一种掩膜板承载装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板承载装置
本技术涉及一种曝光机，具体涉及一种掩膜板。
技术介绍
在曝光技术中，掩膜板是所使用的原始图形的载体，通过曝光过程，将这些图形投影到涂布了光刻胶的玻璃基板上。在日常生产过程中，掩膜板上有时会落上落尘，曝光机可以检测出并自动进行吹扫，但仍有部分落尘无法自动吹扫掉，需工程师查看曝光机的掩膜板落尘检查结果，并将掩膜板从设备中取出并搬运到专门的掩膜板清扫区，使用强光手电对曝光机检出的不良区域进行检查，并针对落尘点位手动进行清理。人工清扫掩膜板的时候需打开托盘上盖或将掩膜板移到其他的承载装置上进行检查与清理，因落尘较小，往往很难寻找，且掩膜板暴露时间较久有时会掉落新的落尘。因寻找落尘困难，有可能造成清扫遗漏，送回曝光机内重新检查时发现掩膜板原位置仍存在落尘，需重新进行清扫，影响生产稼动。
技术实现思路
专利技术目的：本技术的目的在于针对现有技术的不足，提供一种掩膜板承载装置，能够根据曝光机的落尘检查结果在掩膜板上快速定位出落尘的位置并进行清扫，清理更加快速，效果好。技术方案：一种掩膜板承载装置，在掩膜板托盘的底板上设置网格，所述网格的间距与曝光机落尘检查结果中的网格间距一致。进一步，所述底板的周边设有激光发射头，激光发射头发出的光线坐标轴在底板上形成网格。有益效果：本技术在掩膜板托盘的底板增加网格标尺，从透明的掩膜板上方可观察到底板上的网格，使该网格间距与曝光机输出的掩膜板落尘检查结果中的网格保持一致，可根据输出结果中落尘所在的网格坐标对照底板上的网格，直接在掩膜板上找出落尘的位置，改善了传统掩膜板承载装置底板落尘定位困难、清理遗漏及时间过长的问题，快...
【技术保护点】
一种掩膜板承载装置，其特征在于：在掩膜板托盘的底板上设置网格，所述网格的间距与曝光机落尘检查结果中的网格间距一致。
【技术特征摘要】
1.一种掩膜板承载装置，其特征在于：在掩膜板托盘的底板上设置网格，所述网格的间距与曝光机落尘检查结果中的网格间距一致。2....
【专利技术属性】
技术研发人员：常坤，翟云华，沙双庆，王雷，
申请(专利权)人：南京中电熊猫平板显示科技有限公司，南京华东电子信息科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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