试样移动载置系统及太阳能电池的制造方法技术方案

本发明专利技术提供一种试样移动载置系统，能阻止在移动载置中试样向面方向移动，且能修正试样的姿势，吸附的失败少且没有吸附时的破损。具备试样保持装置(20)，试样保持装置具有与试样的一部分接触的接触销(接触部件)(31、32、33、34、35、36)和使接触销在沿着试样保持面(47)的方向移动的移动机构(41、42、43、44)。在基板支架(试样载置部件)(3)设置有载置基板(10)的试样载置预定区域(50)和凹部(51、52、53、54、55、56)。在使试样保持装置(20)接近试样载置预定区域(50)的状态时，使试样保持装置(20)的接触销进入凹部，并使移动机构动作，由此，接触销的一部分在凹部内移动。

Sample movement mounting system and method for manufacturing solar cell

The present invention provides a sample moving loading system that prevents movement of a sample in the direction of movement in a moving load, and can correct the posture of the sample, with less failure of adsorption and breakage without adsorption. With the sample holding device (20), contact pin holding device contact part with the specimen (contact parts) (31, 32, 33, 34, 35, 36) and the contact pin along the specimen holding surface (47) moving mechanism to move in the direction of (41, 42, 43, 44). A sample (50) and a recess (51, 52, 53, 54, 55, 56) are loaded on the substrate support (sample mounting member) (3) with a loaded substrate (10). In the sample holding device (20) close to the specimen carrying a predetermined region (50) of the state, the specimen holding device (20) of the contact pin into the recess, and the moving mechanism of action, thus, a portion of the contact pin moves in the recess.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及将基板等的试样从一个装置或器具等重新载置到其它装置或器具等的试样移动载置系统，特别是涉及具备利用了伯努里效应的试样保持装置的试样移动载置系统。另外，本专利技术涉及太阳能电池的制造方法。
技术介绍
在工业产品的制造过程中，大多有提升工件或原材料等的试样、或者将试样在装置间重新载置的工序。在提升试样或者将其在装置间重新载置的情况下，需要抓住试样，作为用于此的装置，有试样保持装置。在试样保持装置中，已知有通过机械手物理夹持的形式的装置、利用磁力的磁夹头、利用真空的真空垫、利用伯努里效应的伯努里夹具等(专利文献1)。伯努里夹具适用于保持且提升片材或基板那样的薄且平滑的试样。另外，伯努里夹具理论上能以非接触保持试样，因此，没有对试样的表面带来油膜的附着、或污垢的附着、凹凸变化等弊端。因此，利用伯努里夹具保持的试样，保持带来的损伤小，适用于具有CVD工序或溅射工序、印刷工序或镀敷工序等对试样表面的损伤对产品外观或品质带来影响的工序的情况。另外，本申请人新公开有太阳能电池的制造方法(专利文献2)。专利文献2中所公开的太阳能电池的制造方法是例如在结晶系半导体基板上通过PECVD装置等设置非晶质半导体层的技术，是使用纵向型真空处理装置的方法。