自动硅料清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种自动硅料清洗装置，其技术方案要点是包括浸泡箱，所述浸泡箱内设置有清洗花篮，所述清洗花篮为棱柱形，所述清洗花篮通体设置有若干筛孔，所述清洗花篮表面上开设有开口，所述开口上设置有提篮盖，所述提篮盖上设置有旋转轴，所述旋转轴与所述提篮盖旋转连接，所述旋转轴上固定设置有旋转闩，所述提篮开口两侧设置有供旋转闩旋转时插入的旋转孔。本实用新型专利技术解决了放置在清洗提篮内的硅片在清洗的过程中可能会脱离出花篮而造成对硅片的损坏问题。

Automatic silicon material cleaning device

The utility model discloses an automatic silicon material cleaning device, the technical proposal is including soaking box, the immersion box is provided with a cleaning basket, the cleaning basket for prismatic shape, the cleaning basket body is provided with a plurality of holes, the surface cleaning basket is provided with an opening, the opening set a basket cover, the basket cover is arranged on the rotating shaft, the rotating shaft and the basket cover rotary joint, the rotating shaft is fixedly arranged on the rotary latch, the basket openings are arranged at both sides of the hole into the rotation for the rotation of the rotary latch. The utility model solves the wafer placed in the cleaning basket may break out of a basket and cause damage to the wafer in the process of cleaning.

【技术实现步骤摘要】
自动硅料清洗装置
本技术涉及一种清洗设备，更具体的说，它涉及一种自动硅料清洗装置。
技术介绍
地壳中含量达25.8%的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉，由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展，自动化和计算机等技术发展，使硅片（集成电路）这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭。在半导体期间生产中，大约有20%的工序与硅片清洗有关，硅片经过切片、倒角、研磨、表面处理、抛光、外延等不同工序加工后，后面已经受到严重的污染，清洗的目的就是为了去除硅片表面颗粒，金属离子以及有机物等污染。现有技术中，授权公告号为CN106012006A的专利公布了一种用于放置多晶硅料的放置筒，包括筒体和密封盖，所述筒体具有多个孔洞，所述筒体的左端或右端具有开口，所述开口与所述密封盖连接，除此之外，本专利还公开了一种多晶硅料清洗装置，包括如上述所述的用于放置多晶硅料的放置筒和放置有清洗酸液的密封浸泡池，所述多晶硅料清洗筒横向放置在所述密封浸泡池内。该用于放置多晶硅料的放置筒在使用时，由于要将硅片从筒体的左端或右端的开口放入到筒体内，所以可能导致硅片堆积在开口处而无法进入到筒体的中心处。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种自动硅料清洗装置，该自动硅料清洗装置在清洗提篮的表面上设置有可拆卸提篮盖，能够通过拆卸提篮盖来将硅片放入，不会导致硅片堆积在清洗提篮的两端。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种自动硅料清洗装置，包括浸泡箱，所述浸泡箱内设置有清洗花篮，所述清洗花篮为棱柱形，所述清洗花篮通体设置有若干筛孔，所述清洗花篮表面上开设有提篮开口，所述提篮开口上设置有提篮盖，所述提篮盖上设置有旋转轴，所述旋转轴与所述提篮盖旋转连接，所述旋转轴上固定设置有旋转闩，所述提篮开口两侧设置有供旋转闩旋转时插入的旋转孔。通过采用上述技术方案，将硅片通过开口放置在清洗花篮内后，不会使得硅片堆积在清洗花篮的两端，提篮盖抵设在开口处，人工对旋转轴进行旋转，能够将固定设置在旋转轴上的旋转闩旋到旋转孔内，实现对清洗花篮的封闭，能够防止放置在清洗提篮内的硅片在清洗的过程中脱离出花篮而造成对硅片的损坏，通过将清洗液导入浸泡箱内，清洗液会通过筛孔进入清洗花篮内对硅片进行清洗处理，清洗花篮为棱柱型，能够在旋转时，清洗花篮内的硅片会发生搅拌的现象，不会使硅片堆积在清洗花篮内的某一处，使得清洗液对硅片的清洗更加彻底。本技术进一步设置为：所述浸泡箱内对称设置有U型槽，所述清洗花篮两端设置有转轴，所述清洗花篮通过所述转轴与所述U型槽配合与所述浸泡箱旋转连接。通过采用上述技术方案，在清洗时，清洗花篮两端设置的转轴能够在U型槽内进行转动，从而能够带动清洗花篮内的硅片进行旋转、翻转，能够将硅片清洗的更加彻底。本技术进一步设置为：所述清洗花篮两端同心设置有从动齿轮，所述浸泡箱内穿设有齿轮轴，所述齿轮轴上设置有与所述从动齿轮相啮合的主动齿轮，所述浸泡箱内还设置有驱动所述齿轮轴旋转的驱动组件。通过采用上述技术方案，驱动组件驱动齿轮轴旋转，使之主动齿轮带动从动齿轮旋转，由于从动齿轮设置在清洗花篮上，所以从动齿轮的旋转能够带动清洗花篮旋转，使得清洗花篮内的硅片与浸泡箱内的清洗液充分的接触，硅片清洗的更加彻底，齿轮传动结构简单并且具有精确高，寿命长的优点。本技术进一步设置为：所述驱动组件包括设置在浸泡箱上的传送带主动轮以及设置在所述齿轮轴一端的传送带从动轮，所述传送带主动轮与传送带从动轮上套设有传送带，所述浸泡箱上还设置有用于驱动所述传送带主动轮旋转的驱动件。通过采用上述技术方案，驱动件来带动传送带主动轮进行旋转，传送带从动轮在传送带的传动下进行旋转，从而带动齿轮轴进行旋转，齿轮传动来使得清洗花篮进行旋转，并且传送带传动具有结构简单，并且传动平稳的优点。本技术进一步设置为：所述驱动件为电机，所述电机的输出轴与所述传送带主动轮连接。通过采用上述技术方案，电机开启后，能够带动传送带主动轮进行旋转，结构简单，并且操作简单。本技术进一步设置为：所述浸泡箱上设置有张紧带轮，所述张紧带轮的滚动面与所述传送带的内周面抵接并对所述传送带施加张力。通过采用上述技术方案，张紧带轮的设置能够起到对传送带的张紧作用，防止传送带脱离出传送带从动轮或传送带主动轮。本技术进一步设置为：所述浸泡箱底面设置有排液口。通过采用上述技术方案，清洗液在对清洗提篮内的硅片清洗完后，能够方便的通过排液口来排出。本技术进一步设置为：所述清洗花篮的材质为聚四氟乙烯。通过采用上述技术方案，聚四佛乙烯材质重量轻，具有优良的化学稳定性、耐腐蚀性、密封性、高润滑不粘性和良好的抗老化耐力，能够防止清洗提篮被清洗液所腐蚀，并且使用寿命长。综上所述，本技术具有以下有益效果：本技术能够防止放置在清洗提篮内的硅片在清洗的过程中脱离出花篮而造成对硅片的损坏。附图说明图1为实施例的结构示意图；图2为实施例的爆炸图。图中：1、浸泡箱；2、混酸腐蚀槽；21、排液口；22、机座；23、清洗提篮；24、转轴；25、转动槽；231、提篮开口；232、提篮盖；233、旋转轴；234、旋转闩；235、旋转孔；236、筛孔；31、从动齿轮；32、齿轮轴；33、主动齿轮；41、传送带从动轮；42、传送带主动轮；43、张紧带轮；44、传送带；45、电机。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步详细说明。实施例：一种自动硅料清洗装置，如图1以及图2所示，包括浸泡箱1，浸泡箱1上设置有混酸腐蚀槽2，混酸腐蚀槽2的底面开设有排液口21，清洗液在对硅片清洗完后能够通过排液口21排出，混酸腐蚀槽2内设置有机座22，机座22上设置有清洗提篮23，清洗提篮23的材质为聚四氟乙烯，聚四佛乙烯材质重量轻，具有优良的化学稳定性、耐腐蚀性、密封性、高润滑不粘性和良好的抗老化耐力，能够防止清洗提篮23被清洗液所腐蚀，并且使用寿命长，清洗提篮23两端设置有转轴24，机座22上设置有与转轴24配合的U型的转动槽25，清洗提篮23通过转轴24与转动槽25的配合与混酸腐蚀槽2旋转连接，清洗提篮23形状为棱柱，在清洗提篮23旋转时增大了硅片与清洗液的接触面积，使得硅片能够清洗的更加彻底，并且清洗提篮23通体设置有若干的筛孔236，能够在清洗的过程中，通过筛孔236来过滤掉清洗液。清洗提篮23上设置有提篮开口231，提篮开口231上设置有提篮盖232，提篮盖232上对称固定设置有两根旋转轴233，旋转轴233与提篮盖232旋转连接，旋转轴233上固定穿设有旋转闩234，提篮开口231两侧均设置有旋转孔235，旋转孔235的位置与旋转轴233相对应，硅片放置到清洗提篮23内后，将提篮盖232盖合在提篮开口231上，旋转旋转轴233能够将旋转闩234旋入到旋转孔235内，来完成对清洗提本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动硅料清洗装置，包括浸泡箱(1)，其特征在于：所述浸泡箱(1)内设置有清洗花篮，所述清洗花篮为棱柱形，所述清洗花篮通体设置有若干筛孔(236)，所述清洗花篮表面上开设有提篮开口(231)，所述提篮开口(231)上设置有提篮盖(232)，所述提篮盖(232)上设置有旋转轴(233)，所述旋转轴(233)与所述提篮盖(232)旋转连接，所述旋转轴(233)上固定设置有旋转闩(234)，所述提篮开口(231)两侧设置有供旋转闩(234)旋转时插入的旋转孔(235)。

