电子部件搬运装置以及电子部件检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供电子部件搬运装置以及电子部件检查装置，能够在冷却部件上对电子部件进行均匀冷却。电子部件检查装置(1)具有作为冷却电子部件的冷却部件的温度调整部(12)。温度调整部(12)具有供制冷剂(RF)流入的第一流路(37)、与第一流路(37)连通并供制冷剂(RF)流出的第二流路(38)。而且，在俯视温度调整部(12)的情况下，第一流路(37)以包围第二流路(38)的一部分的方式配置。

Electronic component conveying device and electronic component inspection device

The present invention provides an electronic component handling device and an electronic component inspection device capable of uniformly cooling an electronic component on a cooling element. The electronic component inspection device (1) has a temperature adjustment unit (12) that acts as a cooling element for cooling electronic components. A temperature adjustment unit (12) has a first flow path (37) for refrigerant (RF) flow, a second rate Road (38) communicating with the first flow path (37) and flowing out of the refrigerant (RF). Further, the first flow path (37) is configured in a manner that surrounds a second rate Road (38) in the case of a temperature adjustment portion (12).

【技术实现步骤摘要】
电子部件搬运装置以及电子部件检查装置
本专利技术涉及电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。
技术介绍
以往，公知有检查半导体元件等电子部件的电特性的电子部件检查装置，在该电子部件检查装置中内置有在将电子部件搬运到检查部的过程中将该电子部件预先保持在所希望的温度的板材。例如，在专利文献1记载的电子部件检查装置中，冷却板具有蛇行(连续S字形)形成的流动槽。而且构成为，液氮在流动槽流下，由此在冷却板上对电子部件进行冷却。另外，在专利文献1记载的电子部件检查装置中内置有上述冷却板和预先加热电子部件并保持在所希望的温度的加热板的情况下，加热板具有通过通电加热的加热器，并在冷却板上重叠，成为加热板相对于电子部件配置在比冷却板近的位置的状态。另外，作为以往的电子部件检查装置，有在腔室内冷却电子部件并且对该电子部件进行检查的装置(例如，参照专利文献2)。在专利文献2记载的电子部件检查装置中，向腔室内供给低温冷却气体而构成。专利文献1：日本特开2003-194874号公报专利文献2：日本特开2008-107014号公报然而，在专利文献1记载的电子部件检查装置中，冷却板有其外周部比中心部更易于热量的进出的趋势，因此，仅使液氮在弯曲的流动槽流下，不能在冷却板上进行均匀的冷却。另外，在专利文献1记载的电子部件检查装置中，若对加热器通电则较早产生热量的加热板因靠近电子部件而利用该热量迅速加热电子部件。另一方面，在冷却板的流动槽流下的液氮通常由设置于电子部件检查装置的外部的容器供给，所以在到达冷却板之前冷却能力降低，另外，由于冷却板比加热板远离电子部件，难以迅速冷却电子部件。因此，比较冷却板与加热板的热效率(能量损失)，冷却板的热效率比加热板低，即、有能量损失高的趋势，难以高效地冷却。另外，在专利文献2记载的电子部件检查装置中，上述低温冷却气体是气体，所以例如与金属、水等相比热传导率极低。因此，在专利文献1记载的电子部件检查装置中，例如在保持常温的电子部件被搬入腔室内的情况下，存在无法利用低温冷却气体充分冷却该电子部件而无法维持其冷却状态这样的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够通过以下方式实现。应用例1本应用例的电子部件搬运装置的其特征在于，具有冷却电子部件的冷却部件，上述冷却部件具有供制冷剂流入的第一流路、和与上述第一流路连通并供上述制冷剂流出的第二流路，在俯视上述冷却部件的情况下，上述第一流路以包围上述第二流路的一部分的方式配置。由此，在位于外侧的第一流路流下的制冷剂的温度低于在比该第一流路更靠内侧的第二流路流下的制冷剂的温度。因此，即使冷却部件具有外周部比中心部更易于热量的进出的趋势，也能够防止第一流路的冷却功能的降低，能够发挥充分的冷却功能。因此，能够在冷却部件上，对电子部件进行均匀冷却。应用例2在本应用例的电子部件搬运装置中，优选为，上述冷却部件具有第一边、第二边、第三边以及第四边，在上述第一边、上述第二边以及上述第三边，在俯视上述冷却部件的情况下，上述第一流路配置于上述第二流路的外侧。由此，在位于外侧的第一流路流下的制冷剂的温度显著低于在比该第一流路更靠内侧的第二流路流下的制冷剂的温度。因此，即使冷却部件具有外周部比中心部更易于热量的进出的趋势，也能很好地防止第一流路的冷却功能的降低，能够发挥更充分的冷却功能。因此，能够在冷却部件上，对电子部件进行均匀冷却。应用例3在本应用例的电子部件搬运装置中，优选为，上述第一边与上述第二边对置，上述第三边与上述第四边对置。由此，冷却部件成为比较简单的外形形状，从而在从金属板的母材施加机械加工得到冷却部件时，能够容易进行该机械加工。应用例4在本应用例的电子部件搬运装置中，优选为，上述冷却部件是具有上述第一边、与上述第一边平行的上述第二边、与上述第一边正交的上述第三边、与上述第三边平行的第四边的矩形，在上述第四边配置有供上述制冷剂向上述第一流路流入的流入口、和供上述制冷剂从上述第二流路流出的流出口。由此，能够使流入口与流出口相邻并尽可能靠近，从而能够使用例如一个歧管接头，对冷却部件进行制冷剂的供给和制冷剂的排出。应用例5在本应用例的电子部件搬运装置中，优选为，上述第一边以及上述第二边的长度比上述第三边以及上述第四边的长度长。由此，冷却部件成为比较简单的外形形状，从而在从金属板的母材施加机械加工得到冷却部件时，能够容易进行该机械加工。应用例6在本应用例的电子部件搬运装置中，优选为，上述第一流路与上述第二流路连接的部分配置为相对于上述第三边而言更靠上述第四边侧。由此，能够尽可能长地确保第一流路的全长，从而有助于对电子部件的均匀冷却。应用例7在本应用例的电子部件搬运装置中，优选为，具有两个上述冷却部件，一个上述冷却部件的上述第四边以与另一个上述冷却部件的上述第四边对置的方式配置。由此，能够在一个冷却部件与另一个冷却部件之间的里侧，配置统一对各冷却部件进行制冷剂的供给和制冷剂的排出的歧管接头。应用例8在本应用例的电子部件搬运装置中，优选为，上述第一流路与上述第二流路有一部分并列设置。由此，冷却部件本身的整体温度也会很均匀，从而有助于对电子部件的均匀冷却。应用例9在本应用例的电子部件搬运装置中，优选为，在另一方面的冷却部件的里面具有使制冷剂流入上述第一流路的第三流路、和供从上述第二流路流出的制冷剂流入的第四流路。由此，能够使第三流路与第四流路的配设方向是相同的方向，从而构成各流路的管的配管作业变得容易。应用例10在本应用例的电子部件搬运装置中，优选为，上述冷却部件是对检查前的上述电子部件预先进行冷却的均温板。由此，在检查前将电子部件在均温板上预先冷却的情况下，能够均匀地进行该冷却。应用例11在本应用例的电子部件搬运装置中，优选为，上述冷却部件是能够通过驱动部而移动并能够搬运上述电子部件的穿梭板。由此，在利用穿梭板搬运并且冷却电子部件的情况下，能够均匀地进行该冷却。应用例12本应用例的电子部件检查装置的特征在于，具有：冷却电子部件的冷却部件，其中，上述冷却部件具有供制冷剂流入的第一流路、和与上述第一流路连通并供上述制冷剂流出的第二流路；以及检查上述电子部件的检查部，在俯视上述冷却部件的情况下，上述第一流路以包围上述第二流路的一部分的方式配置。由此，在位于外侧的第一流路流下的制冷剂的温度低于在比该第一流路更靠内侧的第二流路流下的制冷剂的温度。因此，即使冷却部件具有外周部比中心部更易于热量的进出的趋势，也能防止第一流路的冷却功能的降低，能够发挥充分的冷却功能。因此，能够在冷却部件上，对电子部件进行均匀冷却。应用例13本应用例的电子部件搬运装置的特征在于，具有能够配置电子部件的电子部件载置部件、能够载置上述电子部件载置部件并能够冷却上述电子部件的冷却部件、以及能够加热上述电子部件的加热部件，上述冷却部件配置于上述电子部件载置部件与上述加热部件之间。比较冷却部件和加热部件对电子部件的热效率(能量损失)，存在冷却部件的热效率比加热部件的热效率低、即能量损失高的情况。在该情况下，通过将冷却部件配置于电子部件载置部件与加热部件之间的结构、即将能量损失高的冷却部件靠近电子部件配置并且将能量损失低的加热部件远离冷却部件配置的结构，由此能够分别迅速进行对电子部件的冷却和加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子部件搬运装置，其特征在于，具有冷却电子部件的冷却部件，上述冷却部件具有供制冷剂流入的第一流路、和与上述第一流路连通并供上述制冷剂流出的第二流路，在俯视上述冷却部件的情况下，上述第一流路以包围上述第二流路的一部分的方式配置。

