cap through the positioning pin friction movement limit the hose joint rotation direction in the nut, thereby eliminating the metal hose body moves in the direction of rotation of the nut; also can pass on the metal pipe metal hose structure is additionally provided with a plane bearing, in the process of rotating nut, reduce the movement in the rotation direction of the hose joint nut through the plane bearing, thus to reduce the metal hose body moves in the direction of rotation of the nut; the connecting structure not only reduces the rotational deformation of metal hose rupture due to leakage The utility model improves the service life of the metal hose body, and avoids the phenomenon that the hose joint and the manifold joint can not be fixed tightly.

【技术实现步骤摘要】
一种金属软管连接结构
本专利技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种金属软管(gasbellow)连接结构。
技术介绍
由于金属软管具有良好的可挠性及耐温、耐压、耐腐蚀性能，适用于蒸汽、水、油类及各种工业气体、药品等介质输送。金属软管对管道系统的运动，热膨胀吸收、振动吸收起着重要的作用。在半导体炉管机台中，制程气体也是经过金属软管导入到反应管内进行反应的，且金属软管是以旋紧螺纹的方式将其固定在进出气歧管(manifold)上的。目前，螺帽在进行旋转锁紧以将金属软管本体固定在进出歧管上的过程中，因螺帽与软管接头之间存在旋转摩擦，进而带动金属软管本体会沿着螺帽旋转的方向转动，金属软管这种不应该有的摩擦转动会造成两种影响；第一种影响是软管接头旋转后，金属软管本体发生旋转形变，多次这样的旋转形变造成金属软管本体的使用寿命缩短，也使金属软管本体在使用过程中发生破裂漏损的风险增加。第二种情况是金属软管本体在形变到极限角度后，会回弹，造成金属软管接头无法固定紧，甚至有可能发生气体泄露的情况；这些都是本领域技术人员所不期望见到的。
技术实现思路
针对上述存在的问题，本专利技术公开一种金属软管连接结构，其中，应用于将金属软管本体固定在进出歧管上，所述结构包括：所述连接结构包括歧管接头和金属直管；所述歧管接头设置于所述进出歧管上；所述金属直管一端与所述金属软管本体连接，另一端设置有与所述歧管接头相适配的软管接头；所述软管接头上设置一定位销，所述歧管接头上设置有与所述定位销相适配的缺口；所述金属直管上活动套设有一螺帽，所述歧管接头的外部设置有与所述螺帽相适配的螺纹，以在所述软管接头接入所述歧管接头并通过所述定位销固定后，将所述螺帽移动至所述软管接头的位置，并通过旋转所述螺帽锁紧所述歧管接头和所述软管接头；其中，在旋转所述螺帽的过程中，通过所述定位销限制所述软管接头在所述螺帽旋转方向上的移动。上述的金属软管连接结构，其中，所述软管接头临近所述金属直管的位置设置有凸缘；且所述定位销设置于靠近连接所述进出歧管接头侧的所述凸缘上。上述的金属软管连接结构，其中，所述歧管接头内设置有密封圈，所述密封圈位于所述软管接头和所述歧管接头的接入面上。上述的金属软管连接结构，其中，所述金属直管的直径为0.6-1cm。上述的金属软管连接结构，其中，所述歧管接头、软管接头、所述金属直管以及所述螺帽均为316不锈钢材质。本专利技术还公开了一种金属软管连接结构，其中，应用于将金属软管本体固定在进出歧管上，所述结构包括：所述连接结构包括歧管接头和金属直管；所述歧管接头设置于所述进出歧管上；所述金属直管一端与所述金属软管本体连接，另一端设置有与所述歧管接头相适配的软管接头；所述金属直管上活动套设有一螺帽和一平面轴承，所述平面轴承位于所述软管接头和所述螺帽之间，所述歧管接头的外部设置有与所述螺帽相适配的螺纹，以在所述软管接头接入歧管接头后，移动所述螺帽并带动所述平面轴承移动至所述软管接头的位置，并通过旋转所述螺帽锁紧所述歧管接头和所述软管接头；其中，在旋转所述螺帽的过程中，通过所述平面轴承减少所述软管接头在所述螺帽旋转方向上的移动。上述的金属软管连接结构，其中，所述软管接头临近所述金属直管的位置设置有凸缘。上述的金属软管连接结构，其中，所述歧管接头内设置有密封圈，所述密封圈位于所述软管接头和所述歧管接头的接入面上。上述的金属软管连接结构，其中，所述金属直管的直径为0.6-1cm。上述的金属软管连接结构，其中，所述歧管接头、软管接头、所述金属直管以及所述螺帽均为316不锈钢材质。上述专利技术具有如下优点或者有益效果：本专利技术公开的金属软管连接结构，既可以通过于金属软管结构的软管接头上设置定位销，并于进出歧管的歧管接头上设置于该定位销相适配的缺口；以在旋转螺帽的过程中通过定位销限制软管接头在螺帽旋转方向上的摩擦移动，从而消除了金属软管本体在螺帽旋转方向上的移动；也可以通过于金属软管结构的金属直管上加装一平面轴承，以在旋转螺帽的过程中，通过该平面轴承减少软管接头在螺帽旋转方向上的移动，从而减少了金属软管本体在螺帽旋转方向上的移动；该连接结构不仅降低了金属软管由于旋转形变发生破裂漏损的风险，提高了金属软管本体的使用寿命，而且避免了软管接头与歧管接头无法固定紧的现象，进而降低机台在保养过程中难度、缩短机台保养的耗时、提高机台零件的使用寿命和提高机台的保养成功率。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本专利技术的主旨。图1a是本专利技术实施例一中软管接头未接入歧管接头时的金属软管连接结构的示意图；图1b是本专利技术实施例一中软管接头已接入歧管接头时的金属软管连接结构的示意图；图2a是本专利技术实施例二中软管接头未接入歧管接头时的金属软管连接结构的示意图；图2b是本专利技术实施例二中软管接头已接入歧管接头时的金属软管连接结构的示意图。具体实施方式目前，在将金属软管本体固定在进出歧管上的过程中，因螺帽与软管接头之间存在旋转摩擦，使金属软管的摩擦转动会伴随着旋转拧紧而存在，如何要消除或降低摩擦转动，可以从以下两个方面来着手：1.固定住软管接头，使摩擦转动无法发生；2.正视摩擦转动的发生，引导利用，将摩擦转动降到最低。下面结合附图和具体的实施例对本专利技术作进一步的说明，但是不作为本专利技术的限定。实施例一如图1a和图1b所示，本实施例涉及一种金属软管连接结构，可应用于将金属软管本体11固定在进出歧管21上，通过设置定位销15固定住软管接头13，以消除软管接头13由于旋转拧紧螺帽14而产生的摩擦移动。具体的，上述金属软管连接结构包括歧管接头22和金属直管12，歧管接头22设置于进出歧管21上；金属直管12一端与金属软管本体11连接，另一端设置有与歧管接头22相适配的软管接头13(软管接头13与歧管接头22相适配具体为：软管接头13的上部131(即图中未设置凸缘的部分，上部和下部可参照图中软管接头所放置的位置)的外径与歧管接头22的内径相当(软管接头13的上部131的外径略小于歧管接头22的内径)，以及软管接头13的上部131的长度和歧管接头22内接口的长度大致相当，以使得软管接头13刚好可以接入该歧管接头22)；软管接头13上设置一定位销15，歧管接头22上设置有与定位销15相适配的缺口23(缺口23与定位销15匹配是指定位销15刚好可以卡在缺口23里，以消除摩擦移动)；金属直管12上活动套设有一螺帽14(按如图1a和图1b所示的放置方式，该螺帽14顶部和内部开口部分的直径大于底部开口部分的直径)，歧管接头22的外部设置有与螺帽14相适配的螺纹(即歧管接头22的外部螺纹和螺帽14的内部螺纹相匹配)，以在软管接头13接入歧管接头22并通过定位销15固定后(图1a中软管接头13沿箭头方向接入歧管接头22)，将螺帽14移动至软管接头13的位置，并通过旋转螺帽14锁紧歧管接头22和软管接头13(为了使得螺帽14可以锁紧歧管接头22和软管接头13，因此螺帽14顶部和内部开口部分的直径与歧管接头22的外径和软管接头13下部132的外径大致相当)；其中，在旋转螺帽14的过程中，通过定位销本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属软管连接结构，其特征在于，应用于将金属软管本体固定在进出歧管上，所述连接结构包括歧管接头和金属直管；所述歧管接头设置于所述进出歧管上；所述金属直管一端与所述金属软管本体连接，另一端设置有与所述歧管接头相适配的软管接头；所述软管接头上设置一定位销，所述歧管接头上设置有与所述定位销相适配的缺口；所述金属直管上活动套设有一螺帽，所述歧管接头的外部设置有与所述螺帽相适配的螺纹，以在所述软管接头接入所述歧管接头并通过所述定位销固定后，将所述螺帽移动至所述软管接头的位置，并通过旋转所述螺帽锁紧所述歧管接头和所述软管接头；其中，在旋转所述螺帽的过程中，通过所述定位销限制所述软管接头在所述螺帽旋转方向上的移动。

