The present invention provides a planar target fixed clamping device, comprises a pressing device body, at least one inflatable spring pressing assembly, installation and maintenance of at least one component and is arranged in the clamping device in the main body of the air compression pressing device; the main body is provided with a compressed air nozzle and installing grooves for installing inflatable spring pressing assembly; the compressed air nozzle is installed in the nozzle hole is connected with the air compressor on the air compressor through a pipe and the mounting groove pressing assembly includes a spring Unicom; inflatable pressure plate and a spring, one end of the spring is fixed on the base plate on the pressing plate mounting groove in the mobile push compressed air or spring along realize, installation and clamping plane target; installation and maintenance component is fixed on the clamping device on the main body, is arranged at the opening of the installation slot, and connected to the other end of the spring Touch. With the invention, the target can be installed, pressed and disassembled quickly, thereby saving time and reducing cost.
【技术实现步骤摘要】
平面靶材固定压紧装置
本专利技术涉及磁控溅射真空镀膜
,特别涉及一种平面靶材固定压紧装置。
技术介绍
近年来,随着科学的发展,技术的进步,表面科学和纳米薄膜变的越来越受重视,大到航空航天,小到手机手表,越来越多的薄膜技术被应用,而获取薄膜的技术也在不断的发展和进步,现如今,磁控溅射技术已经被广泛应用,为了获得各种性能的薄膜,这种技术日新月异。这种技术的关键在于可以通过不同种的电源,在基材上进行各种各样材料的镀膜,获得各种不同材料的纳米级的薄膜,所以靶材是这项技术的重中之重。对于镀膜生产企业来说,时间是生产最重要的一项因素,而靶材的更换和维护严重的影响了生产效率,所以提高靶材的更换和维护速度是很关键的一个环节。常规平面靶材需要压紧板对靶材进行固定,防止靶材移动造成不良后果,然而这种压板一般都是通过螺栓固定,拆卸靶材时需将把压板的螺栓全部拧下,把压紧板全部卸下后才能取出靶材。之后安装靶材时还需要将所有压板安装好,拧好所有螺栓才能完成靶材的更换。通常这种压紧板需要将靶材牢牢固定住,所以螺丝的数量较多,造成任务量大,更换靶材非常浪费时间,严重影响了生产进度。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种平面靶材固定压紧装置,以快速对靶材进行安装压紧和拆卸,节约时间,降低成本。为了实现上述目的,本专利技术实施例提供了一种平面靶材固定压紧装置,该平面靶材固定压紧装置包括:压紧装置主体,至少一弹簧气胀压紧组件,至少一安装维护部件及设置在所述压紧装置主体内的压缩空气气路;所述压紧装置主体上设置有用于安装所述弹簧气胀压紧组件的安装槽,以及压缩空气气嘴;所述压缩空气气嘴安装在与 ...
【技术保护点】
一种平面靶材固定压紧装置,其特征在于,包括:压紧装置主体,至少一弹簧气胀压紧组件,至少一安装维护部件及设置在所述压紧装置主体内的压缩空气气路;所述压紧装置主体上设置有压缩空气气嘴以及用于安装所述弹簧气胀压紧组件的安装槽;所述压缩空气气嘴安装在与所述压缩空气气路连接的气嘴孔上,所述压缩空气气路通过一气管与所述安装槽联通;所述弹簧气胀压紧组件包括压紧板及弹簧,所述弹簧一端固定在所述压紧板的底座上,所述压紧板在压缩空气或者弹簧的推动下沿所述安装槽移动,实现平面靶材的安装及压紧;所述安装维护部件固定在所述压紧装置主体上,位于所述安装槽的开口处,与所述弹簧的另一端接触。
【技术特征摘要】
1.一种平面靶材固定压紧装置,其特征在于,包括:压紧装置主体,至少一弹簧气胀压紧组件,至少一安装维护部件及设置在所述压紧装置主体内的压缩空气气路;所述压紧装置主体上设置有压缩空气气嘴以及用于安装所述弹簧气胀压紧组件的安装槽;所述压缩空气气嘴安装在与所述压缩空气气路连接的气嘴孔上,所述压缩空气气路通过一气管与所述安装槽联通;所述弹簧气胀压紧组件包括压紧板及弹簧,所述弹簧一端固定在所述压紧板的底座上,所述压紧板在压缩空气或者弹簧的推动下沿所述安装槽移动,实现平面靶材的安装及压紧;所述安装维护部件固定在所述压紧装置主体上,位于所述安装槽的开口处,与所述弹簧的另一端接触。2.根据权利要求1所述的平面靶材固定压紧装置,其特征在于,所述弹簧气胀压紧组件还包括:唇形密封圈,套设在所述压紧板底座的凹槽中。3.根据权利要求1所述的平面靶材固定压紧装置,其特征在于,所述压缩空气气嘴的个数为2,分别设置在所述压紧装置主体侧面的上部。4.根据权利要求1所述的平面靶材固定压紧装置,其特征在于,所述安装维护部件具有一用于对所述压...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘泽,
申请(专利权)人:大连爱瑞德纳米科技有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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