The present invention relates to the manufacture of an imager device and an imager device. A method for manufacturing the imaging device, the method includes: forming a first control electrode, the second electrode and the third electrode control control for the potential distribution of photogenerated charge carriers to transfer during operation in the imaging device, the first, second and third control electrodes are laterally spaced to form a first electrical control first the connection of the electrodes used during operation of imaging equipment supply electric driving signal to the first control electrode; forming second to second control electrodes connected to the electrical imaging equipment during operation power to the second control electrodes; third control electrodes with capacitive coupling to the first control electrode and a second electrode control, third the third potential of the control electrode by capacitively coupled to the first potential is applied to the first electrode and applied to the control Two the numerical generation of the value of the second potential of the control electrode.
【技术实现步骤摘要】
成像器设备的制造和成像器设备
技术介绍
检测光的设备被使用于许多应用和变化中。除能够提供2D(2维)图像的诸如CCD(电荷耦合元件)成像器或CMOS(互补金属氧化物半导体)成像器之类的固态成像器以外,3D成像器、深度成像器、测距仪等对于多种应用变得越来越流行。应用包括例如对象或环境的轮廓(profile)的获取、对象距离的确定、对象的跟踪和识别到人类对象的动作或手势的识别。在诸如半导体成像器设备之类的固态光转换设备中,入射光被转换为由正型(空穴)和负型(电子)组成的电荷载流子。在许多应用中,一种或两种类型的电荷载流子向诸如读出节点之类的预定区域的转移对于成像器的操作来说是关键的。在一些成像器设备的制造过程中,栅极结构被空白横向地(laterally)间隔开间隙而形成。在栅极结构之间,形成诸如间隔器和/或画线器(liner)之类的制造步骤。间隔器或画线器的处理以及其它过程通常给衬底的表面提供损害。这引起关于电荷转移的增加的捕获和再结合以及其它反作用。因此,使设备被制造为使得光生电荷载流子的转移以更高效的方式来提供是有益的。
技术实现思路
根据一个方面,一种制造成像器设备的方法,包括形成第一控制电极、第二控制电极和第三控制电极以在成像器设备操作期间提供用于转移光生电荷载流子的电位分布。第一、第二和第三控制电极被相互横向间隔开。形成用于在成像器设备操作期间供应电驱动信号给第一控制电极的到第一控制电极的第一电气连接和用于在成像器设备操作期间提供电位给第二控制电极的到第二控制电极的第二电气连接。第三控制电极具有到第一控制电极和到第二控制电极的电容性耦合,以使得通过电容性耦合以 ...
【技术保护点】
一种制造成像器设备的方法,所述方法包括:形成第一控制电极、第二控制电极和第三控制电极以在成像器设备的操作期间提供用于转移光生电荷载流子的电位分布,第一、第二和第三控制电极相互横向地间隔开;形成到第一控制电极的第一电气连接用于在成像器设备的操作期间供应电驱动信号到第一控制电极;形成到第二控制电极的第二电气连接用于在成像器设备的操作期间提供电位到第二控制电极;第三控制电极具有到第一控制电极和第二控制电极的电容性耦合,以使得第三控制电极的第三电位通过电容性耦合以施加到第一控制电极的第一电位和施加到第二控制电极的第二电位的数值之间的数值生成,形成到所述第三控制电极的第三电连接,以使得所述第三控制电极的充电时间常量比电位分布的时间周期长。
【技术特征摘要】
2012.09.20 US 61/7037591.一种制造成像器设备的方法,所述方法包括:形成第一控制电极、第二控制电极和第三控制电极以在成像器设备的操作期间提供用于转移光生电荷载流子的电位分布,第一、第二和第三控制电极相互横向地间隔开;形成到第一控制电极的第一电气连接用于在成像器设备的操作期间供应电驱动信号到第一控制电极;形成到第二控制电极的第二电气连接用于在成像器设备的操作期间提供电位到第二控制电极;第三控制电极具有到第一控制电极和第二控制电极的电容性耦合,以使得第三控制电极的第三电位通过电容性耦合以施加到第一控制电极的第一电位和施加到第二控制电极的第二电位的数值之间的数值生成,形成到所述第三控制电极的第三电连接,以使得所述第三控制电极的充电时间常量比电位分布的时间周期长。2.根据权利要求1的方法,进一步包括:形成连接到第一和第三控制电极的第一电容器并形成连接到第二和第三控制电极的第二电容器,用于将第三控制电极电容性耦合到第一控制电极和第二控制电极。3.根据权利要求1的方法,其中第三控制电极与第一和第二控制电极中的至少一个横向地间隔开具有50nm和1μm之间的数值的距离。4.根据权利要求1的方法,其中第三控制电极与第一和第二控制电极中的至少一个横向地间隔开具有0.1μm和0.5μm之间的数值的距离。5.根据权利要求1的方法,进一步包括:将第三控制电极连接到电位供应端子,以使得第三控制电极的充电时间常量高于10-6s。6.根据权利要求1的方法,进一步包括:将第三控制电极连接到电位供应端子,以使得第三控制电极的充电时间常量高于10-3s。7.根据权利要求1的方法,进一步包括:经由具有10KΩ和100MΩ之间的电阻的电阻元件将第三控制电极连接到电位供应端子。8.根据权利要求1的方法,其中第二和第三控制电极被连接到同一电位供应端子。9.根据权利要求1的方法,进一步包括:形成第四控制电极;形成第五控制电极,所述第五控制电极具有到第二控制电极和第四控制电极的电容性耦合,以使得在第五控制电极处通过电容性耦合以施加到第四控制电极的第四电位和施加到第二控制电极的第二电位的数值之间的数值生成第五电位。10.一种成像器设备包括:包括用于将光转换成光生电荷载流子的转换区域的半导体衬底;第一控制电极;第二控制电极;第三控制电极;第一电路,用于将时变第一电位施加到第一控制电极;第二电路,用于将第二电位施加到第二控制电极;其中第三控制电极被电容性耦合到第一控制电极和到第二控制电极,以使得第三控制电极的第三电位通过电容性耦合以施加到第一控制电极的时变第一电位和施加到第二控制电极的第二电位的级别之间的级别生成,以及其中成像器设备被配置成供应具有第一循环时间值的周期驱动信号给第一控制电极;且其中第三控制电极被连接到电位供应端子,以使得第三控制电极的充电时间常量高于第一循环时间值。11.根据权利要求10的成像器设备,进一步包括:至少一个读出节点;并且其中第一、第二和第三控制电极被配置成生成电位分布以将光生电荷...
【专利技术属性】
技术研发人员:H法伊克,D奥芬贝格,S帕拉斯坎多拉,
申请(专利权)人:英飞凌科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:德国,DE
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