【技术特征摘要】
1.一种金属软管连接结构，其特征在于，应用于将金属软管本体固定在进出歧管上，所述连接结构包括歧管接头和金属直管；所述歧管接头设置于所述进出歧管上；所述金属直管一端与所述金属软管本体连接，另一端设置有与所述歧管接头相适配的软管接头；所述软管接头上设置一定位销，所述歧管接头上设置有与所述定位销相适配的缺口；所述金属直管上活动套设有一螺帽，所述歧管接头的外部设置有与所述螺帽相适配的螺纹，以在所述软管接头接入所述歧管接头并通过所述定位销固定后，将所述螺帽移动至所述软管接头的位置，并通过旋转所述螺帽锁紧所述歧管接头和所述软管接头；其中，在旋转所述螺帽的过程中，通过所述定位销限制所述软管接头在所述螺帽旋转方向上的移动。2.如权利要求1所述的金属软管连接结构，其特征在于，所述软管接头临近所述金属直管的位置设置有凸缘，且所述定位销设置于靠近连接所述进出歧管接头侧的所述凸缘上。3.如权利要求1所述的金属软管连接结构，其特征在于，所述歧管接头内设置有密封圈，所述密封圈位于所述软管接头和所述歧管接头的接入面上。4.如权利要求1所述的金属软管连接结构，其特征在于，所述金属直管的直径为0.6-1cm。5.如权利要求1所述的金属软管连接结构，其特征在于，所述歧管接头、软管接头、所述金...

【专利技术属性】
技术研发人员：周成志，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42