在专利文献2所公开的太阳能电池的制造方法中，在基板支架(试样载置部件)上排列多个结晶系半导体基板。在此，在基板支架上设置有多个试样支承部件。基板支架首先以水平姿势设置，在该状态下在基板支架上排列多个结晶系半导体基板。在该状态下，重力从结晶系半导体基板的表面侧向背面作用。因此，结晶系半导体基板的背面被基板支架的表面保持，姿势稳定。而且，作为接着的工序，使基板支架的姿势从水平姿势变化为纵向姿势。此时，重力的方向以从基板的一边侧向另一边侧作用的方式发生变化，试样支承部件与成为下侧的边抵接。而且，试样支承部件支承或把持结晶系半导体基板的下边，由此，阻止结晶系半导体基板的下落。另外。作为专利文献2所特有的结构，在基板支架的姿势成为纵向姿势时，如图19、图20所示，结晶系半导体基板成为倾斜姿势。现有技术文献专利文献专利文献1：(日本)特开平9－129587号公报专利文献2：(日本)特开2014－118631号公报专利技术所要解决的课题伯努里夹具具有吸附力比真空垫等差，特别是面方向的保持力弱的缺点。因此，伯努里夹具存在所保持的试样容易向面方向移动的问题。即，伯努里夹具具有与应保持的试样相对的试样保持面，通过使气体在试样保持面和试样之间流通而产生负压，利用与大气压的差将试样吸附于试样保持面侧。在伯努里夹具中，在试样保持面和试样之间需要空气流，试样保持面和试样之间必须要存在空气通过的空间，不能将试样的整个面按压于试样保持面。另外，在试样保持面和试样之间的空间形成阻止试样在面方向的移动的卡合部是困难的。因此，在利用伯努里夹具保持结晶系半导体基板等的试样时，有时在保持中试样向面方向移动，从基板支架等试样载置部件拆装试样时的位置精度变差，不能提高处理精度，导致太阳能电池的生产力的降低。另外，如果采用专利文献2中公开的太阳能电池的制造方法，则在使基板支架的姿势从水平姿势变化为纵向姿势时，结晶系半导体基板成为倾斜姿势。即，结晶系半导体基板从最初的位置动作，姿势发生变化。进而，把持结晶系半导体基板的下边。因此，在使用于回收试样的伯努里夹具接近试样时，伯努里夹具的姿势(平面方向的旋转姿势)和试样的姿势不一致，也有吸附失败的情况。进而，在以把持着试样的状态进行吸附时，也有试样被卡挂而破损的情况。该问题特别是在使用晶体硅基板作为试样的情况下显著。例如，在具备具有异质结的晶体硅基板的太阳能电池，即在不超过摄氏200度的程度的低温工艺下生产的异质结太阳能电池中，不能过于期待加热工序中的损伤缓和效果，因此，存在由伯努里夹具保持时的损伤大的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的课题在于，解决上述的问题，提供一种试样移动载置系统，其能阻止在移动载置中试样向面方向移动，且可以修正试样的姿势，吸附的失败少，且没有吸附时的破损。用于解决课题的技术方案用于解决上述课题的方式的试样移动载置系统，其具有试样载置部件和试样移动装置，该试样载置部件载置试样，该试样移动装置提升试样并使该试样在试样载置部件与其它场所之间移动，其特征在于，所述试样移动装置具备试样保持装置，所述试样保持装置具有与应提升的试样相对的试样保持面，通过使气体在所述试样保持面与试样之间流通而产生负压，利用该负压将试样吸附到试样保持面侧，并将试样保持在与试样保持面接近的位置，该试样保持装置具有与试样的一部分接触的接触部件和使接触部件在沿着试样保持面的方向移动的移动机构，在所述试样载置部件具有载置试样的试样载置预定区域，在该试样载置预定区域的边部或其附近设置凹部，在使所述试样保持装置接近试样载置部件的试样载置预定区域的状态时，使试样保持装置的接触部件的一部分进入所述凹部，并使移动机构动作，由此，接触部件的一部分在所述凹部内移动。所述的凹部优选为例如如长孔那样部分地凹陷，但也可以环状地围绕试样载置预定区域的周围。另外，试样载置预定区域突出，且周边相对凹陷的状态的情况也包含在“凹部”内。本方面采用的试样保持装置是伯努里夹具的一种，能以非接触地保持试样。另外，本方面采用的试样保持装置具有与试样的一部分接触的接触部件。因此，可以阻止在移动载置中试样向面方向移动。另外，本方面采用的试样保持装置具备使接触部件在沿着试样保持面的方向移动的移动机构。因此，在吸附载置在试样载置部件的试样之前，使接触部件与试样接触，进而使接触部件移动，来修正试样的姿势。另外，本方面采用的试样载置部件中，在试样载置预定区域的边部或其附近设置有凹部。