The invention discloses a Czochralski single crystal graphite heater, which comprises a graphite heater cylinder (1), the graphite heater cylinder (1) is uniformly provided with a plurality of slots on the same width and spacing of the slots (2) and (3), the graphite heater cylinder (1) the opposite sides also with the anode and the cathode (4) fixed foot fixed foot (5), anode and cathode (4) fixed foot fixed foot (5) are arranged on one or a plurality of fixing holes (6). The invention has the advantages of simple operation, improved heating performance and remarkable energy saving effect.
【技术实现步骤摘要】
一种直拉单晶石墨加热器
本专利技术涉及加热器领域,特别是涉及一种直拉单晶石墨加热器。
技术介绍
石墨加热器是单晶炉的加热装置,石墨加热器采用等静压石墨电热体,具有耐高温、容易加工,价格比钨、钼、钽便宜的优点。石墨加热器的电阻率虽比纯金属高,但出于强度方面的考虑,截面积不能太小,因此整个石墨加热器的电阻很小,所以采用低电压、大电流的加热方式。石墨的性能差别很大,而总的电阻值又很小,因此常将石墨加热器进行再加工,以达到电阻要求。由于加热器采用大电流,低电压,电流密度大,因此需要采用开槽的方法既满足电阻的要求,同时满足强度和过载能力。然而现有石墨加热器的开槽宽度和分瓣设计存在设计不合理、理化特性不均匀,保温性能不好等问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足,提供一种直拉单晶石墨加热器,提高加热性能。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的:一种直拉单晶石墨加热器,它包括石墨加热器筒体,所述石墨加热器筒体上均匀开设有多个宽度相同且间隔分布的上狭槽和下狭槽,所述石墨加热器筒体的两侧还对立设有阳极固定脚和阴极固定脚,阳极固定脚和阴极固定脚上均开设有一个或多个固定孔。进一步的,所述阳极固定脚和阴极固定脚的宽度为两个相邻上狭槽间的间距。进一步的,所述阳极固定脚和阴极固定脚为L型固定脚,所述固定孔设置在L型固定脚的横向段上。进一步的,所述石墨加热器筒体两侧还对立设有阳极固定备用脚和阴极固定备用脚,阳极固定备用脚和阴极固定备用脚的下端也开设有一个或多个固定孔。进一步的,所述阳极固定备用脚和阴极固定备用脚所在平面与阳极固定脚和阴极固定脚所在平面呈度角。进一步的 ...
【技术保护点】
一种直拉单晶石墨加热器,它包括石墨加热器筒体(1),其特征在于:所述石墨加热器筒体(1)上均匀开设有多个宽度相同且间隔分布的上狭槽(2)和下狭槽(3),所述石墨加热器筒体(1)的两侧还对立设有阳极固定脚(4)和阴极固定脚(5),阳极固定脚(4)和阴极固定脚(5)上均开设有一个或多个固定孔(6)。
【技术特征摘要】
1.一种直拉单晶石墨加热器,它包括石墨加热器筒体(1),其特征在于:所述石墨加热器筒体(1)上均匀开设有多个宽度相同且间隔分布的上狭槽(2)和下狭槽(3),所述石墨加热器筒体(1)的两侧还对立设有阳极固定脚(4)和阴极固定脚(5),阳极固定脚(4)和阴极固定脚(5)上均开设有一个或多个固定孔(6)。2.根据权利要求1所述的一种直拉单晶石墨加热器,其特征在于:所述阳极固定脚(4)和阴极固定脚(5)的宽度为两个相邻上狭槽(2)间的间距。3.根据权利要求1所述的一种直拉单晶石墨加热器,其特征在于:所述阳极固定脚(4)和阴极固定脚(5)为L型固定脚,所述固定孔(6)设置在L型固定脚的横向段上。4.根据权利要求1所述的一种直拉单晶石墨加热器,其特征在于:所述石墨加热器筒体(1)两侧还对立设有阳极固定备用脚(7)和阴极固定备用脚,阳极固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈进,
申请(专利权)人:彭州市运达知识产权服务有限公司,
类型:发明
国别省市:四川,51
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