一种硅片表面的绒面的制造装置、制造方法及绒面太阳能电池制造方法及图纸

本发明专利技术公布了一种硅片表面的绒面的制造装置，硅片表面的绒面的制造方法及绒面太阳能电池。本发明专利技术通过电火花加工的方式，由多根电极丝从硅片表面滑过，通过瞬间放电，在硅片表面形成均匀的绒面，生产方法简单，可以满足大工业化生产的需要。通过增加电极丝数量或移动速度的方式，可以快速在硅片表面制造出理想的绒面结构，大幅提高了制绒环节的生产效率。本发明专利技术的电极丝从硅片表面快速滑动，相较于其它方法可以大幅减少硅片表面可能产生的金属残留，更有利于电池环节的生产和提高电池的效率，且生产过程不产生有害废弃物，生产各环节非常环保。本发明专利技术的绒面太阳能电池具有均匀的绒面结构，对太阳光反射效率低。

Device for manufacturing texture of silicon wafer surface, manufacturing method thereof and suede solar battery

The invention discloses a device for manufacturing a surface texture of a silicon wafer, a method for manufacturing a textured surface of a silicon wafer, and a suede solar cell. The present invention by EDM, which is composed of a plurality of electrode wire from the silicon surface by glide, instantaneous discharge, form a uniform suede on the surface of the silicon wafer, the production method is simple and can meet the needs of industrial production. By increasing the number or moving speed of the electrode wire, the ideal suede structure can be rapidly manufactured on the surface of the silicon wafer, and the production efficiency of the cashmere making process is greatly improved. The invention of the wire electrode from the silicon surface slip quickly, compared to other methods, can greatly reduce the silicon surface may produce metal residue, more conducive to the production of battery and improve the efficiency of the battery, and the production process does not produce harmful waste, production of environmentally friendly. The suede solar cell of the invention has a uniform suede structure and has low reflection efficiency to sunlight.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片表面的绒面的制造装置、制造方法及绒面太阳能电池
本专利技术属于硅片加工
，特别是涉及一种硅片表面的绒面的制造装置、制造方法及绒面太阳能电池。
技术介绍
太阳能电池是一种利用半导体材料的光伏效应，将太阳光辐射能直接转换为电能的一种新型发电系统，具有许多显著优势，如无污染，能源随处可得，使用寿命长等优点。作为一种可以高效地将光能转化为电能的清洁、无污染的可再生资源，太阳能电池的应用已从军事领域、航天领域进入工业、农业、通信、家用电器、电力等部门。太阳能电池经过多年的发展，在我国已取得了长足的发展，但太阳能电池生产成本高，太阳能吸收率低限制了太阳能电池的进一步普及。因此对于如何降低生产成本，提高效率，仍是目前太阳能电池研究的主要目标。均匀的表面绒面结构可增加光的吸收面积，使入射光在表面进行多次反射，降低光的反射率，从而大大提高太阳能吸收效率，是提高电池光电转换效率的有效途径。因此利用合理的方法制得硅片表面均匀的绒面结构还可以有效的降低生产成本，满足现有对太阳能电池的需求。现有的硅片表面制绒方法有化学腐蚀、机械刻槽、离子刻蚀等。机械刻槽技术，工艺简单，但效率低，所制造出的绒面不均匀，且易对硅片造成损伤。离子刻蚀，工艺复杂，制作时间长，设备复杂昂贵，不适合于工业化生产。化学腐蚀，是目前制造太阳能电池硅片绒面最普遍的一种方法，生产效率高，但对太阳光减反射效率低，且产生过程产生大量的废水和废渣，对环境污染大，成本也较高。
技术实现思路