【技术特征摘要】
2015.08.27 JP 2015-167517;2015.08.27 JP 2015-167511.一种电子部件搬运装置，其特征在于，具有冷却电子部件的冷却部件，上述冷却部件具有供制冷剂流入的第一流路、和与上述第一流路连通并供上述制冷剂流出的第二流路，在俯视上述冷却部件的情况下，上述第一流路以包围上述第二流路的一部分的方式配置。2.根据权利要求1所述的电子部件搬运装置，其特征在于，上述冷却部件具有第一边、第二边、第三边以及第四边，在上述第一边、上述第二边以及上述第三边，在俯视上述冷却部件的情况下上述第一流路配置于上述第二流路的外侧。3.根据权利要求1或2所述的电子部件搬运装置，其特征在于，上述第一边与上述第二边对置，上述第三边与上述第四边对置。4.根据权利要求2或3所述的电子部件搬运装置，其特征在于，上述冷却部件是具有上述第一边、与上述第一边平行的上述第二边、与上述第一边正交的上述第三边、与上述第三边平行的第四边的矩形，在上述第四边配置有供上述制冷剂向上述第一流路流入的流入口、和供上述制冷剂从上述第二流路流出的流出口。5.根据权利要求2～4中任一项所述的电子部件搬运装置，其特征在于，上述第一边以及上述第二边的长度比上述第三边以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：桐原大辅，前田政己，下岛聪兴，中村敏，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP