一种超纯水生产系统及其生产方法技术方案

本发明专利技术的首要改进之处为一种超纯水生产方法及a)将预处理后的原水经过第一次过滤；所述第一次过滤使用保安过滤器；b)将所述第一次过滤后的原水进行反渗透过滤；c)将所述反渗透过滤后的纯水进行电去离子处理；d)将所述电去离子处理后的淡水进行电阻率检测，并与预设值比较，若达标则得到超纯水；若不达标则重复进行步骤c)。本发明专利技术提供的超纯水生产方法，检测项目少，超纯水生产效率高，本发明专利技术还提供了一种相应的超纯水生产系统。

Ultrapure water production system and production method thereof

The first improvement of the present invention is a method to produce ultrapure water and a) the pretreatment of raw water after the first filtration; the first filtration filter; b) will be the first time after the filtration of the raw water for reverse osmosis filtration; c) the reverse osmosis filtered electrodeionization process; d) the electrodeionization process after the fresh water resistivity detection, and compared with the preset value, if the standard is ultra pure water; if compliance to repeat steps C). The method for producing ultra pure water provided by the invention has less testing items and high efficiency of ultra pure water production, and also provides a corresponding ultrapure water production system.

【技术实现步骤摘要】
一种超纯水生产系统及其生产方法
本专利技术涉及一种水处理设备领域，具体涉及一种超纯水生产系统及其生产方法。
技术介绍
超纯水，是电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化或者一些化工制备过程中的水汽源等。车用尿素是柴油车尾气处理装置中一个必不可少的试剂，在车用尿素的混配和制备过程中，必须要用超纯水，因为一般的水中含有大量的金属离子和氯化物，会影响尾气处理装置的感应器探头的灵敏度甚至导致设备的损坏。现有技术中制备超纯水通常都会将原水进行多道过滤，并检测每道过滤后的水中离子浓度、电阻率、电导率等参数，造成装置包括的零部件和机构过多，体积过于庞大，不利于产品的小型化。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种检测项目少，超纯水生产效率高的超纯水生产方法和系统。为解决以上技术问题，本专利技术的技术方案为采用一种超纯水生产方法，其包括：a)将预处理后的原水经过第一次过滤；所述第一次过滤使用保安过滤器；b)将所述第一次过滤后的原水进行反渗透过滤；c)将所述反渗透过滤后的纯水进行电去离子处理；d)将所述电去离子处理后的淡水进行电阻率检测，并与预设值比较，若达标则得到超纯水；若不达标则重复进行步骤c)。优选的，所述预处理具体为：将原水通过除杂后分别进行第a次过滤、第b次过滤和第c次过滤；过滤完成后对所述第a次过滤、第b次过滤和第c次过滤的设备进行反冲洗操作。优选的，所述第a次过滤为多介质过滤、第b次过滤为吸附介质过滤；第c次过滤为软化。优选的，所述多介质过滤为石英砂过滤；所述吸附介质过滤为活性炭过滤。优选的，所述第c次过滤使用水软化装置，且还包括盐箱用于软化后将含钾钠离子的盐水抽入所述水软化装置，对所述水软化装置内的介质进行再生。优选的，将所述反渗透过滤后的纯水进行电去离子处理具体为：将反渗透过滤后的纯水进行电导率检测；检测完电导率后的纯水进行电去离子处理，分为浓水、极水和淡水；所述浓水和极水进行废水处理；淡水进行步骤d)操作。本专利技术还提供了一种超纯水生产系统，包括：预处理系统，用于对原水进行预处理；保安过滤系统，包括保安过滤器和若干个高压泵；用于对所述预处理后的原水进行第一次过滤；反渗透过滤系统，包括若干个与所述若干个高压泵一一对应的反渗透膜组件，用于对第一次过滤后的纯水进行反渗透过滤操作；电去离子系统，包括电去离子器，用于用于进行电除盐操作；检测系统，至少包括电导率仪、电阻率仪，用于检测反渗透过滤后的纯水和电去离子操作后的电阻率；控制系统，包括中央处理器及检测电导率和电阻率的传感器、所述传感器将检测信号传输给所述中央处理器，所述中央处理器将数值与预设值进行比对，若不匹配则重复相应过滤操作。优选的，所述预处理系统包括：原水泵，用于将原水泵送至过滤机构中；通过管路依次连接的第一过滤机构、第二过滤机构和第三过滤机构；所述第一过滤机构、第二过滤机构和第三过滤机构中一个或多个过滤机构的上部均设置有反冲洗装置。优选的，所述预处理系统还包括废水排放管路，一端与所述第一过滤机构、第二过滤机构、第三过滤机构中的一个或多个过滤机构的顶部连接，另一端连接有废水收集排放装置。优选的，所述第一过滤机构为石英砂过滤器；所述第二过滤机构为活性炭过滤器；所述第三过滤机构为软化器。本专利技术提供了一种超纯水的制备方法，包括其包括a)将预处理后的原水经过第一次过滤；所述第一次过滤使用保安过滤器；b)将所述第一次过滤后的原水进行反渗透过滤；c)将所述反渗透过滤后的纯水进行电去离子处理；d)将所述电去离子处理后的淡水进行电阻率检测，并与预设值比较，若达标则得到超纯水；若不达标则重复进行步骤c)。本专利技术提供的超纯水生产方法首先对原水进行预处理后，水进入保安过滤器进行第一次过滤，通过保安过滤器除去其中浊度为1FTU度以上的细小微粒。同时使用多个反渗透和电去离子(EDI)共用，能够除去水中的大部分有机物和无机物，使水能够达到超纯水标准。并且由于本专利技术提供的超纯水生产系统优选用于小型化的尿素生产设备中，需要更紧凑和小体型的设备。所以需要检测和控制缓解要尽可能的少，由于上述保安过滤器、反渗透装置、EDI模块和预处理模块按照处理顺序对原水进行处理，能够达到超纯水的标准，仅仅在超纯水出口处设置电阻率检测就可以满足超纯水的检测，节省了成本，生产效率高。本专利技术还提供了一种相应的超纯水生产系统，预处理系统，用于对原水进行预处理；保安过滤系统，包括保安过滤器和若干个高压泵；用于对所述预处理后的原水进行第一次过滤；反渗透过滤系统，包括若干个与所述若干个高压泵一一对应的反渗透膜组件，用于对第一次过滤后的纯水进行反渗透过滤操作；电去离子系统，包括电去离子器，用于进行电除盐操作；检测系统，至少包括电导率仪、电阻率仪，用于检测反渗透过滤后的纯水和电去离子操作后的电阻率；控制系统，包括中央处理器及检测电导率和电阻率的传感器、所述传感器将检测信号传输给所述中央处理器。所述中央处理器将数值与预设值进行比对，若不匹配则说明水处理设备有故障应及时排出。本专利技术提供的超纯水生产系统通过保安过滤系统、预处理系统中设置的反冲洗装置，以及仅包括一个导电率仪和电阻仪就能够保证最终的超纯水符合标准，只把控最终结果是否满足超纯水要求，如果不符合标准就进行再次的过滤，或排查问题出现在什么地方及时维修。附图说明图1本专利技术一个实施例提供的超纯水生产流程图；图2本专利技术一个实施例提供的超纯水生产系统的主视图示意图；图3本专利技术一个实施例提供的超纯水生产系统的侧视图示意图；图4本专利技术一个实施例所示的超纯水预处理模块的结构示意图；图5为本专利技术一个实施例所示的超纯水生产系统及预处理模块连接示意图。具体实施方式为了使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合具体实施方式对本专利技术作进一步的详细说明。本专利技术提供了一种超纯水生产方法如图1所示，包括如下步骤：a)将预处理后的原水经过第一次过滤；所述第一次过滤使用保安过滤器；b)将所述第一次过滤后的原水进行反渗透过滤；c)将所述反渗透过滤后的纯水进行电去离子处理；d)将所述电去离子处理后的淡水进行电阻率检测，并与预设值比较，若达标则得到超纯水；若不达标则重复进行步骤c)。为了使本专利技术提供的超纯水在第一次过滤后不需要多道检测，需要保证原水在进入保安过滤器之前已经除去大部分的杂质、不容物、大颗粒等影响水纯净度的物质。所以本专利技术优选将原水通过除杂后分别进行第a次过滤、第b次过滤和第c次过滤；所述除杂优选使用常规的超滤膜超滤操作，所述超滤膜优选使用孔径为0.005～0.01μm的超滤膜。由于第a、b、c过滤是连续过滤，且优选使用的是连续封闭的过滤器，所以在过滤时会有很多滤渣残留于过滤器的过滤介质中，为了延长过滤器的使用寿命，本专利技术优选在第a、b、c过滤完成后对所述第a次过滤、第b次过滤和第c次过滤的设备进行反冲洗操作。反冲洗操作后的废水进入废水处理系统。为了使预处理效果更好，本专利技术优选所述第a次过滤为多介质过滤、第b次过滤为吸附介质过滤；第c次过滤为软化。更优选的，所述多介质过滤为石英砂过滤；所述吸附介质过滤为活性炭过滤。所述第c次过滤使用水软化装置，且还包括盐箱用于软化后将含钾钠离子的盐水抽入所述水软化装置，对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超纯水生产方法，其特征在于，包括：a)将预处理后的原水经过第一次过滤；所述第一次过滤使用保安过滤器；b)将所述第一次过滤后的原水进行反渗透过滤；c)将所述反渗透过滤后的纯水进行电去离子处理；d)将所述电去离子处理后的淡水进行电阻率检测，并与预设值比较，若达标则得到超纯水；若不达标则为废水无法使用。