本专利技术目的在于针对现有绒面硅片加工的缺陷，提供一种制备过程简单、易于实现大工业化生产，能够大幅度提高制绒效率，并能得到均匀的绒面结构的硅片表面的绒面的制造装置、制造方法及绒面太阳能电池。本专利技术为实现上述目的，采用如下技术方案：一种硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：其包括承载硅片的工件电极和位于所述工件电极上方的工具电极，所述工具电极和工件电极连接脉冲电源的导电板；所述工具电极表面上设置有一根或多根电极丝；所述工具电极和工件电极由驱动装置驱动使得所述工具电极和工件电极的表面相对移动。一种形式：所述工具电极为平板电极，所述平板电极上设置有电极丝阵列。所述电极丝阵列垂直于工件电极表面。另一种形式：所述工具电极为导电辊，所述导电辊表面径向设置有电极丝阵列。所述驱动装置还用于驱动所述工件电极上下移动，调整所述工具电极和工件电极之间的距离。一种采用上述硅片表面的绒面的制造装置的硅片表面的绒面的制造方法，其特征在于包括下述步骤：（1）准备硅片，清洗硅片表面；（2）将硅片固定在所述工件电极上；（3）将工具电极和工件电极连接脉冲电源的两极，脉冲电源向工具电极和工件电极提供脉冲电压；（4）驱动装置驱动工具电极和工件电极使得所述工具电极和工件电极的表面相对移动，电极丝在硅片表面快速滑过，形成电火花加工过程，在硅片表面制得均匀的绒面结构；（5）将步骤（4）中获得的绒面结构的硅片进行清洗、烘干。其进一步特征在于：所述硅片为单晶硅片、多晶硅片、类单晶硅片或直接硅片。步骤（4）中所述工具电极和工件电极之间的相对移动为水平方向上的移动。进一步的：所述步骤（4）中所述工具电极和工件电极之间的相对移动为工具电极水平移动，或工件电极水平移动，或工具电极和工件电极同时水平移动。一种采用上述硅片表面的绒面的制造方法制得的绒面太阳能电池。专利技术具有以下优点:1、本专利技术通过电火花加工的方式，由多根电极丝从硅片表面滑过，通过瞬间放电，在硅片表面形成均匀的绒面，生产方法简单，可以满足大工业化生产的需要。2、本专利技术通过增加电极丝数量或移动速度的方式，可以快速在硅片表面制造出理想的绒面结构，大幅提高了制绒环节的生产效率。3、本专利技术的电极丝从硅片表面快速滑动，相较于其它方法可以大幅减少硅片表面可能产生的金属残留，更有利于电池环节的生产和提高电池的效率。4、本专利技术生产过程不产生有害废弃物，生产各环节非常环保。5、本专利技术的绒面太阳能电池具有均匀的绒面结构，对太阳光反射效率低。附图说明图1为本专利技术一种形式的硅片表面的绒面的制造装置示意图。图2为本专利技术另一种形式的硅片表面的绒面的制造装置示意图。具体实施方式如图1所示，一种形式的硅片表面的绒面的制造装置，包括承载硅片的工件电极和位于工件电极上方的工具电极，工具电极和工件电极连接脉冲电源的导电板；工具电极为平板电极，平板电极上设置有电极丝阵列。电极丝阵列垂直于工件电极表面。工具电极和工件电极由驱动装置驱动使得工具电极和工件电极的表面相对移动。驱动装置还用于驱动工件电极上下移动，调整工具电极和工件电极之间的距离。如图2所示，另一种形式的硅片表面的绒面的制造装置，包括承载硅片的工件电极和位于工件电极上方的工具电极，工具电极和工件电极连接脉冲电源的导电板；工具电极为导电辊，导电辊表面径向设置有电极丝阵列。工作时导电辊转动，使得导电辊表面的电极丝循环与工件电极上的硅片产生电火花。工具电极和工件电极由驱动装置驱动使得工具电极和工件电极的表面相对移动。所述驱动装置还用于驱动所述工件电极上下移动，调整所述工具电极和工件电极之间的距离。一种采用上述硅片表面的绒面的制造装置的硅片表面的绒面的制造方法，包括下述步骤：（1）准备硅片，清洗硅片表面；所述硅片可以为单晶硅片、多晶硅片、类单晶硅片或直接硅片。（2）将硅片固定在所述工件电极上。（3）将工具电极和工件电极连接脉冲电源的两极，脉冲电源向工具电极和工件电极提供脉冲电压。（4）驱动装置驱动工具电极和工件电极使得所述工具电极和工件电极的表面相对移动，电极丝在硅片表面快速滑过，形成电火花加工过程，在硅片表面制得均匀的绒面结构。工具电极和工件电极之间的相对移动可以为工具电极水平移动，也可以是工件电极水平移动，或工具电极和工件电极同时水平移动。（5）将步骤（4）中获得的绒面结构的硅片进行清洗、烘干。一种采用上述硅片表面的绒面的制造方法制得的绒面太阳能电池。该绒面太阳能电池具有均匀的绒面结构，对太阳光反射效率低。以上显示和描述了本专利技术的基本原理、主要特征和本专利技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本专利技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本专利技术的原理，在不脱离本专利技术精神和范围的前提下本专利技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本专利技术的范围内。本专利技术要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：其包括承载硅片的工件电极和位于所述工件电极上方的工具电极，所述工具电极和工件电极连接脉冲电源的导电板；所述工具电极表面上设置有一根或多根电极丝；所述工具电极和工件电极由驱动装置驱动使得所述工具电极和工件电极的表面相对移动。

【技术特征摘要】
1.一种硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：其包括承载硅片的工件电极和位于所述工件电极上方的工具电极，所述工具电极和工件电极连接脉冲电源的导电板；所述工具电极表面上设置有一根或多根电极丝；所述工具电极和工件电极由驱动装置驱动使得所述工具电极和工件电极的表面相对移动。2.如权利要求1所述的硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：所述工具电极为平板电极，所述平板电极上设置有电极丝阵列。3.如权利要求2所述的硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：所述电极丝阵列垂直于工件电极表面。4.如权利要求1所述的硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：所述工具电极为导电辊，所述导电辊表面径向设置有电极丝阵列。5.如权利要求1-4任一项所述的硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：所述驱动装置还用于驱动所述工件电极上下移动，调整所述工具电极和工件电极之间的距离。6.一种采用权利要求1-5任一项所述硅片表面的绒面的制造装置的硅片表面的绒面的制造方法，其特征在于包括下述步骤：（...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙勇，
申请(专利权)人：无锡中硅新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32