一种绝缘栅双极晶体管制造技术

本发明专利技术公开了一种绝缘栅双极晶体管，包括：衬底；位于衬底的栅极、发射极和集电极；其中，所述集电极和所述发射极分别位于所述衬底的两端；所述栅极包括窄部和展宽部，所述展宽部位于所述栅极靠近所述集电极一侧；超结结构，位于所述衬底上靠近所述集电极一侧，以在所述晶体管关断时，通过所述超结结构耗尽堆积在所述集电极侧的过剩载流子。用以解决现有技术中的绝缘栅双极晶体管器件，存在的未耗尽区域的载流子排出慢，故关断速度慢的技术问题。实现了有效缩短拖尾电流时间，减小关断时间的技术效果。

Insulated gate bipolar transistor

The invention discloses an insulated gate bipolar transistor includes: a substrate; a substrate, gate emitter and collector; wherein, the collector and the emission pole ends are respectively positioned on the substrate; the gate includes a narrow portion and the broadening, broadening the gate is located close to the collector side; super junction structure is arranged on the substrate adjacent to the collector side, the transistor is turned off by the super junction depletion in the accumulation of excess carrier collector side. The utility model is used to solve the technical problem of slow carrier discharge and slow shutdown speed in an exhausted region of an insulated gate bipolar transistor device in the prior art. The technical effect of effectively reducing the trailing current time and reducing the turn off time is achieved.

