The invention discloses a packaging structure of such MEMS chip, including the shell and the shell, the top of the casing by the soft plate and the bottom of the shell is fixedly connected on the top of the shell is fixedly provided with a solar energy plate, side plate solar away from shell paved with a solar cell, the the top of the shell is provided with a driving groove, both ends are fixed at the bottom of the tank driving drive box, a driving device driving box fixed on the bottom of the inner cavity, the top drive device is fixedly connected with a connecting rod through and extends to the external drive box, one end of the connecting rod is away from the driving device is fixed and connected with a movable plate, and movable plate is located at the top of the sliding plate driving groove bottom at the center. By setting the solar energy backing plate, the solar battery and the accumulator, the accumulator can provide energy for the drive motor, thereby avoiding the need to work by external power supply, and achieving the effect of energy saving.
【技术实现步骤摘要】
一种微电子机械系统芯片的节能封装结构
本专利技术涉及半导体制造
,具体为一种微电子机械系统芯片的节能封装结构。
技术介绍
微电子机械系统是建立在纳米技术基础上的21世纪前沿技术,是指对纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术,它可将机械构件、光学系统、驱动部件和电控系统集成为一个整体单元的微型系统,这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动,它用微电子技术和微加工技术相结合的制造工艺,制造出各种性能优异、价格低廉及微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统,微电子机械系统是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。现在的芯片在进行封装工作时,大多使用依靠人力进行暴露在空气中封装过程,这样一方面浪费着大量的人力与物力,并且还极大程度的降低封装的工作效率,而另一方面将芯片暴露在空气中进行封装,还会使得芯片表面容易混入杂质,从而影响着芯片的质量,降低封装的经济效益。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种微电子机械系统芯片的节能封装结构,具备节能和保护微电子机械系统芯片的优点,解决了耗能及影响芯片质量的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种微电子机械系统芯片的节能封装结构,包括下壳体和上壳体,所述下壳体的顶部通过软板与上壳体的底部固定连接,上壳体的顶部固定安装有太阳能垫板,太阳能垫板远离上壳体的一侧铺设有太阳能电池,并且下壳体和上壳体的正面开设有放置孔,所述下壳体的顶部开设有驱动槽,驱动槽底部的两端均固定安装有驱动盒,驱动盒内腔的底部固 ...
【技术保护点】
一种微电子机械系统芯片的节能封装结构,包括下壳体(1)和上壳体(2),其特征在于:所述下壳体(1)的顶部通过软板(3)与上壳体(2)的底部固定连接,上壳体(2)的顶部固定安装有太阳能垫板(5),太阳能垫板(5)远离上壳体(2)的一侧铺设有太阳能电池(6),并且下壳体(1)和上壳体(2)的正面开设有放置孔(4),所述下壳体(1)的顶部开设有驱动槽(17),驱动槽(17)底部的两端均固定安装有驱动盒(7),驱动盒(7)内腔的底部固定安装有驱动装置(8),驱动装置(8)的顶部固定连接有贯穿并延伸至驱动盒(7)外部的连接杆(9),连接杆(9)远离驱动装置(8)的一端固定连接有活动板(11),并且活动板(11)位于设置在驱动槽(17)底部中心处的滑动板(10)顶部,所述上壳体(2)的底部开设有驱动腔(12),驱动腔(12)的底部固定安装有一端贯穿并延伸至上壳体(2)外部的抽真空装置(13),抽真空装置(13)的另一端贯穿并延伸至下壳体(1)与上壳体(2)所形成的夹层内,并且抽真空装置(13)的一侧设置有位于驱动腔(12)底部的蓄电池(14),所述软板(3)内开设有伸缩腔(15),伸缩腔(15)的 ...
【技术特征摘要】
1.一种微电子机械系统芯片的节能封装结构,包括下壳体(1)和上壳体(2),其特征在于:所述下壳体(1)的顶部通过软板(3)与上壳体(2)的底部固定连接,上壳体(2)的顶部固定安装有太阳能垫板(5),太阳能垫板(5)远离上壳体(2)的一侧铺设有太阳能电池(6),并且下壳体(1)和上壳体(2)的正面开设有放置孔(4),所述下壳体(1)的顶部开设有驱动槽(17),驱动槽(17)底部的两端均固定安装有驱动盒(7),驱动盒(7)内腔的底部固定安装有驱动装置(8),驱动装置(8)的顶部固定连接有贯穿并延伸至驱动盒(7)外部的连接杆(9),连接杆(9)远离驱动装置(8)的一端固定连接有活动板(11),并且活动板(11)位于设置在驱动槽(17)底部中心处的滑动板(10)顶部,所述上壳体(2)的底部开设有驱动腔(12),驱动腔(12)的底部固定安装有一端贯穿并延伸至上壳体(2)外部的抽真空装置(13),抽真空装置(13)的另一端贯穿并延伸至下壳体(1)与上壳体(2)所形成的夹层内,并且抽真空装置(13)的一侧设置有位于驱动腔(12)底部的蓄电池(14),所述软板(3)内开设有伸缩腔(15),伸缩腔(15)的底部固定安装有与伸缩腔(15)顶部固定连接的伸缩装置(16),所述蓄电池(14)分别与抽真空装置(13)和驱动装置(8)电连接。2.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:许美艳,
申请(专利权)人:孝感市创客电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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