光谱共焦检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种光谱共焦检测装置，包括直线电机位移平台，直线电机位移平台的动子上设置有检测平台或光谱共焦位移传感器，通过将直线电机位移平台和光谱共焦位移传感器相结合，可移动平台相对于静态检测或者仅光谱共焦位移传感器移动而言，极大地提高了检测效率，适用于更复杂形状的检测，直线电机位移平台移动控制精度高、结构简单、运行稳定，提高了检测精度。

Spectral confocal detector

The invention provides a spectral confocal detection device, including linear motor displacement platform, linear motor rotor displacement platform is arranged on the detection platform or the spectral confocal displacement sensor, the linear motor displacement platform and the spectral confocal displacement sensor combining the movable platform relative to the static detection or only spectral confocal displacement sensor for mobile, greatly improve the detection efficiency, suitable for more complicated shape detection, linear motor displacement platform with high control precision, simple structure, stable operation, improve the detection accuracy.

【技术实现步骤摘要】
光谱共焦检测装置
本专利技术涉及光学检测
，具体是光谱共焦检测装置。
技术介绍
光学测量与成像技术，通过光源、被测物体和探测器三点共轭，消除焦点以外的杂散光，得到比传统宽场显微镜更高的横向分辨率，同时由于引入针孔探测具有了轴向深度层析能力，通过焦平面的上下平移从而得到物体的微观三维空间结构信息。这种三维成像能力使得共焦三维显微成像技术已经广泛应用于生物医学、材料分析、工业探测及计量等各种不同的领域之中。现有的光学测量与成像技术主要激光成像，其功耗大、成本高，而且精度较差，难以胜任复杂异形表面(如曲面、弧面、凸凹沟槽等)的快速高精度、稳定检测或者成像的需求。光谱共焦成像技术比激光成像具有更高的精度，而且能够显著降低功耗和成本。但现有的光谱共焦检测设备大都是静态检测，检测效率低，而且难以胜任复杂异形表面。虽然也有些镜头可以移动的，但结构复杂、精度低，检测效率也低。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本专利技术提供了一种光谱共焦检测装置，其采用光谱共焦位移传感器与伺服位移平台相结合的方式，简化了结构，提高了检测精度和检测效率。其具体技术方案是，一种光谱共焦检测装置，包括：检测平台，用于安装被测物体；光谱共焦位移传感器，用于检测被测物体的位置或者形状；若干个直线电机位移平台，所述直线电机位移平台的动子上设置有所述检测平台或所述光谱共焦位移传感器；控制系统，用于控制所述光谱共焦位移传感器和所述直线电机位移平台；机架，用于安装所述检测平台、所述光谱共焦位移传感器、所述直线电机位移平台和所述控制系统。作为对技术方案的改进，所述机架包括底座，所述直线电机位移平台的定子安装在所述底座上，所述检测平台位于所述底座的上表面，所述底座上设置有悬臂，所述光谱共焦位移传感器安装在所述悬臂上。作为对技术方案的改进，所述悬臂上设置有能够沿预设方向伸缩的伸缩装置，所述光谱共焦位移传感器安装在所述伸缩装置上。作为对技术方案的改进，所述伸缩装置的伸缩方向垂直于所述检测平台的工作平面。作为对技术方案的改进，所述悬臂设置在所述直线电机位移平台的动子上。作为对技术方案的改进，所述直线电机位移平台包括第一移动装置、第二移动装置和第三移动装置，所述第一移动装置和所述第二移动装置的定子分别固定在所述底座上表面的两侧，所述第一移动装置的动子和所述第二移动装置的动子的移动方向平行，所述第三移动装置的定子的两端分别固定连接所述第一移动装置和所述第二移动装置的动子，所述悬臂固定在所述第三移动装置的动子上，且所述第三移动装置的动子的移动方向垂直于所述第一移动装置的动子的移动方向和所述第二移动装置的动子的移动方向。作为对技术方案的改进，所述第一移动装置、所述第二移动装置和所述第三移动装置均为直线电机，且所述第一移动装置、所述第二移动装置和所述第三移动装置的动子的移动方向均平行于所述检测平台的工作平面。作为对技术方案的改进，所述检测平台设置在所述直线电机位移平台的动子上。作为对技术方案的改进，所述直线电机位移平台和所述检测平台为叠加在一起的三层平台，所述三层平台的底层作为所述直线电机位移平台的定子安装在所述底座上，所述三层平台的中间层与所述底层滑动连接，所述三层平台的顶层作为所述检测平台与所述中间层滑动连接，所述中间层和所述顶层均由直线电机驱动。作为对技术方案的改进，所述直线电机位移平台中设置有光栅尺。本专利技术至少具有以下有益效果：(1)提供了一种带直线电机位移平台的光谱共焦检测装置，通过将直线电机位移平台和光谱共焦位移传感器相结合，可移动平台相对于静态检测或者仅光谱共焦位移传感器移动而言，极大地提高了检测效率，适用于更复杂形状的检测，直线电机位移平台移动控制精度高、结构简单、运行稳定，提高了检测精度。(2)除了检测平台可以移动外，光谱共焦位移传感器也可以在三维空间中移动，如此，直线电机位移平台和光谱共焦位移传感器可以联动，使得该光谱共焦检测装置可以检测外形极为复杂的物体，而且进一步提高了检测效率，并同时可以使光谱共焦检测装置的检测区域的体积更小。(3)光谱共焦位移传感器在与检测平台工作平面平行的方向上的移动由三个直线电机驱动，控制精度高，而且运行稳定。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1是本专利技术实施例1中光谱共焦检测装置的示意图；图2是本专利技术实施例2中光谱共焦检测装置的示意图；图3是本专利技术实施例2中直线电机位移平台的示意图。主要元件符号说明：1-机架，2-伸缩装置，21-伸缩装置的定子，22-伸缩装置的动子，23-中继控制器，3-检测平台，31-底层，32-中间层，41-第一移动装置，42-第二移动装置，43-第三移动装置，6-悬臂，51-传输链，7-立柱。具体实施方式在下文中，将更全面地描述本专利技术的各种实施例。本专利技术可具有各种实施例，并且可在其中做出调整和改变。然而，应理解：不存在将本专利技术的各种实施例限于在此公开的特定实施例的意图，而是应将本专利技术理解为涵盖落入本专利技术的各种实施例的精神和范围内的所有调整、等同物和/或可选方案。在下文中，可在本专利技术的各种实施例中使用的术语“包括”或“可包括”指示所公开的功能、操作或元件的存在，并且不限制一个或更多个功能、操作或元件的增加。此外，如在本专利技术的各种实施例中所使用，术语“包括”、“具有”及其同源词仅意在表示特定特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合，并且不应被理解为首先排除一个或更多个其它特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合的存在或增加一个或更多个特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合的可能性。在本专利技术的各种实施例中，表述“或”或“A或/和B中的至少一个”包括同时列出的文字的任何组合或所有组合。例如，表述“A或B”或“A或/和B中的至少一个”可包括A、可包括B或可包括A和B二者。在本专利技术的各种实施例中使用的表述(诸如“第一”、“第二”等)可修饰在各种实施例中的各种组成元件，不过可不限制相应组成元件。例如，以上表述并不限制所述元件的顺序和/或重要性。以上表述仅用于将一个元件与其它元件区别开的目的。例如，第一用户装置和第二用户装置指示不同用户装置，尽管二者都是用户装置。例如，在不脱离本专利技术的各种实施例的范围的情况下，第一元件可被称为第二元件，同样地，第二元件也可被称为第一元件。应注意到：在本专利技术中，除非另有明确的规定和定义，“安装”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接、也可以是可拆卸连接、或者一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也是可以通过中间媒介间接相连；可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在本专利技术中，本领域的普通技术人员需要理解的是，文中指示方位或者位置关系的术语为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光谱共焦检测装置，其特征在于，包括：检测平台，用于安装被测物体；光谱共焦位移传感器，用于检测被测物体的位置或者形状；若干个直线电机位移平台，所述直线电机位移平台的动子上设置有所述检测平台或所述光谱共焦位移传感器；控制系统，用于控制所述光谱共焦位移传感器和所述直线电机位移平台；机架，用于安装所述检测平台、所述光谱共焦位移传感器、所述直线电机位移平台和所述控制系统。

