The invention relates to a rotary shelf device for a nano coating equipment, belonging to the vacuum coating technology field. In the device, including a reaction chamber, the reaction chamber is equipped with a carousel, the carousel center shaft is a hollow pipe structure, and the hollow tube is provided with a through hole, the top of the reaction chamber provided with an air exhaust port, exhaust port and hollow tube on the same axis and is located in the top of the ring gear in the bottom shelf installation rotating disk, gear mounted rotary motor shaft, a storage layer is placed on the rotary workpiece shelf. The device of the invention in the process of coating shelf continuously rotate, avoid the emergence of regional chemical monomer gas density caused by uneven uneven coating thickness fixed region phenomenon; through holes corresponding to each shelf hollow tube, can make chemical monomer gas into the chamber formed along each shelf radially through hole diffusion trend, which from the cavity wall to the hollow area chemical monomer density is more uniform.
【技术实现步骤摘要】
一种纳米镀膜设备旋转货架装置
本专利技术属于真空镀膜
,特别涉及一种纳米镀膜设备旋转货架装置。
技术介绍
等离子镀膜作为提升材料表面性能有效方法被广泛应用于航空航天、汽车制造、机械重工和五金工具制造等领域。在等离子镀膜过程中,需要将镀膜设备腔室内空气抽出维持低压力状态,同时需要通入工艺气体和化学单体气体用于反应生成聚合物涂层。由于整个等离子镀膜过程中需要持续抽气,且抽气口、进气口、加料口位置是固定的,因此化学单体气体有向抽气口方向扩散的趋势,导致化学单体气体在加料口区域和扩散方向区域的密度相对较大。这就出现了这些区域放置的被镀膜工件表面聚合物涂层厚度较厚而其他区域涂层厚度较薄现象,造成批量生产的质量不一致。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服上述不足,提供一种纳米镀膜设备旋转货架装置。本专利技术为实现上述目的所采用的技术方案如下:一种纳米镀膜设备旋转货架装置,其特征在于:包括反应腔室,所述反应腔室内设置有旋转货架,所述旋转货架的中心轴为中空管结构,且中空管上设置有通孔,反应腔室顶部安装有抽气口,抽气口与中空管在同一轴线上且位于其上方,抽气口安装有导向套,且导向套内径比中空管外径大,中空管可插入抽气口导向套并相对抽气口转动。所述旋转货架底部圆盘上安装内齿圈,旋转电机轴上安装齿轮,齿轮与内齿圈啮合,通过齿轮带动货架底部圆盘齿圈使货架转动,工件放置在旋转货架的置物层上,真空泵通过真空管路与腔体抽气口连接,进气阀通过进气管路与腔体进气口连接,加料阀通过加料管路与腔体加料口连接,射频电源通过导线与腔体内电极连接。所述反应腔室的腔容积为50L~3000L,材质为铝 ...
【技术保护点】
一种纳米镀膜设备旋转货架装置,其特征在于:包括反应腔室(1),所述反应腔室(1)内设置有旋转货架(2),所述旋转货架(2)的中心轴为中空管结构,且中空管上设置有通孔,反应腔室顶部安装有抽气口,抽气口与中空管在同一轴线上且位于其上方,抽气口安装有导向套,且导向套内径比中空管外径大,所述旋转货架(2)底部圆盘上安装内齿圈,旋转电机(6)轴上安装齿轮,工件(8)放置在旋转货架(2)的置物层上,真空泵(3)通过真空管路与反应腔室(1)腔体抽气口连接,进气阀(4)通过进气管路与反应腔室(1)腔体进气口连接,加料阀(5)通过加料管路与反应腔室(1)腔体加料口连接,射频电源(7)通过导线与反应腔室(1)腔体内电极连接。
【技术特征摘要】
1.一种纳米镀膜设备旋转货架装置,其特征在于:包括反应腔室(1),所述反应腔室(1)内设置有旋转货架(2),所述旋转货架(2)的中心轴为中空管结构,且中空管上设置有通孔,反应腔室顶部安装有抽气口,抽气口与中空管在同一轴线上且位于其上方,抽气口安装有导向套,且导向套内径比中空管外径大,所述旋转货架(2)底部圆盘上安装内齿圈,旋转电机(6)轴上安装齿轮,工件(8)放置在旋转货架(2)的置物层上,真空泵(3)通过真空管路与反应腔室(1)腔体抽气口连接,进气阀(4)通过进气管路与反应腔室(1)腔体进气口连接,加料阀(5)通过加料管路与反应腔室(1)腔体加料口连接,射频电源(7)通过导线与反应腔室(1)腔体内电极连接。2...
【专利技术属性】
技术研发人员:宗坚,
申请(专利权)人:无锡荣坚五金工具有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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