而且，在使试样保持装置接近试样载置部件的试样载置预定区域的状态时，试样保持装置的接触部件的一部分进入凹部。因此，可以使试样保持装置的试样保持面更接近试样。因此，可以将试样和试样保持装置的间隔适当化，且通过在两者之间流通空气，可以产生负压。即，伯努里夹具使试样保持面接近试样的表面，使两者之的空间产生空气流而生成负压，利用该负压使试样浮起。因此，在伯努里夹具中，需要使试样保持面相对于试样以数毫米左右的间隔相对。但是，本方式采用的试样保持装置的接触部件因为需要与试样抵接，所以具有相对于试样保持面向垂直方向下垂的部分。因此，当使试样保持面接近试样时，接触部件的前端与试样载置部件接触，不能使试样保持面接近试样。于是，本方式中，在试样载置预定区域的边部或其附近设置凹部，在使试样保持装置接近试样载置部件的试样载置预定区域的状态时，试样保持装置的接触部件的一部分进入所述凹部。另外，通过使移动机构动作，接触部件的一部分可以在所述凹部内移动。因此，根据本方式，可以使试样保持面接近试样并与其相对。另外，可以在该状态下使接触部件移动，变更试样的姿势。在上述的对应中，优选具有两个以上的接触部件，试样保持面为多边形，所述接触部件设置在至少不同的两边的周部。进而，推荐接触部件设置在4边。优选的是，试样移动装置具备多个试样保持装置，在相邻的试样保持装置的相对位置具有属于相邻的试样保持装置的接触部件，设置于相邻的试样保持装置的相对位置的属于相邻的试样保持装置的接触部件为相互错位的位置关系。本方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种试样移动载置系统，具有试样载置部件和试样移动装置，该试样载置部件载置试样，该试样移动装置提升试样并使该试样在试样载置部件与其它场所之间移动，其特征在于，所述试样移动装置具备试样保持装置，所述试样保持装置具有与应提升的试样相对的试样保持面，通过使气体在所述试样保持面与试样之间流通而产生负压，利用该负压将试样吸附到试样保持面侧，并将试样保持在与试样保持面接近的位置，该试样保持装置具有与试样的一部分接触的接触部件和使接触部件在沿着试样保持面的方向移动的移动机构，在所述试样载置部件具有载置试样的试样载置预定区域，在该试样载置预定区域的边部或其附近设置凹部，在使所述试样保持装置接近试样载置部件的试样载置预定区域的状态时，使试样保持装置的接触部件的一部分进入所述凹部，并使移动机构动作，由此，接触部件的一部分在所述凹部内移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.30 JP 2014-2025741.一种试样移动载置系统，具有试样载置部件和试样移动装置，该试样载置部件载置试样，该试样移动装置提升试样并使该试样在试样载置部件与其它场所之间移动，其特征在于，所述试样移动装置具备试样保持装置，所述试样保持装置具有与应提升的试样相对的试样保持面，通过使气体在所述试样保持面与试样之间流通而产生负压，利用该负压将试样吸附到试样保持面侧，并将试样保持在与试样保持面接近的位置，该试样保持装置具有与试样的一部分接触的接触部件和使接触部件在沿着试样保持面的方向移动的移动机构，在所述试样载置部件具有载置试样的试样载置预定区域，在该试样载置预定区域的边部或其附近设置凹部，在使所述试样保持装置接近试样载置部件的试样载置预定区域的状态时，使试样保持装置的接触部件的一部分进入所述凹部，并使移动机构动作，由此，接触部件的一部分在所述凹部内移动。2.如权利要求1所述的试样移动载置系统，其特征在于，具有两个以上的接触部件，试样保持面为多边形，所述接触部件设置在至少不同的两边的周部。3.如权利要求1或2所述的试样移动载置系统，其特征在于，试样移动装置具备多个试样保持装置，在相邻的试样保持装置的相对位置具有属于相邻的试样保持装置的接触部件，设置于相邻的试样保持装置的相对位置的属于相邻的试样保持装置的接触部件为相互错位的位置关系。4.如权利要求1～3中任一项所述的试样移动载置系统，其特征在于，试样载置部件具有多个试样载置预定区域，在各试样载置预定区域具有对应的凹部，与相邻的试样载置预定区域对应的凹部即位于相对位置的凹部为相互错位的位置关系。5.如权利要求1～4中任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫本稔，柳原豊，牧田秀行，
申请(专利权)人：株式会社钟化，
类型：发明
国别省市：日本;JP