【技术特征摘要】
1.一种光谱共焦检测装置，其特征在于，包括：检测平台，用于安装被测物体；光谱共焦位移传感器，用于检测被测物体的位置或者形状；若干个直线电机位移平台，所述直线电机位移平台的动子上设置有所述检测平台或所述光谱共焦位移传感器；控制系统，用于控制所述光谱共焦位移传感器和所述直线电机位移平台；机架，用于安装所述检测平台、所述光谱共焦位移传感器、所述直线电机位移平台和所述控制系统。2.根据权利要求1所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述机架包括底座，所述直线电机位移平台的定子安装在所述底座上，所述检测平台位于所述底座的上表面，所述底座上设置有悬臂，所述光谱共焦位移传感器安装在所述悬臂上。3.根据权利要求2所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述悬臂上设置有能够沿预设方向伸缩的伸缩装置，所述光谱共焦位移传感器安装在所述伸缩装置上。4.根据权利要求3所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述伸缩装置的伸缩方向垂直于所述检测平台的工作平面。5.根据权利要求2-4中任一项所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述悬臂设置在所述直线电机位移平台的动子上。6.根据权利要求5所述的光谱共焦检测装置，其特征在于，所述直线电机位移平台包括第一移动装置、第二移动装置和第三移动装置，所述第一移动装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊民，廖福秀，贺佳贵，邹志英，
申请(专利权)人：王俊民，
类型：发明
国别省市：山东,37