【技术特征摘要】
1.一种超纯水生产方法，其特征在于，包括：a)将预处理后的原水经过第一次过滤；所述第一次过滤使用保安过滤器；b)将所述第一次过滤后的原水进行反渗透过滤；c)将所述反渗透过滤后的纯水进行电去离子处理；d)将所述电去离子处理后的淡水进行电阻率检测，并与预设值比较，若达标则得到超纯水；若不达标则为废水无法使用。2.根据权利要求1所述的生产方法，其特征在于，所述预处理具体为：将原水通过除杂后分别进行第a次过滤、第b次过滤和第c次过滤；过滤完成后对所述第a次过滤、第b次过滤和第c次过滤的设备进行反冲洗操作。3.根据权利要求2所述的生产方法，其特征在于，所述第a次过滤为多介质过滤、第b次过滤为吸附介质过滤；第c次过滤为软化。4.根据权利要求3所述的生产方法，其特征在于，所述多介质过滤为石英砂过滤；所述吸附介质过滤为活性炭过滤。5.根据权利要求3所述的生产方法，其特征在于，所述第c次过滤使用水软化装置，且还包括盐箱用于软化后将含钾钠离子的盐水抽入所述水软化装置，对所述水软化装置内的介质进行再生。6.根据权利要求1所述的生产方法，其特征在于，将所述反渗透过滤后的纯水进行电去离子处理具体为：将反渗透过滤后的纯水进行电导率检测；检测完电导率后的纯水进行电去离子处理，分为浓水、极水和淡水；所述浓水和极水进行废水处理；淡水进行步骤d)操作。7.一种超纯水生产系统，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭春江，伍欣，沈勇，胡明，张海涛，
申请(专利权)人：成都乾威科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51