【技术特征摘要】
1.一种自动硅料清洗装置，包括浸泡箱(1)，其特征在于：所述浸泡箱(1)内设置有清洗花篮，所述清洗花篮为棱柱形，所述清洗花篮通体设置有若干筛孔(236)，所述清洗花篮表面上开设有提篮开口(231)，所述提篮开口(231)上设置有提篮盖(232)，所述提篮盖(232)上设置有旋转轴(233)，所述旋转轴(233)与所述提篮盖(232)旋转连接，所述旋转轴(233)上固定设置有旋转闩(234)，所述提篮开口(231)两侧设置有供旋转闩(234)旋转时插入的旋转孔(235)。2.根据权利要求1所述的自动硅料清洗装置，其特征在于：所述浸泡箱(1)内对称设置有U型槽，所述清洗花篮两端设置有转轴(24)，所述清洗花篮通过所述转轴(24)与所述U型槽配合与所述浸泡箱(1)旋转连接。3.根据权利要求2所述的自动硅料清洗装置，其特征在于：所述清洗花篮两端同心设置有从动齿轮(31)，所述浸泡箱(1)内穿设有齿轮轴(32)，所述齿轮轴(32)上设置有与所述从动齿轮(31)相啮合的主动齿轮(33...

【专利技术属性】
技术研发人员：轩云喜，马胜南，
申请(专利权)人：北京南轩兴达电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11