【技术实现步骤摘要】
一种绝缘栅双极晶体管
本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种绝缘栅双极晶体管。
技术介绍
绝缘栅双极晶体管(InsulatedGateBipolarTransistor,IGBT)以其低通态压降、高耐压、驱动控制简单、易并联等优点广泛地应用在各类电力电子系统中，是目前高压功率器件领域核心器件之一。为了实现器件的最佳性能，需要尽可能的实现器件各项参数接近设计极限，实际器件设计中，由于各项参数特性相互制约，必须遵循折中原则，选择相对最佳值。通常很难在某项参数得到优化同时，其它参数同时也实现优化。这对设计结构带来了很大的挑战。Sumitomo等人提出一种采用栅极部分变窄结构来增强电导调制效应的结构，称为partiallynarrowmesaIGBT(PNM-IGBT)，这种器件采用栅极结构底部区域横向展宽的方法，在局部可以形成纳米级宽度的导电沟道，这样在器件正向导通时，当相邻栅极结构变窄区域接近纳米级宽度的导电沟道时，形成的反型层来阻挡空穴的流动，由于反型层极高的掺杂浓度，在正向导通时阻挡的几乎全部的空穴流动，从而实现极佳的电导调制特性，因此该结构的IGBT器件可以获得低至接近理论极限的导通压降能力。然而，目前采用PNM结构虽然阻挡了绝大部分的空穴载流子，使得IGBT器件能够获得接近理论极限的导通压降能力，但是如图1所示在器件关断时，漂移区聚集了大量的过剩载流子101，由于耗尽层的作用，这些过剩载流子被扫到接近于器件集电极底部，需要通过缓慢的复合作用才能消失，所以当PNM结构的IGBT正向压降特性接近理论极限的同时，其关断时间大幅度增加，从而导致关断损耗的大幅增加。因此影响了器件的关断特性。也就是说，现有技术中的PNM-IGBT器件，存在未耗尽区域的载流子排出慢，故关断速度慢的技术问题。
技术实现思路
本专利技术通过提供一种绝缘栅双极晶体管，解决了现有技术中的PNM-IGBT器件，存在的未耗尽区域的载流子排出慢，故关断速度慢的技术问题。一方面，为解决上述技术问题，本专利技术提供了如下技术方案：一种绝缘栅双极晶体管，其特征在于，包括：衬底；位于衬底的栅极、发射极和集电极；其中，所述集电极和所述发射极分别位于所述衬底的两端；所述栅极包括窄部和展宽部，所述展宽部位于所述栅极靠近所述集电极一侧；超结结构，位于所述衬底上靠近所述集电极一侧，以在所述晶体管关断时，通过所述超结结构耗尽堆积在所述集电极侧的过剩载流子。可选的，所述超结结构连接所述集电极和所述展宽部。可选的，所述超结结构为交替设置的多根P型立柱和多根N型立柱；其中，每相邻两根P型立柱之间的区域为一根N型立柱。可选的，所述P型立柱的掺杂浓度等于所述N型立柱的掺杂浓度。可选的，所述P型立柱的宽度等于所述N型立柱的宽度。可选的，所述衬底的一端设置有第一阱区和位于所述第一阱区表面的第二阱区；所述第二阱区为发射极区；所述衬底的另一端设置有集电极区；所述集电极区与所述第一阱区的掺杂类型均为第一掺杂类型；所述第二阱区的掺杂类型为与所述第一掺杂类型不同的第二掺杂类型。可选的，所述第一掺杂类型为N型，所述第二掺杂类型为P型；或者，所述第一掺杂类型为P型，所述第二掺杂类型为N型。可选的，所述第二阱区表面有发射极接触；所述集电极区表面有集电极接触。可选的，所述展宽部位于所述第一阱区和所述超结结构之间。本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：本申请实施例提供的绝缘栅双极晶体管，在衬底的靠近集电极一侧形成超结结构，在晶体管关断时，由于耗尽层的展宽作用，大量载流子在电场作用下迅速被扫到所述超结结构区域，并通超结结构快速扫出器件，有效缩短拖尾电流时间，减小关断时间。进一步，由于所述超结结构的平板电场分布，还能提升器件的耐压特性，且不会对器件正向导通压降带来负面影响。另外，所述超结结构形成在集电极一侧，不需要贯穿整个器件漂移区，在工艺上也易于实现。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为
技术介绍
中绝缘栅双极晶体管的结构图；图2为本申请实施例中绝缘栅双极晶体管的结构图。具体实施方式本申请实施例通过提供一种绝缘栅双极晶体管，解决了现有技术中的IGBT器件，存在的未耗尽区域的载流子排出慢，故关断速度慢的技术问题。实现了有效缩短拖尾电流时间，减小关断时间的技术效果。为解决上述技术问题，本申请实施例提供技术方案的总体思路如下：本申请提供一种绝缘栅双极晶体管，包括：衬底；位于衬底的栅极、发射极和集电极；其中，所述集电极和所述发射极分别位于所述衬底的两端；所述栅极包括窄部和展宽部，所述展宽部位于所述栅极靠近所述集电极一侧；超结结构，位于所述衬底上靠近所述集电极一侧，以在所述晶体管关断时，通过所述超结结构耗尽堆积在所述集电极侧的过剩载流子。本申请实施例提供的绝缘栅双极晶体管，在衬底的靠近集电极一侧形成超结结构，在晶体管关断时，由于耗尽层的展宽作用，大量载流子在电场作用下迅速被扫到所述超结结构区域，并通超结结构快速扫出器件，有效缩短拖尾电流时间，减小关断时间。进一步，由于所述超结结构的平板电场分布，还能提升器件的耐压特性，且不会对器件正向导通压降带来负面影响。另外，所述超结结构形成在集电极一侧，不需要贯穿整个器件漂移区，在工艺上也易于实现。为了更好的理解上述技术方案，下面将结合具体的实施方式对上述技术方案进行详细说明，应当理解本专利技术实施例以及实施例中的具体特征是对本申请技术方案的详细的说明，而不是对本申请技术方案的限定，在不冲突的情况下，本申请实施例以及实施例中的技术特征可以相互组合。在本实施例中，提供了一种绝缘栅双极晶体管，请参考图2，如图2所示，所述晶体管包括：衬底1；位于衬底的栅极2、发射极3和集电极4；其中，所述集电极4和所述发射极3分别位于所述衬底1的两端；所述栅极2包括窄部21和展宽部22，所述展宽部22位于所述栅极2靠近所述集电极4一侧；超结结构5，位于所述衬底1上靠近所述集电极4一侧，以在所述晶体管关断时，通过所述超结结构5耗尽堆积在所述集电极4侧的过剩载流子。下面结合图2，分别介绍本实施例提供的绝缘栅双极晶体管提高器件关断速度的原理和结构。首先，介绍所述绝缘栅双极晶体管提高器件关断速度的原理。IGBT器件工作在导通状态时，内部存储了大量载流子，故在关断过程时，就会存在大量载流子排出的过程，在耗尽层展宽的作用下，大量载流子由于电场作用如图1中的圆点所示，被推到器件接近底部集电极4附近位置，本申请中的PNM-IGBT器件，在集电极侧形成了超结结构5，由于电荷平衡原理，超结结构5在纵向及横向同时形成耗尽区扩展，这样能够快速的扫出积累在器件集电极底部的过剩载流子，该作用时间相比传统结构中载流子在底部区域的缓慢复合作用是非常快的，所以可以有效的缩短拖尾电流的时间，减小关断时间，从而解决PNM-IGBT器件在导通压降接近理论极限的同时，动态参数发生退化的问题，从而全面提升器件的各项参数能力。接下来，介绍所述绝缘栅双极晶体管的结构。在本申请实施例中，考虑到工艺实现的简便性，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种绝缘栅双极晶体管，其特征在于，包括：衬底；位于衬底的栅极、发射极和集电极；其中，所述集电极和所述发射极分别位于所述衬底的两端；所述栅极包括窄部和展宽部，所述展宽部位于所述栅极靠近所述集电极一侧；超结结构，位于所述衬底上靠近所述集电极一侧，以在所述晶体管关断时，通过所述超结结构耗尽堆积在所述集电极侧的过剩载流子。

【技术特征摘要】
1.一种绝缘栅双极晶体管，其特征在于，包括：衬底；位于衬底的栅极、发射极和集电极；其中，所述集电极和所述发射极分别位于所述衬底的两端；所述栅极包括窄部和展宽部，所述展宽部位于所述栅极靠近所述集电极一侧；超结结构，位于所述衬底上靠近所述集电极一侧，以在所述晶体管关断时，通过所述超结结构耗尽堆积在所述集电极侧的过剩载流子。2.如权利要求1所述的晶体管，其特征在于，所述超结结构连接所述集电极和所述展宽部。3.如权利要求1所述的晶体管，其特征在于，所述超结结构为交替设置的多根P型立柱和多根N型立柱；其中，每相邻两根P型立柱之间的区域为一根N型立柱。4.如权利要求3所述的晶体管，其特征在于，所述P型立柱的掺杂浓度等于所述N型立柱的掺杂浓度。5.如权利要求3所述的晶体管...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆江，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11